掩膜板、信号线及数字标识的制备方法、基板及显示装置制造方法及图纸

本发明专利技术的实施例提供一种掩膜板、信号线及数字标识的制备方法、基板及显示装置，涉及显示技术领域，可解决大尺寸拼接产品难以形成连续数字标识的问题。该掩膜板包括依次排列的第一、第二和第三单元，各单元分别包括：X1、X2和X3个走线图案；第一单元还包括：X1个数字标识图案，数字为按照由小到大的顺序排列的X1个连续整数；第二单元还包括：X2个标识组，每个标识组均包含N个数字标识图案，X2个标识组中所有数字标识图案的数字为N*X2个连续整数；X2个标识组中位于相同排列位置处的数字标识图案的数字为由小到大排列的X2个连续整数；第三单元还包括：X3个数字标识图案，数字为按照由小到大的顺序排列的X3个连续整数。

【技术实现步骤摘要】
掩膜板、信号线及数字标识的制备方法、基板及显示装置
本专利技术涉及显示
，尤其涉及一种掩膜板、信号线及数字标识的制备方法、基板及显示装置。
技术介绍
显示装置中的基板上设置有多根信号线，通常需要为每根信号线标注数字编号，各数字编号按照信号线的排列方式一般由小到大依次排列在每根信号线的一端或两端，如“1”、“2”、“3”……“108”、“109”、“110”等，以便在基板的制备及后续检测中对各信号线进行辨识。信号线和数字编号的制备过程通常需要采用掩膜板(Mask)对光刻胶进行曝光、显影，并对光刻胶露出的导电层进行刻蚀以形成信号线和数字序号的具体图案。对于应用于大尺寸显示装置中的基板，受制于掩膜板的制备及曝光对位机的限制，掩膜板难以制备成相应的大尺寸结构，即掩膜板的有效区域无法在一次曝光时覆盖整个基板。现有技术中针对这一情况，通常是将大尺寸的基板划分成若干区域，采用拼接曝光的方式对基板上的中间区域的各个部分进行依次曝光，由于掩膜板中间的同一单元(即重复单元)对基板上相应区域进行了依次曝光，因此，对于重复单元对应于基板上中间区域依次划分的各个部分中待形成的各信号线无法进行由小到大的连续数字编号，导致采用拼接曝光方式形成的基板上中间区域的各信号线无法形成对应的数字编号，增加基板的制备及后续检测的操作困难。
技术实现思路
鉴于此，为解决现有技术的问题，本专利技术的实施例提供一种掩膜板、信号线及数字标识的制备方法、基板及显示装置，采用本专利技术实施例提供的掩膜板进行拼接曝光后形成的信号线具有连接的数字标识，可解决大尺寸拼接产品难以形成连续数字标识的问题。为达到上述目的，本专利技术的实施例采用如下技术方案：第一方面、本专利技术实施例提供一种掩膜板，包括：依次排列的第一单元、第二单元和第三单元；所述第一单元包括：X1个走线图案；所述第二单元包括：X2个走线图案；所述第三单元包括：X3个走线图案；X1、X3≥1，X2≥3；所述X1个走线图案、所述X2个走线图案和所述X3个走线图案均平行排列；所述第一单元还包括：位于所述X1个走线图案的一端且分别标记每个走线图案的X1个数字标识图案；沿所述第一单元指向所述第三单元的方向，所述X1个数字标识图案的数字为按照由小到大的顺序排列的X1个连续整数；所述第二单元还包括：位于所述X2个走线图案的一端且分别标记每个走线图案的X2个标识组，每个标识组均包含N个数字标识图案，所述X2个标识组中所有数字标识图案的数字为N*X2个连续整数，N≥2；其中，沿所述第一单元指向所述第三单元的方向，所述X2个标识组中位于相同排列位置处的数字标识图案的数字为由小到大排列的X2个连续整数，所述第二单元中的第1个标识组中的N个数字标识图案的最小数字比所述第一单元中的最后1个数字标识图案的数字大1；所述第三单元还包括：位于所述X3个走线图案的一端且分别标记每个走线图案的X3个数字标识图案；沿所述第一单元指向所述第三单元的方向，所述X3个数字标识图案的数字为按照由小到大的顺序排列的X3个连续整数，且所述第三单元中的第1个数字标识图案的数字比所述第二单元中的最后1个标识组中的N个数字标识图案的最大数字大1。可选的，包括有所述X1个走线图案、所述X2个走线图案和所述X3个走线图案的所有走线图案的同一端设置有所述X1个数字标识图案、所述X2个标识组和所述X3个数字标识图案。可选的，沿所述第一单元指向所述第三单元的方向，每个标识组中的所述N个数字标识图案的数字均由大到小依次排列；其中，所述第一单元还包括：位于最后1个数字标识图案靠近所述第二单元一侧的(N-1)个保护图案，所述(N-1)个保护图案与所述第二单元中的最后1个标识组中的除第1个数字标识图案之外的其余(N-1)个数字标识图案一一对应；所述保护图案用于在所述第二单元重复拼接曝光时，保护所述第二单元前一次曝光后与最后1个标识组中其余(N-1)个数字标识图案对应区域的光刻胶；和/或，所述第三单元还包括：位于第1个数字标识图案靠近所述第二单元一侧的(N-1)个保护图案，所述(N-1)个保护图案与所述第二单元中的第1个标识组中的除最后1个数字标识图案之外的其余(N-1)个数字标识图案一一对应；所述保护图案用于在所述第二单元重复拼接曝光时，保护所述第二单元后一次曝光时与第1个标识组中其余(N-1)个数字标识图案对应区域的光刻胶。