用于元件的接收系统技术方案

用于元件的接收装置设计成以受控的方式相对于接收点通过旋转驱动至少部分地沿第三轴进行旋转，和/或以受控的方式通过是找一个线性驱动至少部分地沿第一、第二或第三轴线进行推进，和/或以受控的方式对由接收装置引导的载体进行沿第一和/或第二轴线的其中之一进行推进。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于元件的接收系统
本专利技术涉及一种用于元件的接收系统。
技术介绍
本专利技术描述了用于元件的接收系统。该用于元件的接收系统和元件操控装置以及成像传感器一同描述。本文中的元件，如(电子)半导体元件也称为“芯片”或“晶粒”。这样的元件通常为棱柱形，具有大致为例如四边形(矩形或正方形)的多边形横截面，并且具有多个侧面以及一个顶面和一个底面。各侧面和两个端面(底面和顶面)在下文中又被称为边面。元件也可以具有数量不同于四的侧面数量。元件也可以是光学元件(棱镜、反射镜、透镜等)。总的来说，元件可以具有任何几何形状。从本申请人的实际操作经验中，所谓的拾取和放置装置是已知的，在所述装置中，元件由抽吸装置或夹固装置从元件台上被拾取并随后被放置于载体或传送容器等中。在放置元件前，通常会对元件进行检查。处于该目的，通过一个或多个照相机来记录元件的一个或多个边面的图像并通过自图像处理技术对所述图像进行分析。现有技术这样的保持装置在元件的传送和其底面(例如下底面)的图像采集过程中保持元件。例如，文件DE102008018586A1公开了用于检测从第一工作台传送至第二工作台的元件的表面的光学检测装置，照相机至少朝向元件的第一表面，光源将短波长光束发送至第一表面。第二光源将长波长光束至少发送至元件的第二表面。照相机接收由表面反射的第一和第二光束。与第一表面相比，第二表面与第一表面不同地定向，例如四边形元件具有下侧和总共四个侧表面的情况。EP1470747B1涉及芯片移出装置，芯片移出系统，装配系统，以及用于移出并进一步处理芯片的方法。芯片从晶圆中移出并传送到转移位置并在此时被转动。该用于从结构化的半导体晶圆中移出芯片的芯片移出装置装配有用于将芯片从晶圆移出并用于绕所移出芯片纵轴线或横轴线将它们转动180°的可旋转移出工具，以及用于绕所移出芯片纵轴线或横轴线将它们转动180°的可旋转转动工具，所述转动工具与移出工具配合。移出工具具有第一转移位置，转动工具具有第二转移位置，在该处芯片可以被转移至用于进一步处理的装配头。EP0906011A2涉及用于移出和在基板上装配电子元件的装置。装置包括可旋转转移装置，其于拾取位置处从进送模块将电子元件移出并于第一转移位置将它们转移至抽吸带以进行进一步处理。通过可旋转装配头，元件从抽吸带上被拾取并传送至第二转移位置。WO02/054480A1涉及一种用于光学检查待安装芯片的各种表面的装置。装置包括第一上部传输板，其适配于从进送单元移出芯片并将它们传送至第一转移位置。芯片被保持在抽吸开口中并通过上部传输板的旋转移动，所述抽吸开口形成在上部传输鼓侧面中。装置进一步具有其设计与第一传输板相同的第二下部传输板，该第二下部传输板于第一转移位置拾取移出的芯片并将它们传输至第二转移位置。装置允许芯片被横向布置在传输板旁的照相机检测，所述照相机检测芯片的上下两侧。芯片在不进行相对它们的原始朝向的转动的情况下被进一步转移至分类装置，以进行进一步处理。US4,619,043公开了用于移出和安装电子元件的设备和方法，尤其是用于电路板上的芯片。装置包括用于在拾取单元中拾取芯片以及用于将所拾取的芯片传输至第一转移位置的传送机构。传送机构具有彼此卡合的传送链和可旋转链轮。设备进一步包括具有用于在第一转移位置拾取芯片的安装头的可旋转固定工具。可移动工具进一步配置成通过可旋转运动将所拾取的芯片传送至第二转移位置，其中芯片被转动。