自动摇盘机制造技术

本实用新型专利技术公开一种自动摇盘机，其包含基座及摇盘组，摇盘组设置于基座上并包含有摆动装置、震动组件、底板及一摇盘，震动组件可受摆动装置的带动相对基座摆动，底板可受震动组件的驱动而震动，摇盘上成形有筛选槽、挡板及晶粒孔，挡板设置于摇盘顶面并延伸至筛选槽上方，晶粒孔贯穿成形于筛选槽的底面并贯通至摇盘的底面，本实用新型专利技术通过摆动组件及震动装置分别产生大幅度的摆动及小幅度的震动，使放置于筛选槽内的晶粒能够通过震动及摆动以正确的面向进入到相对应的晶粒孔内，藉此达到自动化筛选的功能，进一步节省在加工流程上的人力成本。

Automatic rolling machine

The utility model discloses an automatic swaying disc machine, which comprises a base and a swaying disc group. The swaying disc group is arranged on the base and comprises a swaying device, a vibrating component, a bottom plate and a swaying disc. The shaking component can be driven by the swaying device relative to the base, the bottom plate can be driven by the shaking component and shaken, and the shaking disc is formed with a screening groove. The baffle plate and the grain hole are arranged on the top surface of the rocking disc and extend to the top of the screening groove. The grain hole is formed through the bottom surface of the screening groove and passes through to the bottom surface of the rocking disc. The utility model generates large amplitude swing and small amplitude vibration respectively through the swing component and the vibration device, so that the grains placed in the screening groove can pass through. Over-shaking and swinging can be properly oriented into the corresponding grain pores, thus achieving the function of automatic screening and further saving labor costs in the processing process.

