无导轨快速稳定FTIR光谱探测装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及无导轨快速稳定FTIR光谱探测装置及探测方法，该装置包括半透半反分束器、定镜、动镜组、会聚镜、探测器及电路硬件处理系统和计算机软件数据处理显示系统；动镜组包括动镜、固定折返镜和无导轨微位移器件；无导轨微位移器件固定在基座上，动镜与无导轨微位移器件的驱动部件连接。本实用新型专利技术取消了传统FTIR中动镜运动所需的导轨，不仅从根本上解决动镜驱动的稳定性难题，而且动镜扫描干涉图的频率可超过1KHz，使得谱图响应率大幅提高，具有多光程实现方式可选择性强、光谱分辨率高、抗干扰能力强的优点，特别适用于对高速运动、快速变化等复杂场合的光谱测量需求。

Fast and stable FTIR spectrum detection device without guide rail

The utility model relates to a fast and stable FTIR spectroscopic detection device without guides and a detection method, which comprises a semi-penetrating and semi-reflecting beam splitter, a fixed mirror, a moving mirror group, a convergent mirror, a detector and a hardware processing system of the circuit and a computer software data processing and displaying system; the moving mirror group comprises a moving mirror, a fixed reentrant mirror and a guide-less micro-displacement device. The slideless micro-displacement device is fixed on the base, and the moving mirror is connected with the driving part of the slideless micro-displacement device. The utility model cancels the guide rail needed for the motion of the moving mirror in traditional FTIR, not only solves the stability problem of the driving of the moving mirror fundamentally, but also the frequency of the scanning interferogram of the moving mirror can exceed 1 KHz, which greatly improves the response rate of the spectrum, and has the advantages of strong selectivity, high spectral resolution and strong anti-interference ability for multi-path realization. Advantages are especially suitable for spectral measurement requirements for complex situations such as high-speed motion and rapid change.

【技术实现步骤摘要】
无导轨快速稳定FTIR光谱探测装置
本技术属于光谱成像
，涉及一种无导轨快速稳定傅里叶变换红外(FTIR)光谱探测的装置。
技术介绍
光谱成像技术，能够同时获得目标的两维空间信息和一维光谱信息，广泛应用于军事、医学、工业、农业、资源环境、大气探测、天文等方面，发展正方兴未艾。干涉型光谱成像技术是光谱成像技术中的主要分光类型之一。FTIR属于时间调制型(动态)干涉光谱成像技术，是干涉型光谱成像技术的主要技术之一，主要基于迈克尔逊干涉仪。FTIR光谱仪通过其干涉仪中动镜的运动而产生不同的光程差，以时间积分的方式记录所有不同光程差下辐射目标对应的不同干涉级次的干涉图(条纹)信号，对干涉图进行傅里叶变换积分获得目标的光谱。FTIR光谱仪通量高、信噪比高，但对动镜运动中的速度和姿态控制要求很高。也因此，动镜的运动方式出现了多样化。按照动镜运动和产生光程差的方式不同，可以分为直线运动式、摆动运动式、旋转运动式。其中，直线运动式是指动镜以匀速直线运动方式产生光程差，其主要难点是研制高稳定性的动镜扫描系统。传统直线运动式FTIR光谱仪中，动镜驱动机构主要采用音圈直线电机驱动高精密机械轴承导轨、本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.无导轨快速稳定FTIR光谱探测装置，包括设置在光的传播路线上的半透半反分束器(6)、定镜(5)、动镜组、会聚镜(8)、探测器及电路硬件处理系统(9)和计算机软件数据处理显示系统(10)；其特征在于：所述动镜组包括动镜(3)、固定折返镜(4)和无导轨微位移器件；所述动镜(3)和固定折返镜(4)组成多光程动镜组；所述无导轨微位移器件固定在基座(1)上，所述动镜(3)与无导轨微位移器件的驱动部件连接。

【技术特征摘要】
1.无导轨快速稳定FTIR光谱探测装置，包括设置在光的传播路线上的半透半反分束器(6)、定镜(5)、动镜组、会聚镜(8)、探测器及电路硬件处理系统(9)和计算机软件数据处理显示系统(10)；其特征在于：所述动镜组包括动镜(3)、固定折返镜(4)和无导轨微位移器件；所述动镜(3)和固定折返镜(4)组成多光程动镜组；所述无导轨微位移器件固定在基座(1)上，所述动镜(3)与无导轨微位移器件的驱动部件连接。2.根据权利要求1所述的无导轨快速稳定FTIR光谱探测装置，其特征在于：还包括前置光学系统(7)；所述前置光学系统(7)包括依次设置的会聚透镜(e)、光阑(d)和准直透镜(c)；所述前置光学系统将目标辐射光变成平行光。3.根据权利要求1或2所述的无导轨快速稳定FTIR光谱探测装置，其特征在于：所述半透半反分束器(6)将经准直后的平行光分成第一透射光线和第一反射光线；所述定镜(5)反射经半透半反分束器(6)后的第一透射光线，使得光线被原路返回，再经半透半反分束器(6)后形成第二透射光线和第二反射光线，其中的第二反射光线经会聚镜(8)后到达探测器及电路硬件处理系统(9)；所述多光程动镜组将第一反射光线原路返回到半...

【专利技术属性】
技术研发人员：魏儒义，张学敏，于涛，胡炳樑，
申请(专利权)人：中国科学院西安光学精密机械研究所，
类型：新型
国别省市：陕西,61