一种大公斤蓝宝石晶体生长真空装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了蓝宝石晶体生长技术领域的一种大公斤蓝宝石晶体生长真空装置，包括集尘室、第一旋片泵、第二旋片泵和扩散泵，本实用新型专利技术通过设置集尘室，气流通过导流板与旋转叶接触，旋转叶转动与空气摩擦产生静电，通过静电吸附以及滤网收集原料粉末，减少进入第一旋片泵和第二旋片泵中的粉尘；设置有第一旋片泵和第二旋片泵，并通过三通阀切换，防止使用过程中第一旋片泵或是第二旋片泵出现故障导致整个装置无法使用；各管路连接处均设有连接器，取出定位销，旋转第二连接环，使连接杆移动，即可拆开管路之间的连接，简单方便；本实用新型专利技术有效减少粉尘造成的影响，安装连接以及更换维修方便，操作简单，实用性强。

A large kilogram sapphire crystal growth vacuum device

The utility model discloses a large kilogram sapphire crystal growth vacuum device in the technical field of sapphire crystal growth, including a dust collecting chamber, a first rotary piece pump, a second spin pump and a diffusion pump. The utility model is provided by setting a dust collecting chamber, the air flow is contacted with the rotating blade through a diversion plate, and the rotating blade is rotating with the air friction. Electricity, through electrostatic adsorption and filter net collection of raw material powder, reduce the dust into the first rotary chip pump and the second rotary chip pump; set up the first rotary chip pump and the second spin pump, and switch through the three valve to prevent the whole device from using the first floral pump or the second spiral pump. The connection between the connecting rod and the connecting rod can be dismantled and the connection between the pipes can be dismantled. The utility model can effectively reduce the influence caused by the dust, the installation connection and the replacement and maintenance are convenient, the operation is simple and the actual use is strong.