【技术实现步骤摘要】
自动摇盘机
本技术一种半导体加工机械，尤指一种筛选晶粒(Die)的自动摇盘机。
技术介绍
半导体产业中，关于晶圆加工完成后切割成的晶粒，该些晶粒为微小的板体结构，并板体结构的相对两侧面分别为一P面及一N面，由于该两侧面的特性不同，故在将晶粒进行后续加工至如电路基板等其他元件上时，需以一正确的面向放置才能产生正确的效能。而现有技术中，关于此种辨识晶粒两侧面并将其翻至正确面的加工流程，通过一摇盘，该摇盘上具有多个晶粒孔，使用者通过手持摇盘并将晶粒洒在摇盘上后开始轻微晃动，由于该些晶粒孔内具有特殊的凹槽形状，因此当晶粒在晃动的过程中落入晶粒孔中，如果以正确的面向(N面朝下)进入晶粒孔中，则便能够与该凹槽形状相配合，并稳固地设置于晶粒孔内，但如果以不正确的面向(P面朝下)进入晶粒孔，则会因为其形状与晶粒孔内的形状不合，因此无法稳固地设置于晶粒孔内，进而会在持续晃动的过程中再度被摇晃出晶粒孔，现有技术即通过此一手动摇晃晶粒的过程，使其摇晃完成后能够使晶粒皆以正确的方向设置于晶粒孔内，达到将晶粒翻转至正确面向的功能。然而，现有技术中此种利用人力来摇晃摇盘的过程，其不仅耗时且对于科技逐渐倾向全自动化的概念有所冲突，也无法有效地提高制造过程的效率，因此现有技术的此种筛选晶粒的过程，有其缺陷存在。
技术实现思路
有鉴于现有技术的缺点及不足，本技术提供一种自动摇盘机，其通过将筛选晶粒的过程自动化，进一步节省加工人力且提高生产时的效率。为达上述的创作目的，本技术所采用的技术手段为一种自动摇盘机，其包含一基座；至少一摇盘组，其设置于该基座上，各该至少一摇盘组包含有一摆动装置，其设置于该基座上；一震动组件，其设置于该摆动装置上，且该震动组件可受该摆动装置的带动而相对该基座摆动；一底板，其设置于该摆动装置上，且可受该震动组件的驱动产生震动；一摇盘，其设置于该底板上，且该摇盘上设有一筛选槽及两挡板，该筛选槽上成形有多个晶粒孔，该多个晶粒孔贯穿该筛选槽的底面并连通至该摇盘的底面，该两挡板分别设置于该摇盘顶面上，并沿该摆动装置的摆动方向设置于其相对两侧，且该两挡板延伸至该筛选板的上方。进一步而言，前述的自动摇盘机，其中各该摇盘组中，该底板上成形有多个震动孔，该些震动孔贯穿该底板的顶面及底面；该震动组件进一步包含有一震动动力装置；一震动基座，该震动基座与该震动动力装置相连接；多个震动转轴，该多个震动转轴设置于该震动基座上，并与该震动动力装置电相连，且该多个震动转轴可受该震动动力装置驱动而转动，该多个震动转轴的数量及位置与该底板上的该多个震动孔的数量及位置相对应，且各该震动转轴的顶端进一步设有一偏心块，各该偏心块向上突伸于该底板上相对应的该震动孔内，并可贴靠该震动孔的内壁面相对该震动孔转动，当该多个震动转轴受该震动动力装置的驱动而转动时，各该偏心块会贴靠相对应的该震动孔的内壁面转动并使该底板相对该震动组件震动。进一步而言，前述的自动摇盘机，其中各该至少一摇盘组上进一步包含有两敲击装置，其分别设置于该底板上的相对两侧边，该两敲击装置可相对该底板产生震动。进一步而言，前述的自动摇盘机，其中各该敲击装置包含有一外壳体；一撞锤，其可滑动地设置于该外壳体内，且该撞锤的相对两端选择性地撞击该外壳体的内壁面；两弹性元件，该两弹性元件分别设置于该撞锤的相对两端，且各该弹性元件的一端抵靠于该撞锤，其另一端抵靠于该外壳体的内壁面上，使该撞锤夹设于该两弹性元件之间。进一步而言，前述的自动摇盘机，其中各该至少一摇盘组中，该底板的侧壁面上设置有多个底板扣件；该摇盘的侧壁面上设置有多个摇盘扣件，该多个摇盘扣件可拆卸地与该多个底板扣件相结合。进一步而言，前述的自动摇盘机，其中各该至少一摇盘组中，该底板上进一步成形有一抽引孔，该抽引孔与该摇盘的该多个晶粒孔相连通，且该抽引孔用于与一负压装置相连接。进一步而言，前述的自动摇盘机，其中各该至少一摇盘组的该摇盘的该筛选槽的底面上进一步凹设成形有两暂存槽，该两暂存槽凹设成形于该筛选槽沿该摆动装置的摆动方向的相对两侧，且该两暂存槽的位置与该两挡板的位置相对应。进一步而言，前述的自动摇盘机，其进一步包含有一横向移动组件，其设置于该基座上，各该至少一摇盘组与该横向移动组件相连接，并可受该横向移动组件的带动沿一横向于该基座上移动；各该至少一摇盘组上进一步包含有一纵向移动组件，该摆动装置设置于该纵向移动组件上，且该纵向移动组件可驱动该摆动装置沿一纵向移动。进一步而言，前述的自动摇盘机，其中各该摇盘组的该摆动装置的一摆动轴沿该纵向延伸地设置。本技术的优点在于，通过装设于底座上的该至少一摇盘组，使用者可实现以下两点特征：第一，各该摇盘组的摆动装置以及震动装置可分别对摇盘组进行摆动及震动，进而模拟现有技术中利用人手晃动的流程，同时由于通过该些自动化机器的震动及晃动，本技术相较于利用人手筛选晶粒，在流程上可更加快速、精准且稳固，并亦可降低人力上的成本。第二，摇盘上的挡板可避免使晶粒在自动化的晃动过程中飞出摇盘的可能。附图说明图1为本技术的立体外观图。图2为本技术的俯视动作图。图3为本技术的另一俯视动作图。图4为本技术摇盘组的立体分解图。图5为本技术摇盘组另一视角立体分解图。图6为本技术底板及摇盘的震动动作示意图。图7为本技术底板及摇盘的另一震动动作示意图。图8为本技术的摆动动作示意图。图9为本技术的另一摆动动作示意图。图10为本技术敲击装置的俯视示意图。图11为本技术敲击装置的剖面侧视图。主要组件符号说明：10基座11横向移动组件111横向驱动马达112横向滚珠螺杆12纵向移动组件121纵向驱动马达20摇盘组23摇盘231筛选孔232挡板31震动动力装置具体实施方式以下配合图式及本技术的较佳实施例，进一步阐述本技术为达成预定技术目的所采取的技术手段。请参阅图1所示，本技术的自动摇盘机包含有一基座10及至少一摇盘组20。请参阅图1、图2及图3所示，本实施例中，该至少一摇盘组20的数量为两组，并该两摇盘组20彼此间隔且可移动地设置于基座10上，但不以此为限，摇盘组20的数量可随使用者的需求进行调整。更精确地说，本实施例中，基座10上进一步设有一横向移动组件11及两纵向移动组件12，该横向移动组件11包含有一横向驱动马达111及一横向滚珠螺杆112，该两摇盘组20分别设置于该横向滚珠螺杆112上，并可受该横向驱动马达111的带动，沿一横向L1于该横向滚珠螺杆112上来回移动，但不以此为限，摇盘组20亦可通过其他方式沿横向L1地于基座10上移动。此外，本实施例中，由于该两摇盘组20共同受到该横向移动组件11的带动，换言之，当横向驱动马达111开始驱动时，该两摇盘组20会同步地沿该横向L1移动，但不以此为限，该两摇盘组20亦为独立地沿该横向L1移动。请进一步参阅图4所示，该两纵向移动组件12分别设置于该两摇盘组20的底端，在本实施例中，该两纵向移动组件12设置于该横向移动组件11的上方，且各该纵向移动组件12包含有一纵向驱动马达121及一纵向滚珠螺杆122，该两摇盘组分别可沿一纵向L2移动地设置于该两纵向滚珠螺杆122上，并且通过纵向驱动马达121驱动该两摇盘组2本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种自动摇盘机，其特征在于，包含：一基座；至少一摇盘组，其设置于该基座上，各该至少一摇盘组包含有一摆动装置，其设置于该基座上；一震动组件，其设置于该摆动装置上，且该震动组件可受该摆动装置的带动而相对该基座摆动；一底板，其设置于该摆动装置上，且可受该震动组件的驱动产生震动；一摇盘，其设置于该底板上，且该摇盘上设有一筛选槽及两挡板，该筛选槽上成形有多个晶粒孔，该多个晶粒孔贯穿该筛选槽的底面并连通至该摇盘的底面，该两挡板分别设置于该摇盘顶面上，并沿该摆动装置的摆动方向设置于其相对两侧，且该两挡板延伸至该筛选槽的上方。

