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本发明的射频收发机中的多晶硅纳米线热电偶微型热电式发电机，主要由衬底、水平放置的热电堆和散热金属板构成；其中，硅衬底的中央区域通过深反应离子刻蚀技术刻孔，作为上方二氧化硅薄膜的支撑结构和传热结构；热电堆的一端位于硅衬底上，另一端位于薄膜结构...
该专利属于东南大学所有，仅供学习研究参考，未经过东南大学授权不得商用。

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