金属过滤器的制造方法技术

本发明专利技术提供一种金属过滤器的制造方法，其包含下述工序：层叠工序，该工序是在铜基板上层叠感光性树脂组合物而形成感光性树脂组合物层；曝光工序，该工序是对感光性树脂组合物层的规定部分照射活性光线，使被曝光的部分发生光固化而形成感光性树脂组合物的固化物；显影工序，该工序是将感光性树脂组合物层中的感光性树脂组合物的固化物以外的部分通过显影而除去，在铜基板上形成由感光性树脂组合物的固化物构成的抗蚀图案；镀覆工序，该工序是对形成了抗蚀图案的铜基板进行金属镀覆而形成镀层；溶解工序，该工序是通过化学溶解而除去铜基板，从而得到由镀层和感光性树脂组合物的固化物构成的结构物；以及剥离工序，该工序是从结构物中除去感光性树脂组合物的固化物，从而得到镀层，其中，镀层是金属过滤器。该金属过滤器的制造方法能够制造没有皱纹、折断、划痕、卷曲等损伤以及微细贯通孔的变形的金属过滤器，因而是有用的。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】金属过滤器的制造方法
本专利技术涉及一种金属过滤器的制造方法。更详细地说，涉及一种能够高效地捕获血中循环癌细胞的金属过滤器的制造方法。
技术介绍
癌症在世界各国都占据死亡原因的前列，日本每年有30万人以上因患癌症而死亡，一直期待对癌症进行早期发现和治疗。由癌症导致人的死亡几乎都是因为癌的转移复发。癌的转移复发是由于癌细胞从原发灶经由血管或淋巴管而在其它脏器组织的血管壁上固定、浸润来形成微小转移灶而引起的。这种流过血管和淋巴管而在人的体内循环的癌细胞被称作血中循环癌细胞(CirculatingTumorCell，下文中有时称作“CTC”。)。血液中含有大量的红细胞、白细胞以及血小板等血细胞成分，据称其个数是在1mL血液中达到3.5～9×109个。其中CTC仅有数个左右。为了从血细胞成分中有效地检测CTC，需要分离血细胞成分，观察和测定都非常困难。CTC等癌细胞与血液中的细胞例如红细胞和白细胞或血小板等相比，尺寸要大一圈。因此，理论上，能够使用机械过滤法来除去上述血细胞成分，富集（浓缩）癌细胞。白细胞中存在具有与CTC同等程度的尺寸的细胞，有时仅根据尺寸的差异不能仅将CTC高精度地区分出来。但是，由于白细胞的变形能力比癌细胞大，所以通过由抽吸或加压等施加的外力，可以使白细胞通过比自己小的孔，从而能够与CTC分离。作为用于进行机械过滤法的过滤器，认为是使用金属过滤器。作为金属过滤器的制造方法，已知使用了光刻法的电气铸造(电铸)镀覆的方法。例如，专利文献1中记载了一种金属掩模的制造方法，其特征在于，在具有导电性的基板上形成第1感光性树脂层，将形成了网眼图案的第1光掩模重叠于上述第1感光性树脂层上来进行曝光，进行显影处理以除去不要部分，在该除去部分上，通过以上述基板作为一个电极来进行电铸，以厚度不超过上述第1感光性树脂层的方式形成第1镀层，在该第1镀层和上述第1感光树脂层的表面上通过溅射法形成导电性的薄膜，在该薄膜的表面上形成第2感光性树脂层，将形成了印刷图案的第2光掩模重叠于上述第2感光性树脂层上来进行曝光，进行显影处理以除去不要部分，在该除去部分上，通过以上述薄膜作为一个电极来进行电铸，以厚度不超过上述第2感光性树脂层的方式形成第2镀层，然后剥离上述基板，并且除去上述第1感光性树脂层、上述第2感光性树脂层以及上述薄膜的露出部分。另外，专利文献2中记载了一种金属掩模的制造方法，其包含下述工序：在由平板构成的基板的表面上以能够剥离的方式层压或涂布光致抗蚀剂的工序；在光致抗蚀剂上重叠图案膜、用与基板垂直地直射的光将光致抗蚀剂曝光的工序；剥离图案膜、将光致抗蚀剂转印至电铸阴模侧的工序；进行显影、干燥处理、在电铸阴模之上形成图案抗蚀剂膜的工序；在电铸阴模的未被图案抗蚀剂膜覆盖的表面上形成电沉积金属的工序；以及将电沉积金属从电铸阴模上剥离的工序。现有技术文献专利文献专利文献1：日本专利第3786313号专利文献2：日本专利第3934723号
