一种电感耦合型等离子体处理装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种电感耦合型等离子体处理装置，其结构包括控制面板、箱壳、支撑底座、处理主箱、保护外壳、连接环、贮存盒、桁架、放置箱、等离子点火装置、防护罩壳、出风管、出粉管、安装板、连接板，控制面板嵌入安装于箱壳上，本实用新型专利技术一种电感耦合型等离子体处理装置，结构上设有等离子点火装置，在使用该处理装置时，通过处理主箱的作用，使得出风管与出粉管开始工作，从而传输到进风管与进粉管的两次进粉，在通过阴极棒与阳极环的作用下与感应线圈进行配合，送料装置为其提高所需材料，从而在混合反应室中形成一个火炬状的稳定的等离子体焰矩，通过这样的感应线圈与磁极的配合下，使等离子处理更加稳定与快速。

An inductively coupled plasma processing device

The utility model discloses an inductively coupled plasma treatment device, which comprises a control panel, a box case, a support base, a treatment main box, a protective casing, a connecting ring, a storage box, a truss, a placing box, a plasma ignition device, a protective cover, an air outlet pipe, a powder outlet pipe, a mounting plate, a connecting plate and a control surface. The utility model relates to an inductively coupled plasma treatment device with a plasma ignition device on the structure. When the treatment device is used, the air outlet pipe and the powder outlet pipe are made to work by treating the function of the main box, and the powder inlet pipe and the powder inlet pipe are transmitted to the two powder inlets, and the powder inlet pipe is passed through. The cathode rod and the anode ring cooperate with the induction coil, and the feeding device improves the material needed, thus forming a torch-shaped stable plasma flame moment in the mixed reaction chamber. With the combination of the induction coil and the magnetic pole, the plasma treatment is more stable and fast.