JP2-193813涉及用于拾取和转动电子元件的设备，所述电子元件被测试设备检测。设备包括进送单元，芯片状电子部件通过第一旋转体从该进送单元移除并布置在其周边。通过旋转体的旋转运动，电子元件被传输至第一转移位置，其中电子元件被围绕它们的纵轴线或横轴线转动。设备进一步包括了于第一转移位置拾取移出的电子元件并将它们传送到第二转移位置的第二旋转体。电子元件由此进一步绕它们的纵轴线或横轴线转动。设备因此允许对待检测的元件的不同面进行检测。US6,079,284涉及一种用于片剂的详细可视化检测的设备。该设备包括第一检测鼓，其通过形成在其横向表面上的抽吸孔从供应设备处将片剂移出并通过旋转将其移动至第二检测鼓。对应于第一鼓的第二鼓设置有在转移位置处拾取片剂的抽吸孔。该设备进一步包括对片剂进行详细检测的检测单元。进一步技术背景可以在文件JP2001-74664(A)，JP1-193630(A)，US5,750,979，WO85/04385A1，DE19913134A1，JP8-227904A中找到。
技术实现思路
待解决的问题提出一种用于对元件进行精确操控并且以高吞吐量对所述元件进行检查的接收装置。本申请提出的解决方案该目的通过一种用于元件的接收装置实现，所述接收装置配置成通过旋转驱动相对于放置点以受控的方式至少部分地沿包含所述放置点的第三轴线旋转，和/或至少通过至少一个线性驱动以受控的方式至少部分地沿第一、第二和/或第三轴线的其中之一移动，和/或通过旋转驱动以受控的方式沿第一和/或第二轴线的其中之一旋转被接收装置引导的载体。在一个实施例中，在用于元件的接收装置的功能性上游处布置有元件操控装置，所述元件操控装置用于将棱柱形元件从结构元件供应库取出并将该取出的元件放置到接收装置处。将具有多个拾取部件的第一转动装置配置成在分发点处从结构元件供应库接收元件，并将接收的元件以第一预定角度，绕自身纵轴线或横轴线转动，将之传送至转移点。将具有多个拾取部件的第二转动装置配置成在转移点处从第一转动装置的拾取部件接收所述元件，并将接收的元件以第二预定角度，绕自身纵轴线或横轴线转动，将之传送至放置点。将与第一和第二转动装置相关的位置和特性传感器配置成检测第一和第二转动装置的位置数据、位于拾取部件的元件的位置信息、和/或位于拾取部件的元件的特性，以将它们提供给控制器。将控制器配置成通过第一旋转驱动绕第一轴线以受控的方式旋转第一转动装置，通过第一线性驱动沿第一轴线以受控的方式移动第一转动装置，通过第二旋转驱动绕不与第一轴线共线的第二轴线以受控的方式旋转第二转动装置，并通过第二线性驱动沿第二轴线以受控的方式移动第二转动装置。此处示出的配置因此形成一体的接收/检测装置。接收点和(放置)袋在此处具有相同的意义。丢弃的部分可以因此被排出。集成入转移过程中的光学检查被分为多个检测步骤。其使用一个或多个成像传感器对检测元件的底面和/或边面，以及拾取部件在转移/接收点的位置进行光学检测。这些成像传感器配置成在多个检测步骤中均对元件的一个底面和/或边面至少采集一张图像。元件的进送/传送发生在当转动装置的拾取部件每个都保持有一个元件时。随着传送过程，被保持的元件经过各个单独的检查步骤。成像传感器所采集的数据(图像)也用于协调机械手(拾取部件)和接收点的位置控制。将元件进送的方式配置成大致持续地或周期性地沿元件路径进送元件。本专利技术提出的整个组件结合了两个方面功能：操控和检测。当元件逐一地从元件供应库中排出时，这两个功能互相交织以对元件的多个面(多达六或更多面)进行快速和精确的定性评估，使得定性为完好的元件被精确地放置到(多个)接收点。元件操控装置具有两个大致星形或轮形的转动装置，其优选地以受控的方式操作并被优选地布置成彼此大致正交(90°±多达15°)。