技术实现思路
专利技术所要解决的问题但是，在专利文献1和2的制造方法中，成为金属掩模的电铸镀层从基板上的剥离是通过手工作业(手剥)来进行。因此，有时金属掩模上会发生皱纹、折断、划痕、卷曲等损伤。因此，在用专利文献1或2的制造方法制造金属过滤器的情况下，有时金属过滤器上会发生皱纹、折断、划痕、卷曲等损伤，金属过滤器的贯通孔会发生变形，贯通孔的尺寸会产生偏差(扩大、缩小)。可以想象，如果贯通孔的尺寸发生偏差，则癌细胞的分离精度会下降。因此，本专利技术的目的是提供一种不会发生皱纹、折断、划痕、卷曲等损伤以及微细贯通孔的变形的金属过滤器的制造方法。解决问题的手段本专利技术提供一种金属过滤器的制造方法，其包含下述工序：层叠工序，该工序是在铜基板上层叠感光性树脂组合物而形成感光性树脂组合物层；曝光工序，该工序是对感光性树脂组合物层的规定部分照射活性光线，使被曝光的部分发生光固化而形成感光性树脂组合物的固化物；显影工序，该工序是将感光性树脂组合物层中的感光性树脂组合物的固化物以外的部分通过显影而除去，在铜基板上形成由感光性树脂组合物的固化物构成的抗蚀图案；镀覆工序，该工序是对形成了抗蚀图案的铜基板进行金属镀覆而形成镀层；溶解工序，该工序是通过化学溶解而除去铜基板，从而得到由镀层和感光性树脂组合物的固化物构成的结构物；以及剥离工序，该工序是从结构物中除去感光性树脂组合物的固化物，从而得到镀层，其中，镀层是金属过滤器。根据上述本专利技术的制造方法，通过化学溶解而除去铜基板，不用通过手工作业(手剥)就能够回收将成为金属过滤器的镀层。因此，能够在不发生皱纹、折断、划痕、卷曲等损伤以及微细贯通孔的变形的情况下制造金属过滤器。由上述本专利技术的制造方法制造的金属过滤器由于贯通孔的尺寸的偏差较少，所以能够以高的分离精度分离和富集癌细胞。当基板与感光性树脂组合物(光致抗蚀剂)的粘附力不充分时，需要增大抗蚀图案的粘附面积，制造具有微细贯通孔的金属过滤器有可能变得困难。为了形成微细贯通孔，需要形成与贯通孔的尺寸相当的较小粘附面积的抗蚀图案。上述本专利技术的制造方法中，使用铜基板作为基板。铜由于与光致抗蚀剂的粘附力优良，所以能够获得与感光性树脂组合物的充分的粘附力。因此，根据使用铜基板的上述本专利技术的制造方法，能够制造具有微细贯通孔的金属过滤器。上述金属过滤器具有多个贯通孔，贯通孔的开口形状优选为选自圆、椭圆、圆角长方形、长方形以及正方形中的1种以上的形状。进而优选的是，贯通孔的开口形状包含长方形或圆角长方形的形状，长方形或圆角长方形的短边的长度为5～15μm。这里，圆角长方形是指由2条相等长度的长边和2个半圆形构成的形状，其是图3(B)所示的形状。圆角长方形的短边的长度是指图3(B)的a所表示的长度。另外，金属过滤器的厚度优选为3～50μm。通过设置成上述的开口形状和尺寸，癌细胞就不易堵塞贯通孔，能够进一步提高癌细胞的富集效率。上述的镀层的厚度优选比上述的感光性树脂组合物层的厚度(感光性树脂组合物的固化物的厚度)薄。由此，能够可靠地形成金属过滤器的贯通孔。如果镀层的厚度比感光性树脂组合物层的厚度厚，则镀层在比感光性树脂组合物的固化物的厚度厚的部分发生连接，有可能无法形成贯通孔。