【技术实现步骤摘要】
一种电感耦合型等离子体处理装置
本技术是一种电感耦合型等离子体处理装置，属于等离子体处理装置

技术介绍
等离子体处理装置广泛应用于集成电路的制造工艺中，如沉积、刻蚀等，其中，电感耦合型等离子体装置是等离子体处理装置中的主流技术之一，其原理主要是使用射频功率驱动电感耦合线圈产生较强的高频交变磁场，使得低压的反应气体被电离产生等离子体。现有技术公开了申请号为：201020627188.X的一种电感耦合型等离子体处理装置,包括:反应腔、电源和设置于所述反应腔顶盖上方的电感耦合线圈,所述电感耦合线圈包括位于所述反应腔顶盖中心区域的中心线圈和环绕在所述中心线圈外围的至少一个外围线圈,所述电源对各线圈分别供电,所述电感耦合型等离子体处理装置还包括设置于所述中心线圈与外围线圈之间的可移动的屏蔽件，但是该现有技术采用分开线圈的方式来进行处理，会使等离子不够稳定与快捷，导致等离子处理不稳定。
技术实现思路
针对现有技术存在的不足，本技术目的是提供一种电感耦合型等离子体处理装置，以解决的现有技术采用分开线圈的方式来进行处理，会使等离子不够稳定与快捷，导致等离子处理不稳定的问题。为了实现上述目的，本技术是通过如下的技术方案来实现：一种电感耦合型等离子体处理装置，其结构包括控制面板、箱壳、支撑底座、处理主箱、保护外壳、连接环、贮存盒、桁架、放置箱、等离子点火装置、防护罩壳、出风管、出粉管、安装板、连接板，所述控制面板嵌入安装于箱壳上，所述支撑底座的顶端与保护外壳的下表面相焊接，所述处理主箱嵌入安装于保护外壳内，所述连接环的顶端与出风管的一端相连接，所述贮存盒安装于桁架的上表面，所述放置箱的下表面与桁架的上表面相连接，所述等离子点火装置嵌入安装于防护罩壳上，所述出粉管的一端嵌入安装于处理主箱的内部，所述安装板的下表面与桁架的上表面相连接，所述桁架上设有连接板，所述等离子点火装置包括阴极棒、感应线圈、进风管、混合反应室、阳极环、进粉管、送料装置、外壳体，所述阴极棒的上表面与送料装置的下表面相贴合，所述感应线圈嵌入安装于外壳体的内部，所述进风管的一端与混合反应室相连接，所述阳极环安装于外壳体的内部，所述进粉管的右端与混合反应室相连接，所述送料装置的外表面与外壳体相黏合，所述外壳体的左端与安装板的右侧面相连接。进一步地，所述保护外壳的上表面与防护罩壳的下表面相贴合。进一步地，所述连接环的顶端与出粉管的一端相连接。进一步地，所述连接板的下表面与防护罩壳的上表面相贴合。进一步地，所述安装板为圆柱体结构。进一步地，所述连接板为铁制成，铁具有硬度大和延展性好。进一步地，所述安装板直径为10cm，高为1.5cm。有益效果本技术一种电感耦合型等离子体处理装置，结构上设有等离子点火装置，在使用该处理装置时，通过处理主箱的作用，使得出风管与出粉管开始工作，从而传输到进风管与进粉管的两次进粉，在通过阴极棒与阳极环的作用下与感应线圈进行配合，送料装置为其提高所需材料，从而在混合反应室中形成一个火炬状的稳定的等离子体焰矩，通过这样的感应线圈与磁极的配合下，使等离子处理更加稳定与快速。附图说明通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本技术的其它特征、目的和优点将会变得更明显：图1为本技术一种电感耦合型等离子体处理装置的结构示意图；图2为本技术A部分的局部结构示意图；图3为本技术一种等离子点火装置的正视剖面结构示意图。图中：控制面板-1、箱壳-2、支撑底座-3、处理主箱-4、保护外壳-5、连接环-6、贮存盒-7、桁架-8、放置箱-9、等离子点火装置-10、防护罩壳-11、出风管-12、出粉管-13、安装板-14、连接板-15、阴极棒-1001、感应线圈-1002、进风管-1003、混合反应室-1004、阳极环-1005、进粉管-1006、送料装置-1007、外壳体-1008。具体实施方式为使本技术实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本技术。请参阅图1、图2、图3，本技术提供一种电感耦合型等离子体处理装置技术方案：其结构包括控制面板1、箱壳2、支撑底座3、处理主箱4、保护外壳5、连接环6、贮存盒7、桁架8、放置箱9、等离子点火装置10、防护罩壳11、出风管12、出粉管13、安装板14、连接板15，所述控制面板1嵌入安装于箱壳2上，所述支撑底座3的顶端与保护外壳5的下表面相焊接，所述处理主箱4嵌入安装于保护外壳5内，所述连接环6的顶端与出风管12的一端相连接，所述贮存盒7安装于桁架8的上表面，所述放置箱9的下表面与桁架8的上表面相连接，所述等离子点火装置10嵌入安装于防护罩壳11上，所述出粉管13的一端嵌入安装于处理主箱4的内部，所述安装板14的下表面与桁架8的上表面相连接，所述桁架8上设有连接板15，所述等离子点火装置10包括阴极棒1001、感应线圈1002、进风管1003、混合反应室1004、阳极环1005、进粉管1006、送料装置1007、外壳体1008，所述阴极棒1001的上表面与送料装置1007的下表面相贴合，所述感应线圈1002嵌入安装于外壳体1008的内部，所述进风管1003的一端与混合反应室1004相连接，所述阳极环1005安装于外壳体1008的内部，所述进粉管1006的右端与混合反应室1004相连接，所述送料装置1007的外表面与外壳体1008相黏合，所述外壳体1008的左端与安装板14的右侧面相连接，所述保护外壳5的上表面与防护罩壳11的下表面相贴合，所述连接环6的顶端与出粉管13的一端相连接，所述连接板15的下表面与防护罩壳11的上表面相贴合，所述安装板14为圆柱体结构，所述连接板15为铁制成，铁具有硬度大和延展性好，所述安装板14直径为10cm，高为1.5cm。本专利所说的桁架8为一种由杆件彼此在两端用铰链连接而成的结构，桁架由直杆组成的一般具有三角形单元的平面或空间结构，桁架杆件主要承受轴向拉力或压力，从而能充分利用材料的强度，在跨度较大时可比实腹梁节省材料，减轻自重和增大刚度，所述感应线圈1002是由导线一圈靠一圈地绕在绝缘管上，导线彼此互相绝缘，而绝缘管可以是空心的，也可以包含铁芯或磁粉芯,线圈的电感用L表示，利用电磁感应的原理进行工作的器件。在进行使用时，结构上设有等离子点火装置10，在使用该处理装置时，通过处理主箱4的作用，使得出风管12与出粉管13开始工作，从而传输到进风管1003与进粉管1006的两次进粉，在通过阴极棒1001与阳极环1005的作用下与感应线圈1002进行配合，送料装置1007为其提高所需材料，从而在混合反应室1004中形成一个火炬状的稳定的等离子体焰矩。本技术解决现有技术采用分开线圈的方式来进行处理，会使等离子不够稳定与快捷，导致等离子处理不稳定的问题，本技术通过上述部件的互相组合，结构上设有等离子点火装置，在使用该处理装置时，通过处理主箱的作用，使得出风管与出粉管开始工作，从而传输到进风管与进粉管的两次进粉，在通过阴极棒与阳极环的作用下与感应线圈进行配合，送料装置为其提高所需材料，从而在混合反应室中形成一个火炬状的稳定的等离子体焰矩，通过这样的感应线圈与磁极的配合下，使本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种电感耦合型等离子体处理装置，其特征在于：其结构包括控制面板(1)、箱壳(2)、支撑底座(3)、处理主箱(4)、保护外壳(5)、连接环(6)、贮存盒(7)、桁架(8)、放置箱(9)、等离子点火装置(10)、防护罩壳(11)、出风管(12)、出粉管(13)、安装板(14)、连接板(15)，所述控制面板(1)嵌入安装于箱壳(2)上，所述支撑底座(3)的顶端与保护外壳(5)的下表面相焊接，所述处理主箱(4)嵌入安装于保护外壳(5)内，所述连接环(6)的顶端与出风管(12)的一端相连接，所述贮存盒(7)安装于桁架(8)的上表面，所述放置箱(9)的下表面与桁架(8)的上表面相连接，所述等离子点火装置(10)嵌入安装于防护罩壳(11)上，所述出粉管(13)的一端嵌入安装于处理主箱(4)的内部，所述安装板(14)的下表面与桁架(8)的上表面相连接，所述桁架(8)上设有连接板(15)，所述等离子点火装置(10)包括阴极棒(1001)、感应线圈(1002)、进风管(1003)、混合反应室(1004)、阳极环(1005)、进粉管(1006)、送料装置(1007)、外壳体(1008)，所述阴极棒(1001)的上表面与送料装置(1007)的下表面相贴合，所述感应线圈(1002)嵌入安装于外壳体(1008)的内部，所述进风管(1003)的一端与混合反应室(1004)相连接，所述阳极环(1005)安装于外壳体(1008)的内部，所述进粉管(1006)的右端与混合反应室(1004)相连接，所述送料装置(1007)的外表面与外壳体(1008)相黏合，所述外壳体(1008)的左端与安装板(14)的右侧面相连接。...