可选的，当采用所述掩膜板进行曝光的光刻胶为正性光刻胶时，所述数字标识图案为不透光的数字，所述保护图案为遮光块，且所述遮光块的面积大于对应的所述不透光的数字的面积；或者，当采用所述掩膜板进行曝光的光刻胶为负性光刻胶时，所述数字标识图案为透光的数字，所述保护图案为透光块，所述透光块的面积大于对应的所述透光的数字的面积。可选的，所述第一单元还包括：位于所述X1个走线图案的另一端且分别标记每个走线图案的X1个数字标识图案，同一个走线图案两端的所述数字标识图案的数字相同；所述第二单元还包括：位于所述X2个走线图案的一端且分别标记每个走线图案的X2个标识组，每个标识组均包含N个数字标识图案，同一个走线图案两端的所述标识组包括的N个数字标识图案的排列方式和数字均相同；所述第三单元还包括：位于所述X3个走线图案的另一端且分别标记每个走线图案的X3个数字标识图案，同一个走线图案两端的所述数字标识图案的数字相同。第二方面、本专利技术实施例还提供了一种信号线及数字标识的制备方法，包括：在衬底基板上依次形成导电膜层和光刻胶层；所述光刻胶层划分为依次排列的第一区域、N个第二区域和第三区域，N≥2，沿所述第一区域指向所述第三区域的方向，所述N个第二区域包括：依次排列的第1个第二区域至最后1个第二区域；所述制备方法还包括：通过上述任一项所述的掩膜板对所述光刻胶层进行曝光，包括：使所述掩膜板的所述第一单元、所述第二单元分别与所述光刻胶层的所述第一区域、第1个第二区域正对应，对所述第一区域、所述第1个第二区域进行曝光；当N＝2时，使所述掩膜板的所述第二单元、所述第三单元分别与所述光刻胶层的所述最后1个第二区域、所述第三区域正对应，对所述最后1个第二区域、所述第三区域进行曝光；当N>2时，使所述掩膜板的所述第二单元与所述光刻胶层的所述N个第二区域中除首尾两个所述第二区域之外的其余(N-2)个第二区域依次正对应，对所述其余(N-2)个第二区域依次进行曝光；使所述掩膜板的所述第二单元、所述第三单元分别与所述光刻胶层的所述最后1个第二区域、所述第三区域正对应，对所述最后1个第二区域、所述第三区域进行曝光；对经过曝光后的所述光刻胶层进行显影，并对所述光刻胶层经过所述显影后露出的所述导电膜层的区域进行刻蚀，形成：位于所述第一区域中的X1根信号线、位于所述X1根信号线的一端且分别标记每根信号线的X1个导电数字标识；和，位于每个所述第二区域中的X2根信号线、分别位于所述第1个第二区域中的前(X2-1)根信号线的一端的(X2-1)个导电标识组、分别位于所述最后1个第二区域中的后(X2-1)根信号线的一端的(X2-1)个导电标识组、分别位于其余每个所述第二区域中除首尾两根所述信号线之外的其余(X2-2)根信号线的一端的(X2-2)个导电标识组，每个导电标识组均包含N个导电数字标识；和，位于所述第本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种掩膜板，包括：依次排列的第一单元、第二单元和第三单元；所述第一单元包括：X1个走线图案；所述第二单元包括：X2个走线图案；所述第三单元包括：X3个走线图案；X1、X3≥1，X2≥3；所述X1个走线图案、所述X2个走线图案和所述X3个走线图案均平行排列；其特征在于，所述第一单元还包括：位于所述X1个走线图案的一端且分别标记每个走线图案的X1个数字标识图案；沿所述第一单元指向所述第三单元的方向，所述X1个数字标识图案的数字为按照由小到大的顺序排列的X1个连续整数；所述第二单元还包括：位于所述X2个走线图案的一端且分别标记每个走线图案的X2个标识组，每个标识组均包含N个数字标识图案，所述X2个标识组中所有数字标识图案的数字为N*X2个连续整数，N≥2；其中，沿所述第一单元指向所述第三单元的方向，所述X2个标识组中位于相同排列位置处的数字标识图案的数字为由小到大排列的X2个连续整数，所述第二单元中的第1个标识组中的N个数字标识图案的最小数字比所述第一单元中的最后1个数字标识图案的数字大1；所述第三单元还包括：位于所述X3个走线图案的一端且分别标记每个走线图案的X3个数字标识图案；沿所述第一单元指向所述第三单元的方向，所述X3个数字标识图案的数字为按照由小到大的顺序排列的X3个连续整数，且所述第三单元中的第1个数字标识图案的数字比所述第二单元中的最后1个标识组中的N个数字标识图案的最大数字大1。...

