振动膜结构及振动检测传感器制造技术

本发明专利技术公开一种振动膜结构及振动检测传感器，其中，振动膜结构包括有膜支撑件、导电薄膜和质量块；膜支撑件形成有内部空腔，导电薄膜具有连接部和悬设部，连接部与悬设部相连接；导电薄膜通过连接部连接于膜支撑件上，导电薄膜的悬设部则对应内部空腔设置；质量块连接于悬设部；藉此，通过对振动膜结构的改良，用于检测发动机等振动信息，振动声波使得振动膜结构振动，导致电容变化，如此，可以通过采集的信号变化情况，获取发动机等的运行平稳性及其它运行性能是否正常，本发明专利技术中振动膜结构的振动灵敏度较佳，确保拾取信号精准可靠，能够更加真实地实时检测反馈发动机等运行情况。

【技术实现步骤摘要】
振动膜结构及振动检测传感器
本专利技术涉及发动机等振动检测领域技术，尤其是指一种振动膜结构及振动检测传感器。
技术介绍
汽车的发动机、无人机的发动机等，其发动机运行性能（或指工作状态）通常是会在发动机的振动情况上有相应体现，因此，可以通过检测发动机的振动情况来获知发动机的工作状态。常见的振动传感器的形式有：（1）电涡流式：采用涡流效应为工作原理的振动式传感器，它属于非接触式传感器。（2）电感式：依据电磁感应原理设计的一种振动传感器。电感式振动传感器设置有磁铁和导磁体将机械振动参数转化为电参量信号，可应用于振动速度、加速度等参数的测量。（3）电容式：通过间隙或公共面积的改变来获得可变电容，再对电容量进行测定而后得到机械振动参数的。（4）压电式：利用晶体的压电效应来完成振动测量的，当被测物体的振动对压电式振动传感器形成压力后，晶体元件就会产生相应的电荷，电荷数即可换算为振动参数。（5）电阻应变式振动：以电阻变化量来表达被测物体机械振动量的一种振动传感器。但是，目前针对发动机等振动检测，普遍存在振动检测不够准确等缺陷，难以做到对发动机等振动情况的真实传感检测。因此，本专利技术申请中，专利技术人精心研究了一种新的技术方案来解决上述问题，其主要针对发动机等振动情况的检测。
技术实现思路
有鉴于此，本专利技术针对现有技术存在之缺失，其主要目的是提供一种振动膜结构及振动检测传感器,其振动膜结构的振动灵敏度较佳，确保拾取信号精准可靠，能够更加真实地实时检测反馈发动机等运行情况。为实现上述目的，本专利技术采用如下之技术方案：一种振动膜结构，包括有膜支撑件、导电薄膜和质量块；其中，膜支撑件形成有内部空腔，导电薄膜具有连接部和悬设部，连接部与悬设部相连接；导电薄膜通过连接部连接于膜支撑件上，导电薄膜的悬设部则对应内部空腔设置；质量块连接于悬设部。作为一种优选方案，所述膜支撑件为环状，连接部形成于导电薄膜的周边部位，质量块与膜支撑件的内环面之间保留有环形间隙。作为一种优选方案，所述导电薄膜具有绝缘膜层和镀设于绝缘膜层上的导电金属层。作为一种优选方案，所述导电薄膜覆设于膜支撑件的顶端面，质量块连接于导电薄膜的底端面，质量块位于膜支撑件的内部空腔中。作为一种优选方案，所述悬设部封住整个内部空腔的上端开口。作为一种优选方案，所述悬设部呈环状，质量块封住悬设部的内部开口。作为一种优选方案，所述膜支撑件为圆环形结构，所述导电薄膜为圆形结构，所述质量块为圆形结构或方形结构，所述质量块居中布置于悬设部，环形间隙为圆环形间隙。作为一种优选方案，所述膜支撑件为圆环形结构，所述导电薄膜为圆环形结构，所述质量块为圆形结构，所述质量块居中布置于悬设部，环形间隙为圆环形间隙。一种振动检测传感器，包括有外壳，该外壳内部具有容置腔，该容置腔内装设有振动膜结构、绝缘垫圈、背极板、背极座、连接环、线路板；所述振动膜结构为前述的振动膜结构；所述悬设部、质量块均与背极板、容置腔的内底面保持间距。本专利技术与现有技术相比具有明显的优点和有益效果，具体而言，由上述技术方案可知，其主要是通过对振动膜结构的改良，用于检测发动机等振动信息，振动声波使得振动膜结构振动，导致电容变化，如此，可以通过采集的信号变化情况，获取发动机等的运行平稳性及其它运行性能是否正常，本专利技术中振动膜结构的振动灵敏度较佳，确保拾取信号精准可靠，能够更加真实地实时检测反馈发动机等运行情况。为更清楚地阐述本专利技术的结构特征和功效，下面结合附图与具体实施例来对本专利技术进行详细说明。附图说明图1是本专利技术之实施例的组装立体示图；图2是本专利技术之实施例的另一角度组装立体示图；图3是本专利技术之实施例在组装状态下的截面结构示图；图4是本专利技术之实施例的分解结构示图；图5是本专利技术之实施例的另一角度分解结构示图；图6是本专利技术之实施例在分解状态下的截面结构示图；图7是本专利技术之实施例中振动膜结构的组装立体示图；图8是本专利技术之实施例中振动膜结构的另一角度组装立体示图；图9是本专利技术之实施例中振动膜结构的截面结构示图；图10是本专利技术之实施例中振动膜结构在分解状态下的截面结构示图；图11是本专利技术之另一实施例中振动膜结构在分解状态下的截面结构示图。