下载无导轨快速稳定FTIR光谱探测装置的技术资料

文档序号:18695643

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本实用新型涉及无导轨快速稳定FTIR光谱探测装置及探测方法,该装置包括半透半反分束器、定镜、动镜组、会聚镜、探测器及电路硬件处理系统和计算机软件数据处理显示系统;动镜组包括动镜、固定折返镜和无导轨微位移器件;无导轨微位移器件固定在基座上,动...
该专利属于中国科学院西安光学精密机械研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院西安光学精密机械研究所授权不得商用。

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