【技术实现步骤摘要】
一种大公斤蓝宝石晶体生长真空装置
本技术涉及蓝宝石晶体生长
，具体为一种大公斤蓝宝石晶体生长真空装置。
技术介绍
蓝宝石的英文名称为Sapphire，其化学成分为三氧化二铝(Al2O3)，因含微量元素钛(Ti4+)或铁(Fe2+)而呈蓝色，属三方晶系。蓝宝石具有熔点高、硬度高、导热性好，透光波段宽，耐腐蚀，可在接近2000℃高温的恶劣环境下工作等优点，已被广泛地应用于科学技术、国防与民用工业等许多高科技领域。蓝宝石生长炉是蓝宝石提炼的一种重要设备，目前国内外蓝宝石生长炉大多需要对炉体进行抽真空。由于对炉体真空度要求高，所以抽真空设备一般比较昂贵，真空设备所需的机油也要求高。目前国内蓝宝石原料大多为三氧化二铝块状或棒状混合物，由于装料时间隙较多，限制了坩埚内的装料量，而在装料是添加三氧化二铝粉末料，可以减少装料时原料的间隙，使装料量大大增加，提高生产率而降低成本。但是使用三氧化二铝粉末料对生长炉炉体抽真空的同时，粉末会随着气流进入旋片泵和扩散泵，不仅污染了泵油，还可能导致旋片泵在工作时缸体卡死，中断晶体生长，造成严重损失。基于此，本技术设计了一种大公斤蓝宝石晶体生长真空装置，以解决上述问题。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种大公斤蓝宝石晶体生长真空装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种大公斤蓝宝石晶体生长真空装置，包括集尘室、第一旋片泵、第二旋片泵和扩散泵，所述集尘室的两侧分别设有第二抽气管和第三抽气管，第二抽气管的一端连接有第一抽气管，并通过第一抽气管连接有主炉室，所述第三抽气管的一端连接有三通管一，所述三通管一上设有三通阀，且三通管一的其余两端分别连接有进气管，并通过进气管连接有第一旋片泵和第二旋片泵，所述第一旋片泵和第二旋片泵的另一端分别连接有出气管，并通过出气管连接有三通管二，所述三通管二的一端连接有扩散泵，所述第一抽气管和第二抽气管的连接端均设有管台，且连接处设有连接器，所述连接器包括第一连接环、第二连接环和连接杆，所述第一连接环固定于第二抽气管的外壁，且第一连接环对应管台设有台槽，所述第一连接环的表面设有移动槽，所述移动槽沿圆周逐渐改变，由第一连接环的外侧逐渐向圆心靠近，同时移动槽的深度逐渐增加，所述移动槽内滑动连接有连接杆，所述第一连接环的一侧还设有第二连接环，第二连接环对应连接杆设有杆槽，所述集尘室包括集尘壳体，所述集尘壳体的进口端设有导流板，出口端设有滤网，所述导流板沿圆周固定有多个固定杆，所述固定杆的一端固定有固定环，固定杆上还转动连接有旋转叶，所述固定环与集尘壳体的内壁固定连接。优选的，所述第三抽气管、三通管一、进气管、出气管和三通管二的的连接端均设有管台和连接器。优选的，所述第一连接环上沿圆周均匀设置有四个移动槽和第一销孔，第二连接环上沿圆周均匀对应设有四个杆槽，所述第二连接环上沿圆周均匀设有十二个第二销孔，第二销孔和第一销孔位于同一圆周上。优选的，所述连接杆包括移动块、横杆和压杆，所述移动槽对应设为T形槽，所述移动块和横杆位于T形槽中，压杆与第一抽气管的管台端面接触。优选的，所述第一连接环的台槽、第二连接环的内径和管台的外径相等。优选的，所述第二连接环的外径大于第一连接环的外径。优选的，所述固定环包括外圈和辐条，所述外圈的外侧与集尘壳体固定连接，内侧沿圆周均匀固定有四根辐条，所述固定杆的数目与辐条数目相等，且辐条对应固定杆的位置设有固定孔，并与固定杆对应连接。优选的，所述旋转叶的一端固定连接有旋转环，并通过旋转环与固定杆转动连接，所述固定杆上沿轴向均匀设置有五个旋转环，所述旋转环上沿圆周均匀设置有四根旋转叶。与现有技术相比，本技术的有益效果是：1.设置集尘室，气流通过导流板与旋转叶接触，旋转叶转动与空气摩擦产生静电，通过静电吸附以及滤网收集原料粉末，减少进入第一旋片泵和第二旋片泵中的粉尘。2.设置有第一旋片泵和第二旋片泵，并通过三通阀切换，当其中一个出现故障时，可打开另一个，防止使用过程中第一旋片泵或是第二旋片泵出现故障导致整个装置无法使用。3.各管路连接处均设有连接器，取出定位销，旋转第二连接环，使连接杆移动，即可拆开管路之间的连接，以便迅速拆下更换集尘室、第一旋片泵或是第二旋片泵，拆卸连接简单方便。4.有效减少粉尘造成的影响，安装连接以及更换维修方便，操作简单，实用性强。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本技术结构示意图；图2为本技术连接器的结构示意图；图3为本技术第一连接环的结构示意图；图4为本技术第二连接环的结构示意图；图5为本技术集尘室的结构示意图；图6为本技术固定环的结构示意图。附图中，各标号所代表的部件列表如下：1-主炉室，101-第一抽气管，2-集尘室，201-第二抽气管，202-第三抽气管，3-第一旋片泵，301-进气管，302-出气管，4-第二旋片泵，5-扩散泵，6-连接器，7-集尘壳体，8-导流板，9-滤网，10-固定杆，11-旋转叶，12-固定环，1201-外圈，1202-辐条，1303-固定孔，13-定位销，14-第一连接环，1401-第一销孔，1402-移动槽，15-第二连接环，1501第二销孔，1502-杆槽，16-连接杆，17-三通管一，18-三通管二，19-三通阀。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本技术保护的范围。请参阅附图，本技术提供一种技术方案：一种大公斤蓝宝石晶体生长真空装置，包括集尘室2、第一旋片泵3、第二旋片泵4和扩散泵5，所述集尘室2的两侧分别设有第二抽气管201和第三抽气管202，第二抽气管201的一端连接有第一抽气管101，并通过第一抽气管101连接有主炉室1，所述第三抽气管202的一端连接有三通管一17，所述三通管一17上设有三通阀19，且三通管一17的其余两端分别连接有进气管301，并通过进气管301连接有第一旋片泵3和第二旋片泵4，所述第一旋片泵3和第二旋片泵4的另一端分别连接有出气管302，并通过出气管302连接有三通管二18，所述三通管二18的一端连接有扩散泵5，所述第一抽气管101和第二抽气管201的连接端均设有管台，且连接处设有连接器6，所述连接器6包括第一连接环14、第二连接环15和连接杆16，所述第一连接环14固定于第二抽气管201的外壁，且第一连接环14对应管台设有台槽，所述第一连接环14的表面设有移动槽1402，所述移动槽1402沿圆周逐渐改变，由第一连接环14的外侧逐渐向圆心靠近，同时移动槽1402的深度逐渐增加，所述移动槽1402内滑动连接有连接杆16，所述第一连接环14的一侧还设有第二连接环15，第二连接环15对应连接杆16设有杆槽本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种大公斤蓝宝石晶体生长真空装置，包括集尘室、第一旋片泵、第二旋片泵和扩散泵，其特征在于：所述集尘室的两侧分别设有第二抽气管和第三抽气管，第二抽气管的一端连接有第一抽气管，并通过第一抽气管连接有主炉室，所述第三抽气管的一端连接有三通管一，所述三通管一上设有三通阀，且三通管一的其余两端分别连接有进气管，并通过进气管连接有第一旋片泵和第二旋片泵，所述第一旋片泵和第二旋片泵的另一端分别连接有出气管，并通过出气管连接有三通管二，所述三通管二的一端连接有扩散泵，所述第一抽气管和第二抽气管的连接端均设有管台，且连接处设有连接器，所述连接器包括第一连接环、第二连接环和连接杆，所述第一连接环固定于第二抽气管的外壁，且第一连接环对应管台设有台槽，所述第一连接环的表面设有移动槽，所述移动槽沿圆周逐渐改变，由第一连接环的外侧逐渐向圆心靠近，同时移动槽的深度逐渐增加，所述移动槽内滑动连接有连接杆，所述第一连接环的一侧还设有第二连接环，第二连接环对应连接杆设有杆槽，所述集尘室包括集尘壳体，所述集尘壳体的进口端设有导流板，出口端设有滤网，所述导流板沿圆周固定有多个固定杆，所述固定杆的一端固定有固定环，固定杆上还转动连接有旋转叶，所述固定环与集尘壳体的内壁固定连接。...