【技术特征摘要】
1.一种掩膜板，包括：依次排列的第一单元、第二单元和第三单元；所述第一单元包括：X1个走线图案；所述第二单元包括：X2个走线图案；所述第三单元包括：X3个走线图案；X1、X3≥1，X2≥3；所述X1个走线图案、所述X2个走线图案和所述X3个走线图案均平行排列；其特征在于，所述第一单元还包括：位于所述X1个走线图案的一端且分别标记每个走线图案的X1个数字标识图案；沿所述第一单元指向所述第三单元的方向，所述X1个数字标识图案的数字为按照由小到大的顺序排列的X1个连续整数；所述第二单元还包括：位于所述X2个走线图案的一端且分别标记每个走线图案的X2个标识组，每个标识组均包含N个数字标识图案，所述X2个标识组中所有数字标识图案的数字为N*X2个连续整数，N≥2；其中，沿所述第一单元指向所述第三单元的方向，所述X2个标识组中位于相同排列位置处的数字标识图案的数字为由小到大排列的X2个连续整数，所述第二单元中的第1个标识组中的N个数字标识图案的最小数字比所述第一单元中的最后1个数字标识图案的数字大1；所述第三单元还包括：位于所述X3个走线图案的一端且分别标记每个走线图案的X3个数字标识图案；沿所述第一单元指向所述第三单元的方向，所述X3个数字标识图案的数字为按照由小到大的顺序排列的X3个连续整数，且所述第三单元中的第1个数字标识图案的数字比所述第二单元中的最后1个标识组中的N个数字标识图案的最大数字大1。2.根据权利要求1所述的掩膜板，其特征在于，包括有所述X1个走线图案、所述X2个走线图案和所述X3个走线图案的所有走线图案的同一端设置有所述X1个数字标识图案、所述X2个标识组和所述X3个数字标识图案。3.根据权利要求2所述的掩膜板，其特征在于，沿所述第一单元指向所述第三单元的方向，每个标识组中的所述N个数字标识图案的数字均由大到小依次排列；其中，所述第一单元还包括：位于最后1个数字标识图案靠近所述第二单元一侧的(N-1)个保护图案，所述(N-1)个保护图案与所述第二单元中的最后1个标识组中的除第1个数字标识图案之外的其余(N-1)个数字标识图案一一对应；所述保护图案用于在所述第二单元重复拼接曝光时，保护所述第二单元前一次曝光后与最后1个标识组中其余(N-1)个数字标识图案对应区域的光刻胶；和/或，所述第三单元还包括：位于第1个数字标识图案靠近所述第二单元一侧的(N-1)个保护图案，所述(N-1)个保护图案与所述第二单元中的第1个标识组中的除最后1个数字标识图案之外的其余(N-1)个数字标识图案一一对应；所述保护图案用于在所述第二单元重复拼接曝光时，保护所述第二单元后一次曝光时与第1个标识组中其余(N-1)个数字标识图案对应区域的光刻胶。4.根据权利要求3所述的掩膜板，其特征在于，当采用所述掩膜板进行曝光的光刻胶为正性光刻胶时，所述数字标识图案为不透光的数字，所述保护图案为遮光块，且所述遮光块的面积大于对应的所述不透光的数字的面积；或者，当采用所述掩膜板进行曝光的光刻胶为负性光刻胶时，所述数字标识图案为透光的数字，所述保护图案为透光块，所述透光块的面积大于对应的所述透光的数字的面积。5.根据权利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述第一单元还包括：位于所述X1个走线图案的另一端且分别标记每个走线图案的X1个数字标识图案，同一个走线图案两端的所述数字标识图案的数字相同；所述第二单元还包括：位于所述X2个走线图案的一端且分别标记每个走线图案的X2个标识组，每个标识组均包含N个数字标识图案，同一个走线图案两端的所述标识组包括的N个数字标识图案的排列方式和数字均相同；所述第三单元还包括：位于所述X3个走线图案的另一端且分别标记每个走线图案的X3个数字标识图案，同一个走线图案两端的所述数字标识图案的数字相同。6.一种信号线及数字标识的制备方法，包括：在衬底基板上依次形成导电膜层和光刻胶层；所述光刻胶层划分为依次排列的第一区域、N个第二区域和第三区域，N≥2，沿所述第一区域指向所述第三区域的方向，所述N个第二区域包括：依次排列的第1个第二区域至最后1个第二区域；其特征在于，所述制备方法还包括：通过如权利要求1至5任一项所述的掩膜板对所述光刻胶层进行曝光，包括：使所述掩膜板的所述第一单元、所述第二单元分别与所述光刻胶层的所述第一区域、第1个第二区域正对应，对...

【专利技术属性】
技术研发人员：王文超，胡波，王宝强，朴相镇，徐旭，徐姗姗，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，福州京东方光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：北京,11