【技术特征摘要】
1.一种自动摇盘机，其特征在于，包含：一基座；至少一摇盘组，其设置于该基座上，各该至少一摇盘组包含有一摆动装置，其设置于该基座上；一震动组件，其设置于该摆动装置上，且该震动组件可受该摆动装置的带动而相对该基座摆动；一底板，其设置于该摆动装置上，且可受该震动组件的驱动产生震动；一摇盘，其设置于该底板上，且该摇盘上设有一筛选槽及两挡板，该筛选槽上成形有多个晶粒孔，该多个晶粒孔贯穿该筛选槽的底面并连通至该摇盘的底面，该两挡板分别设置于该摇盘顶面上，并沿该摆动装置的摆动方向设置于其相对两侧，且该两挡板延伸至该筛选槽的上方。2.如权利要求1所述的自动摇盘机，其特征在于，各该摇盘组中，该底板上成形有多个震动孔，该些震动孔贯穿该底板的顶面及底面；该震动组件进一步包含有一震动动力装置；一震动基座，该震动基座与该震动动力装置相连接；多个震动转轴，该多个震动转轴设置于该震动基座上，并与该震动动力装置电相连，且该多个震动转轴可受该震动动力装置驱动而转动，该多个震动转轴的数量及位置与该底板上的该多个震动孔的数量及位置相对应，且各该震动转轴的顶端进一步设有一偏心块，各该偏心块向上突伸于该底板上相对应的该震动孔内，并可贴靠该震动孔的内壁面相对该震动孔转动，当该多个震动转轴受该震动动力装置的驱动而转动时，各该偏心块会贴靠相对应的该震动孔的内壁面转动并使该底板相对该震动组件震动。3.如权利要求1或2所述的自动摇盘机，其特征在于，各该至少一摇盘组上进一步包含有两敲击装置，其分别设置于该底板上的相对两侧边，该两敲击装置可相对该底板...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴茂荣，武传仁，彭荣贵，黄正尚，
申请(专利权)人：广化科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：中国台湾,71