【技术特征摘要】
1.一种大公斤蓝宝石晶体生长真空装置，包括集尘室、第一旋片泵、第二旋片泵和扩散泵，其特征在于：所述集尘室的两侧分别设有第二抽气管和第三抽气管，第二抽气管的一端连接有第一抽气管，并通过第一抽气管连接有主炉室，所述第三抽气管的一端连接有三通管一，所述三通管一上设有三通阀，且三通管一的其余两端分别连接有进气管，并通过进气管连接有第一旋片泵和第二旋片泵，所述第一旋片泵和第二旋片泵的另一端分别连接有出气管，并通过出气管连接有三通管二，所述三通管二的一端连接有扩散泵，所述第一抽气管和第二抽气管的连接端均设有管台，且连接处设有连接器，所述连接器包括第一连接环、第二连接环和连接杆，所述第一连接环固定于第二抽气管的外壁，且第一连接环对应管台设有台槽，所述第一连接环的表面设有移动槽，所述移动槽沿圆周逐渐改变，由第一连接环的外侧逐渐向圆心靠近，同时移动槽的深度逐渐增加，所述移动槽内滑动连接有连接杆，所述第一连接环的一侧还设有第二连接环，第二连接环对应连接杆设有杆槽，所述集尘室包括集尘壳体，所述集尘壳体的进口端设有导流板，出口端设有滤网，所述导流板沿圆周固定有多个固定杆，所述固定杆的一端固定有固定环，固定杆上还转动连接有旋转叶，所述固定环与集尘壳体的内壁固定连接。2.根据权利要求1所述的一种大公斤蓝宝石晶体生长真空装置，其特征在于：所述第三抽气管、三通管一、进气管、出气管和...

【专利技术属性】
技术研发人员：周磊峰，徐建，马陈飞，龙安泽，王亮亮，
申请(专利权)人：张新峰，
类型：新型
国别省市：江苏,32