上述铜基板优选为可剥离铜箔。通过使用可剥离铜箔，可以减少铜的量，可以减少为除去铜基板而需要的化学溶解剂的量以及时间，提高生产率。上述金属过滤器优选为癌细胞富集用金属过滤器。上述金属过滤器具有特别适合于癌细胞富集的结构。即，本专利技术还提供一种由上述的制造方法制造的金属过滤器的用于癌细胞富集的用途。上述癌细胞富集用金属过滤器优选为血液中循环的癌细胞的富集用金属过滤器。上述金属过滤器具有特别适合于将血液中循环的癌细胞与血细胞成分分离并将癌细胞富集的结构。即，本专利技术还提供一种由上述的制造方法制造的金属过滤器的用于血液中循环的癌细胞的富集的用途。专利技术效果通过本专利技术，可以提供一种不会发生皱纹、折断、划痕、卷曲等损伤以及微细贯通孔的变形的金属过滤器的制造方法。附图说明图1(A)～(H)是说明本专利技术的制造方法的一个实施方式的工序图。图2(A)～(G)是说明本专利技术的制造方法的一个实施方式的工序图。图3(A)是表示过滤器的一个实施方式的概略图。图3(B)是一个实施方式的过滤器的贯通孔本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种金属过滤器的制造方法，其包含下述工序：层叠工序，该工序是通过将感光性树脂组合物层一边加热一边压贴于铜基板上来进行的，其中所述铜基板是由载体层和铜箔层构成的可剥离铜箔；曝光工序，该工序是对所述感光性树脂组合物层的规定部分照射活性光线，使被曝光的部分发生光固化而形成感光性树脂组合物的固化物；显影工序，该工序是将所述感光性树脂组合物层中的所述感光性树脂组合物的固化物以外的部分通过显影而除去，在所述铜基板上形成由所述感光性树脂组合物的固化物构成的抗蚀图案；镀覆工序，该工序是对所述形成了抗蚀图案的铜基板进行金属镀覆而形成镀层；将所述可剥离铜箔的所述载体层剥离的工序；溶解工序，该工序是通过化学溶解而除去所述可剥离铜箔的所述铜箔层，从而得到由所述镀层和所述感光性树脂组合物的固化物构成的结构物；以及剥离工序，该工序是从所述结构物中除去所述感光性树脂组合物的固化物，从而得到所述镀层，其中，所述镀层是金属过滤器。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2011.10.14 JP 2011-2271051.一种金属过滤器的制造方法，其包含下述工序：层叠工序，该工序是通过将感光性树脂组合物层一边加热一边压贴于铜基板上来进行的，其中所述铜基板是由载体层和铜箔层构成的可剥离铜箔；曝光工序，该工序是对所述感光性树脂组合物层的规定部分照射活性光线，使被曝光的部分发生光固化而形成感光性树脂组合物的固化物；显影工序，该工序是将所述感光性树脂组合物层中的所述感光性树脂组合物的固化物以外的部分通过显影而除去，在所述铜基板上形成由所述感光性树脂组合物的固化物构成的抗蚀图案；镀覆工序，该工序是对所述形成了抗蚀图案的铜基板进行金属镀覆而形成镀层；将所述可剥离铜箔的所述载体层剥离的工序；溶解工序，该工序是通过化学溶解而除去所述可剥离铜箔的所述铜箔层，从而得到由所述镀层和所述感光性树脂组合物的固化物构成的结构物；以及剥离工序，该工序是从所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：铃木崇裕，上原寿茂，菊原得仁，铃木恭介，
申请(专利权)人：日立化成株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP