一种全自动硅片翻面烘干机制造技术

本发明专利技术公开了一种全自动硅片翻面烘干机，包括烘干箱、旋转电机、联动轴、鼓风器、烘干器、硅片盘、抽风器、控制中枢。本发明专利技术能够使硅片的烘干自动化进行，同时还能进行翻面烘干，有效降低硅片表面的水分残留，提升烘干质量，烘干效率高，利于推广应用。

A fully automatic silicon wafer turning dryer

The invention discloses an automatic silicon wafer turning dryer, which comprises a drying box, a rotating motor, a linkage shaft, an air blower, a dryer, a silicon wafer disc, an air exhauster and a control center. The invention can make the drying of silicon wafer automated, and at the same time can carry out the turn-over drying, effectively reduce the moisture residue on the surface of silicon wafer, improve the drying quality, and have high drying efficiency, which is conducive to popularization and application.

【技术实现步骤摘要】
一种全自动硅片翻面烘干机
本专利技术涉及硅片生产的
，特别是一种全自动硅片翻面烘干机的

技术介绍
21世纪以来，全球能源消费急剧攀升，传统化石能源日益枯竭，能源问题和环境问题逐渐成为全球关注的两大重点问题。迫于可持续发展的压力，各主要国家纷纷将太阳能光伏产业列入可再生能源开发利用的重点。目前，硅片生产过程中须经过清洗工序，硅片清洗后要去除其表面的水分，以得到清洁、干燥的硅片，硅片烘干机是硅片清洗后去除表面水分的最常用的设备。目前硅片烘干机都是人工操作，智能化和自动化程度低，浪费大量的时间、人力和物力。
技术实现思路
本专利技术的目的就是解决现有技术中的问题，提出一种全自动硅片翻面烘干机，能够使硅片的烘干自动化进行，同时还能进行翻面烘干，有效降低硅片表面的水分残留，提升烘干质量，烘干效率高，利于推广应用。为实现上述目的，本专利技术提出了一种全自动硅片翻面烘干机，包括烘干箱、旋转电机、联动轴、鼓风器、烘干器、硅片盘、抽风器、控制中枢，所述鼓风器设置在烘干箱顶部，所述鼓风器包括鼓风机、电动伸缩气管、入风皮碗，所述鼓风机设置在烘干箱顶部，所述电动伸缩气管穿过烘干箱竖直向下设置在烘干箱内，所述电动伸缩气管底端安装有入风皮碗，所述鼓风器下方设置有烘干器，所述烘干器包括翻转盘、加热器、烘干腔、风转盘、皮碗密封感应环，所述翻转盘左右两端均设置有加热器，所述烘干腔设置在翻转盘中部，所述烘干腔的上方设置有风转盘，所述风转盘的开口外侧设置有皮碗密封感应环，所述烘干腔的下方对应设置有风转盘，所述风转盘的开口外侧设置有皮碗密封感应环，所述硅片盘安装在烘干腔内，所述烘干器的左右两端通过联动轴与旋转电机相连，所述旋转电机设置在烘干箱的左侧面，所述抽风器包括抽风机、电动伸缩气管、抽风皮碗，所述抽风机设置在烘干箱底部，所述电动伸缩气管穿过烘干箱竖直向上设置在烘干箱内，所述电动伸缩气管顶端安装有抽风皮碗，所述控制中枢设置在烘干箱的右下方，所述烘干箱的底部安装有支脚。作为优选，所述入风皮碗的形状为竖直向下的倒漏斗形，所述入风皮碗的最大开口直径大于风转盘的直径，所述入风皮碗正对风转盘竖直方向上的开口，所述皮碗密封感应环为带接触感应器的橡胶密封圆环。作为优选，所述硅片盘上均匀设置有多个硅片固定槽，所述硅片固定槽为镂空透气槽，所述硅片盘为导热盘，所述硅片盘的左右两端与加热器相连，所述硅片盘的安装方式为可拆卸式，所述翻转盘为隔热盘。作为优选，所述抽风皮碗的形状为竖直向上的漏斗形，所述抽风皮碗的最大开口直径大于风转盘的直径，所述抽风皮碗正对风转盘竖直方向上的开口。作为优选，所述烘干腔顶部和底部的风转盘呈上下对应关系，所述风转盘为主动转盘，所述风转盘内均匀设置有多个旋转导风管，所述旋转电机通过联动轴带动烘干器沿竖直方向旋转，所述烘干箱为竖直设置的圆柱形隔热箱。作为优选，所述控制中枢与旋转电机、加热器、鼓风机、电动伸缩气管、风转盘、皮碗密封感应环、抽风机一一相连。本专利技术的有益效果：本专利技术通过将烘干箱、旋转电机、联动轴、鼓风器、烘干器、硅片盘、抽风器、控制中枢结合在一起，经过试验优化，能够使硅片的烘干自动化进行，同时还能进行翻面烘干，有效降低硅片表面的水分残留，提升烘干质量，烘干效率高，利于推广应用。本专利技术的特征及优点将通过实施例结合附图进行详细说明。【附图说明】图1是本专利技术一种全自动硅片翻面烘干机的结构示意图。图中：1-烘干箱、2-旋转电机、3-联动轴、4-鼓风器、5-烘干器、6-硅片盘、7-抽风器、8-控制中枢、9-鼓风机、10-电动伸缩气管、11-入风皮碗、12-翻转盘、13-加热器、14-烘干腔、15-风转盘、16-皮碗密封感应环、17-抽风机、18-抽风皮碗、19-支脚、20-硅片固定槽、21-旋转导风管。【具体实施方式】参阅图1，本专利技术一种全自动硅片翻面烘干机，包括烘干箱1、旋转电机2、联动轴3、鼓风器4、烘干器5、硅片盘6、抽风器7、控制中枢8，所述鼓风器4设置在烘干箱1顶部，所述鼓风器4包括鼓风机9、电动伸缩气管10、入风皮碗11，所述鼓风机9设置在烘干箱1顶部，所述电动伸缩气管10穿过烘干箱1竖直向下设置在烘干箱1内，所述电动伸缩气管10底端安装有入风皮碗11，所述鼓风器4下方设置有烘干器5，所述烘干器5包括翻转盘12、加热器13、烘干腔14、风转盘15、皮碗密封感应环16，所述翻转盘12左右两端均设置有加热器13，所述烘干腔14设置在翻转盘12中部，所述烘干腔14的上方设置有风转盘15，所述风转盘15的开口外侧设置有皮碗密封感应环16，所述烘干腔14的下方对应设置有风转盘15，所述风转盘15的开口外侧设置有皮碗密封感应环16，所述硅片盘6安装在烘干腔14内，所述烘干器5的左右两端通过联动轴3与旋转电机2相连，所述旋转电机2设置在烘干箱1的左侧面，所述抽风器7包括抽风机17、电动伸缩气管10、抽风皮碗18，所述抽风机17设置在烘干箱1底部，所述电动伸缩气管10穿过烘干箱1竖直向上设置在烘干箱1内，所述电动伸缩气管10顶端安装有抽风皮碗18，所述控制中枢8设置在烘干箱1的右下方，所述烘干箱1的底部安装有支脚19，所述入风皮碗11的形状为竖直向下的倒漏斗形，所述入风皮碗11的最大开口直径大于风转盘15的直径，所述入风皮碗11正对风转盘15竖直方向上的开口，所述皮碗密封感应环16为带接触感应器的橡胶密封圆环，所述硅片盘6上均匀设置有多个硅片固定槽20，所述硅片固定槽20为镂空透气槽，所述硅片盘6为导热盘，所述硅片盘6的左右两端与加热器13相连，所述硅片盘6的安装方式为可拆卸式，所述翻转盘12为隔热盘，所述抽风皮碗18的形状为竖直向上的漏斗形，所述抽风皮碗18的最大开口直径大于风转盘15的直径，所述抽风皮碗18正对风转盘15竖直方向上的开口，所述烘干腔14顶部和底部的风转盘15呈上下对应关系，所述风转盘15为主动转盘，所述风转盘15内均匀设置有多个旋转导风管21，所述旋转电机2通过联动轴3带动烘干器5沿竖直方向旋转，所述烘干箱1为竖直设置的圆柱形隔热箱，所述控制中枢8与旋转电机2、加热器13、鼓风机9、电动伸缩气管10、风转盘15、皮碗密封感应环16、抽风机17一一相连。本专利技术通过将烘干箱1、旋转电机2、联动轴3、鼓风器4、烘干器5、硅片盘6、抽风器7、控制中枢8结合在一起，经过试验优化，能够使硅片的烘干自动化进行，同时还能进行翻面烘干，有效降低硅片表面的水分残留，提升烘干质量，烘干效率高，利于推广应用。上述实施例是对本专利技术的说明，不是对本专利技术的限定，任何对本专利技术简单变换后的方案均属于本专利技术的保护范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种全自动硅片翻面烘干机，其特征在于：包括烘干箱(1)、旋转电机(2)、联动轴(3)、鼓风器(4)、烘干器(5)、硅片盘(6)、抽风器(7)、控制中枢(8)，所述鼓风器(4)设置在烘干箱(1)顶部，所述鼓风器(4)包括鼓风机(9)、电动伸缩气管(10)、入风皮碗(11)，所述鼓风机(9)设置在烘干箱(1)顶部，所述电动伸缩气管(10)穿过烘干箱(1)竖直向下设置在烘干箱(1)内，所述电动伸缩气管(10)底端安装有入风皮碗(11)，所述鼓风器(4)下方设置有烘干器(5)，所述烘干器(5)包括翻转盘(12)、加热器(13)、烘干腔(14)、风转盘(15)、皮碗密封感应环(16)，所述翻转盘(12)左右两端均设置有加热器(13)，所述烘干腔(14)设置在翻转盘(12)中部，所述烘干腔(14)的上方设置有风转盘(15)，所述风转盘(15)的开口外侧设置有皮碗密封感应环(16)，所述烘干腔(14)的下方对应设置有风转盘(15)，所述风转盘(15)的开口外侧设置有皮碗密封感应环(16)，所述硅片盘(6)安装在烘干腔(14)内，所述烘干器(5)的左右两端通过联动轴(3)与旋转电机(2)相连，所述旋转电机(2)设置在烘干箱(1)的左侧面，所述抽风器(7)包括抽风机(17)、电动伸缩气管(10)、抽风皮碗(18)，所述抽风机(17)设置在烘干箱(1)底部，所述电动伸缩气管(10)穿过烘干箱(1)竖直向上设置在烘干箱(1)内，所述电动伸缩气管(10)顶端安装有抽风皮碗(18)，所述控制中枢(8)设置在烘干箱(1)的右下方，所述烘干箱(1)的底部安装有支脚(19)。...