附图标识说明：10、外壳11、容置腔20、振动膜结构21、膜支撑件211、内部空腔22、导电薄膜221、连接部222、悬设部23、质量块24、导电薄膜241、内部开口30、绝缘垫圈40、背极板50、背极座60、连接环70、线路板。具体实施方式请参照图1至图11所示，其显示出了本专利技术之实施例的具体结构；本实施例中的振动检测传感器，其主要用于对发动机（例如：汽车发动机、无人机的发动机等）的振动检测，以实时检测反馈发动机的工作状态。一种振动检测传感器，包括有外壳10，该外壳10内部具有容置腔11，该容置腔11内装设有振动膜结构20、绝缘垫圈30、背极板40、背极座50、连接环60、线路板70；该外壳10一般设计为用于屏蔽外部电磁信号干扰的金属外壳，例如：铜壳、镍合金壳、铝合金壳等。所述外壳10上端铆压卷边定位于线路板70上。其中，所述振动膜结构20，包括有膜支撑件21、导电薄膜22和质量块23；其中，膜支撑件21形成有内部空腔211，导电薄膜22具有连接部221和悬设部222，连接部221与悬设部222相连接；导电薄膜22通过连接部221连接于膜支撑件21上，导电薄膜22的悬设部222则对应内部空腔211设置；质量块23连接于悬设部222。所述悬设部222、质量块23均与背极板40、容置腔11的内底面保持间距；发动机的振动声波传递给振动膜结构20，导电薄膜22的悬设部222随同质量块23产生振动，改变悬设部222与背极板40的距离，从而改变与背极板40之间的电容间隙，引起两极板间的电荷量的变化，从而输出信号，在此过程中，利用导电薄膜22和质量块23形成的新型的振动膜结构，其振动时的弹性灵敏度较佳，确保了声音输出信号的准确性，能够更加真实地实时检测反馈发动机等运行情况。优选地，所述膜支撑件21为环状，连接部221形成于导电薄膜22的周边部位，质量块23与膜支撑件21的内环面之间保留有环形间隙。所述导电薄膜22具有绝缘膜层和真空镀设于绝缘膜层上的导电金属层。所述导电薄膜22覆设于膜支撑件21的顶端面，质量块23连接于导电薄膜22的底端面，质量块23位于膜支撑件21的内部空腔211中。如图9、图10所示，所述悬设部222封住整个内部空腔211的上端开口。优选地，所述膜支撑件21为圆环形结构，所述导电薄膜22为圆形结构，所述质量块23为圆形结构或方形结构，所述质量块23居中布置于悬设部222，环形间隙为圆环形间隙。如图11所示，导电薄膜24悬设部呈环状，质量块23封住悬设部的内部开口。优选地，所述膜支撑件21为圆环形结构，所述导电薄膜24为圆环形结构，所述质量块23为圆形结构，所述质量块23居中布置于悬设部，环形间隙为圆环形间隙。综上所述，本专利技术的设计重点在于，其主要是通过对振动膜结构的改良，用于检测发动机等振动信息，振动声波使得振动膜结构振动，导致电容变化，如此，可以通过采集的信号变化情况，获取发动机等的运行平稳性及其它运行性能是否正常，本专利技术中振动膜结构的振动灵敏度较佳，确保拾取信号精准可靠，能够更加真实地实时检测反馈发本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种振动膜结构，其特征在于：包括有膜支撑件、导电薄膜和质量块；其中，膜支撑件形成有内部空腔，导电薄膜具有连接部和悬设部，连接部与悬设部相连接；导电薄膜通过连接部连接于膜支撑件上，导电薄膜的悬设部则对应内部空腔设置；质量块连接于悬设部。

【技术特征摘要】
1.一种振动膜结构，其特征在于：包括有膜支撑件、导电薄膜和质量块；其中，膜支撑件形成有内部空腔，导电薄膜具有连接部和悬设部，连接部与悬设部相连接；导电薄膜通过连接部连接于膜支撑件上，导电薄膜的悬设部则对应内部空腔设置；质量块连接于悬设部。2.根据权利要求1所述的振动膜结构，其特征在于：所述膜支撑件为环状，连接部形成于导电薄膜的周边部位，质量块与膜支撑件的内环面之间保留有环形间隙。3.根据权利要求2所述的振动膜结构，其特征在于：所述导电薄膜具有绝缘膜层和镀设于绝缘膜层上的导电金属层。4.根据权利要求2所述的振动膜结构，其特征在于：所述导电薄膜覆设于膜支撑件的顶端面，质量块连接于导电薄膜的底端面，质量块位于膜支撑件的内部空腔中。5.根据权利要求4所述的振动膜结构，其特征在于：所述悬设部封住整个内部空腔的...

【专利技术属性】
技术研发人员：郑虎鸣，贺志坚，于承峰，温增丰，
申请(专利权)人：东莞泉声电子有限公司，
类型：发明
国别省市：广东,44