这些转本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于元件的接收装置(200)，其相对于放置点(ABS)配置成，‑通过旋转驱动(DA3)以受控方式至少部分围绕包含放置点(ABS)的第三轴线(Z‑轴)旋转，和/或‑通过至少一个线性驱动(LA4)以受控的方式至少部分地沿第一、第二和/或第三轴线(X,Y,Z轴)的其中之一移动，和/或‑通过旋转驱动(DA4)以受控的方式沿第一和/或第二轴线(X,Y轴)的其中之一移动由所述接收装置(200)引导的载体(320)。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.10.16 DE 102015013495.71.一种用于元件的接收装置(200)，其相对于放置点(ABS)配置成，-通过旋转驱动(DA3)以受控方式至少部分围绕包含放置点(ABS)的第三轴线(Z-轴)旋转，和/或-通过至少一个线性驱动(LA4)以受控的方式至少部分地沿第一、第二和/或第三轴线(X,Y,Z轴)的其中之一移动，和/或-通过旋转驱动(DA4)以受控的方式沿第一和/或第二轴线(X,Y轴)的其中之一移动由所述接收装置(200)引导的载体(320)。2.根据权利要求1所述的接收装置(200)，其具有两个接收点(ES1，ES2),通过线性驱动的旋转驱动的受控操作使得所述接收点大致与所述放置点对齐，并且其中所述两个接收点(ES1，ES2)的定位是根据载体(320)的相邻元件接收件的间隔而相对于彼此进行。3.根据权利要求1或2所述的接收装置(200)，其中为了在待接收部件(B)的属性出现缺陷和/或位置错误的情况或接收点的位置错误的情况下由控制器(ECU)产生修正指令，设置有成像特性和/或位置传感器，所述成像特性和/或位置传感器用于确定待接收的元件(B)就它的特性和/或它相对于所述接收装置(200)中至少一个接收点(ES21，ES2)的位置的特性和/或位置，以实现对应的修正运动，和/或其中第四旋转驱动(DA4)配置为在来自于控制器(ECU)的控制信号的控制下，通过机械牵引以受控的方式沿第一和/或第二轴线(X、Y轴)的其中之一，以所述载体(320)的相邻元件接收体的间隔的大致80到120％，优选大致100％±不超过3％的距离，移动由所述接收装置(200)引导的所述载体(320)。4.根据权利要求1至3任一项所述的接收装置(200)，其中第三旋转驱动(DA3)配置成，在来自于控制器(ECU)的控制信号的控制下且根据来自成像特性和/或位置传感器的信号，以受控的方式沿包含放置点(ABS)的第三轴线(Z轴)，以高达±6°，优选高达±3°的角度，旋转至少一个带有位于其上的载体(320)的元件接收体的接收点(ES1，ES2)，以及/或，其中，所述至少一个线性驱动配置成，在来自于控制器(ECU)的控制信号的控制下，以受控的方式沿第一、第二和/或第三轴线(X、Y、Z轴)的其中之一，以载体(320)的相邻元件接收体的间隔的大致±不超过20％，优选地±高达3％的距离，移动所述接收装置(200)，和/或其中，旋转驱动(DA4)配置成根据载体(320)的相邻元件接收体的间隔沿第一和/或第二轴线(X、Y轴)其中之一向前进送由所述接收装置(200)引导的载体(320)。5.根据权利要求1至4任一项所述的接收装置(200),其中设置有从所述接收装置(200)中的至少一个接收点(ES1,ES2)和在所述接收装置(200)引导的所述载体(320)中移除被判定为损坏的和/或没有正确放置的元件(B)的抽吸和/或吹除装置,和/或其中所述接收装置从其整个旋转轴线大致平行定向于所述接收装置(200)的进送方向的转动装...

【专利技术属性】
技术研发人员：康斯坦丁·科赫，马库斯·费斯特尔，
申请(专利权)人：米尔鲍尔有限两合公司，
类型：发明
国别省市：德国,DE