射频收发机中的多晶硅纳米线热电偶微型热电式发电机制造技术

本发明专利技术的射频收发机中的多晶硅纳米线热电偶微型热电式发电机，主要由衬底、水平放置的热电堆和散热金属板构成；其中，硅衬底的中央区域通过深反应离子刻蚀技术刻孔，作为上方二氧化硅薄膜的支撑结构和传热结构；热电堆的一端位于硅衬底上，另一端位于薄膜结构的中央；热电堆是由许多热电偶串联而成，具有多个输出电极，而每个热电偶又由N型多晶硅纳米线热电偶臂和P型多晶硅纳米线热电偶臂构成，热电偶臂上包含多列多晶硅纳米线，不同列之间采用纳米线支撑结构作为连接；在热电堆的上方，通过牺牲层释放制作出的空腔结构，空腔上方的金属板与热电堆之间隔有氮化硅薄膜。

【技术实现步骤摘要】
射频收发机中的多晶硅纳米线热电偶微型热电式发电机
本专利技术提出了一种射频收发机中的多晶硅纳米线热电偶微型热电式发电机，属于微电子机械系统(MEMS)的

技术介绍
微型热电式发电机可以将热能直接转换为电能，可以为各种低功耗的电子器件或电路供电，例如用于环境监测的无线网络传感节点。为了提升热电式发电机的输出功率和转换效率等性能参数，改善热电材料的品质因数非常关键。由于存在着量子限制和声子散射效应，多晶硅纳米线的热导率远小于传统的体材料，从而提高了品质因数，可用于制作高性能的热电式发电机，应用在射频收发机中的功率放大器等存在充足热源的场合。
技术实现思路
技术问题:本专利技术的目的是提供一种射频收发机中的多晶硅纳米线热电偶微型热电式发电机，热电式发电机的热电堆采用多晶硅纳米线结构，并通过刻蚀热电堆下方衬底和释放牺牲层形成空腔等方式，实现热电堆冷热两端的热绝缘，提高了器件的热电转换性能。技术方案：为解决上述技术问题，本专利技术提出了一种射频收发机中的多晶硅纳米线热电偶微型热电式发电机。其结构主要包括衬底、水平放置的热电堆和散热金属板构成；其中，硅衬底的中央区域通过深反应离子刻蚀技术刻本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种射频收发机中的多晶硅纳米线热电偶微型热电式发电机，其特征是：该微型热电式发电机主要由衬底(3)、水平放置的热电堆和散热金属板(9)构成；其中，衬底(3)的中央区域通过深反应离子刻蚀技术刻孔，作为上方二氧化硅薄膜(4)的支撑结构和传热结构；热电堆的一端位于硅衬底(3)上，另一端位于薄膜结构的中央，有效实现了热电堆冷热结点之间的热绝缘；热电堆是由许多热电偶串联而成，而每个热电偶又由N型多晶硅纳米线热电偶臂(5)和P型多晶硅纳米线热电偶臂(6)构成；为了方便测试和避免局部偏差导致整个器件的失效，热电式发电机制作了多个输出电极(10)；在热电堆的上方，通过牺牲层释放制作出的空腔结构，进一步增强...

【技术特征摘要】
1.一种射频收发机中的多晶硅纳米线热电偶微型热电式发电机，其特征是：该微型热电式发电机主要由衬底(3)、水平放置的热电堆和散热金属板(9)构成；其中，衬底(3)的中央区域通过深反应离子刻蚀技术刻孔，作为上方二氧化硅薄膜(4)的支撑结构和传热结构；热电堆的一端位于硅衬底(3)上，另一端位于薄膜结构的中央，有效实现了热电堆冷热结点之间的热绝缘；热电堆是由许多热电偶串联而成，而每个热电偶又由N型多晶硅纳米线热电偶臂(5)和P型多晶硅纳米线热电偶臂(6)构成；为了方便测试和避免局部偏差导致整个器件的失效，热电式发电机制作了多个输出电极(10)；在热电堆的上方，通过牺牲层释放制作出的空腔结构，进一步增强了冷热两端之间...

【专利技术属性】
技术研发人员：廖小平，严嘉彬，
申请(专利权)人：东南大学，
类型：发明
国别省市：江苏,32