A light hood carrying device (14) of the invention has a support block (14): a support block (50), which supports a light mask (M) below, an adsorption pad (46), which has a retaining surface for the face of a light mask (M) flexed by a support block (50) supported by the self weight of the mask (M), so that the retaining surface is moved in a manner along the flexible mask (M) surface. The mask is maintained by the holding surface, and the suction port (46b) is used to adsorb the curved light mask (M) on the retaining surface.
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】物体保持装置、曝光装置、平板显示器的制造方法、器件制造方法、物体的保持方法以及曝光方法
本专利技术涉及物体保持装置、曝光装置、平板显示器的制造方法、器件制造方法、物体的保持方法以及曝光方法，更详细地，本专利技术涉及保持物体的物体保持装置及方法、包含上述物体保持装置的曝光装置、包含上述物体保持方法的曝光方法、使用上述曝光装置或方法的平板显示器或器件的制造方法。
技术介绍
以往，在制造液晶显示元件、半导体元件(集成电路等)等电子器件(微型器件)的光刻工序中，使用了步进扫描(stepandscan)方式的曝光装置(所谓的扫描步进机(也称为扫描仪))等，该曝光装置一边使光罩或标线片(以下总称为“光罩”)和玻璃板或晶片等(以下总称为“基板”)沿着规定的扫描方向同步移动，一边使用能量束将形成于光罩的图案转印至基板上。这种曝光装置具有保持光罩并使该光罩在扫描方向上以规定的速度及精度移动的光罩载台装置(例如参照专利文献1)。在此，由于通常的光罩载台装置是以不干扰能量束的光路的方式对光罩M的端部附近(未形成有光罩图案的区域)进行保持(或支承)的结构，所以光罩会因自重而产生挠曲。这种...
【技术保护点】
1.一种物体保持装置，其保持物体，所述物体保持装置的特征在于，具备：支承部，其从下方支承所述物体；保持部，其具有对由所述支承部支承且因所述物体的自重而挠曲的所述物体的面进行保持的保持面，使所述保持面以沿着挠曲的所述物体的面的方式可动并利用所述保持面保持所述物体；和吸附部，其将挠曲的所述物体吸附于所述保持面。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.09.01 JP 2015-1723491.一种物体保持装置，其保持物体，所述物体保持装置的特征在于，具备：支承部，其从下方支承所述物体；保持部，其具有对由所述支承部支承且因所述物体的自重而挠曲的所述物体的面进行保持的保持面，使所述保持面以沿着挠曲的所述物体的面的方式可动并利用所述保持面保持所述物体；和吸附部，其将挠曲的所述物体吸附于所述保持面。2.根据权利要求1所述的物体保持装置，其特征在于，所述支承部配置在与所述物体保持装置能够移动的第一方向交叉的第二方向上的不同位置。3.根据权利要求2所述的物体保持装置，其特征在于，所述保持部被设置为抑制由所述保持部保持的所述物体向所述第二方向移动。4.根据权利要求2或3所述的物体保持装置，其特征在于，所述保持部在所述第二方向上对与被所述支承部支承的所述物体的第一部分不同的所述物体的第二部分进行保持。5.根据权利要求4所述的物体保持装置，其特征在于，所述支承部与所述第二部分相比在所述第二方向上在靠所述物体的中心侧支承所述第一部分。6.根据权利要求4或5所述的物体保持装置，其特征在于，所述支承部具有配置在所述第二方向上的不同位置的一对支承部件，所述保持部具有配置在所述第二方向上的不同位置的一对保持部件，在所述第二方向上的所述一对支承部件的间隔比在所述第二方向上的所述一对保持部件的间隔短。7.根据权利要求1～6中任一项所述的物体保持装置，其特征在于，所述保持部固定于所述物体保持装置，所述吸附部以抑制挠曲的所述物体的挠曲量的变动的方式控制对挠曲的所述物体的吸引力。8.根据权利要求1～7中任一项所述的物体保持装置，其特征在于，所述支承部与所述物体点接触来支承所述物体。9.根据权利要求1～7中任一项所述的物体保持装置，其特征在于，所述支承部使所述支承部与所述物体线接触来支承所述物体。10.根据权利要求1～9中任一项所述的物体保持装置，其特征在于，所述保持部具有使所述保持面向与所述保持面相对的所述物体的区域按压的按压部。11.根据权利要求1～10中任一项所述的物体保持装置，其特征在于，所述保持面以沿着所述支承部支承的所述物体的下表面的方式保持所述物体。12.根据权利要求1～10中任一项所述的物体保持装置，其特征在于，所述保持部对与所述支承部支承的所述物体的下表面不同的面进行保持。13.根据权利要求12所述的物体保持装置，其特征在于，所述保持部从所述物体的上表面或侧面进行保持。14.根据权利要求2所述的物体保持装置，其特征在于，所述保持部通过相对于所述物体保持装置在所述第一方向上按压所述物体来保持所述物体。15.一种曝光装置，其特征在于，具备：权利要求1～14中任一项所述的物体保持装置；和图案形成装置，其通过经由被所述物体保持装置保持的所述物体并利用能量束对曝光对象物进行曝光的曝光动作，而将所述物体所具有的图案形成到所述曝光对象物上。16.根据权利要求15所述的曝光装置，其特征在于，还具备投影光学系统，该投影光学系统设置在所述物体与所述曝光对象物之间，并使所述图案在所述曝光对象物上成像，所述投影光学系统能够根据所述物体的挠曲量来调整成像条件。17.根据权利要求16所述的曝光装置，其特征在于，当通过所述图案形成装置在设于所述曝光对象物的多个曝光区域形成所述图案时，所述投影光学系统能够按照所述多个曝光区域中的每一个来调整成像条件。18.根据权利要求15～17中任一项所述的曝光装置，其特征在于，所述曝光对象物是应用于平板显示器的基板。19.根据权利要求18所述的曝光装置，其特征在于，所述基板的至少一条边的长度或对角长度为500mm以上。20.一种平板显示器的制造方法，其特征在于，包括：使用权利要求15～18中任一项所述的曝光装置对所述曝光对象物进行曝光；和将曝光后的所述曝光对象物显影。21.一种器件制造方法，其特征在于，包括：使用权利要求15～18中任一项所述的曝光装置对所述曝光...
【专利技术属性】
技术研发人员：八田澄夫，白泽正裕，木南贵之，五十岚淑人，
申请(专利权)人：株式会社尼康，
类型：发明
国别省市：日本,JP
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。