【技术特征摘要】
1.一种电感耦合型等离子体处理装置，其特征在于：其结构包括控制面板(1)、箱壳(2)、支撑底座(3)、处理主箱(4)、保护外壳(5)、连接环(6)、贮存盒(7)、桁架(8)、放置箱(9)、等离子点火装置(10)、防护罩壳(11)、出风管(12)、出粉管(13)、安装板(14)、连接板(15)，所述控制面板(1)嵌入安装于箱壳(2)上，所述支撑底座(3)的顶端与保护外壳(5)的下表面相焊接，所述处理主箱(4)嵌入安装于保护外壳(5)内，所述连接环(6)的顶端与出风管(12)的一端相连接，所述贮存盒(7)安装于桁架(8)的上表面，所述放置箱(9)的下表面与桁架(8)的上表面相连接，所述等离子点火装置(10)嵌入安装于防护罩壳(11)上，所述出粉管(13)的一端嵌入安装于处理主箱(4)的内部，所述安装板(14)的下表面与桁架(8)的上表面相连接，所述桁架(8)上设有连接板(15)，所述等离子点火装置(10)包括阴极棒(1001)、感应线圈(1002)、进风管(1003)、混合反应室(1004)、阳极环(1005)、进粉管(1006)...

【专利技术属性】
技术研发人员：钟荣福，
申请(专利权)人：南昌航辉科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江西,36