【技术特征摘要】
1.一种全自动硅片翻面烘干机，其特征在于：包括烘干箱(1)、旋转电机(2)、联动轴(3)、鼓风器(4)、烘干器(5)、硅片盘(6)、抽风器(7)、控制中枢(8)，所述鼓风器(4)设置在烘干箱(1)顶部，所述鼓风器(4)包括鼓风机(9)、电动伸缩气管(10)、入风皮碗(11)，所述鼓风机(9)设置在烘干箱(1)顶部，所述电动伸缩气管(10)穿过烘干箱(1)竖直向下设置在烘干箱(1)内，所述电动伸缩气管(10)底端安装有入风皮碗(11)，所述鼓风器(4)下方设置有烘干器(5)，所述烘干器(5)包括翻转盘(12)、加热器(13)、烘干腔(14)、风转盘(15)、皮碗密封感应环(16)，所述翻转盘(12)左右两端均设置有加热器(13)，所述烘干腔(14)设置在翻转盘(12)中部，所述烘干腔(14)的上方设置有风转盘(15)，所述风转盘(15)的开口外侧设置有皮碗密封感应环(16)，所述烘干腔(14)的下方对应设置有风转盘(15)，所述风转盘(15)的开口外侧设置有皮碗密封感应环(16)，所述硅片盘(6)安装在烘干腔(14)内，所述烘干器(5)的左右两端通过联动轴(3)与旋转电机(2)相连，所述旋转电机(2)设置在烘干箱(1)的左侧面，所述抽风器(7)包括抽风机(17)、电动伸缩气管(10)、抽风皮碗(18)，所述抽风机(17)设置在烘干箱(1)底部，所述电动伸缩气管(10)穿过烘干箱(1)竖直向上设置在烘干箱(1)内，所述电动伸缩气管(10)顶端安装有抽风皮碗(18)，所述控制中枢(8)设置在烘干箱(1)的右下方，所述烘干箱(1...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈贵连，
申请(专利权)人：嘉兴岐达新材料有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江,33