【技术实现步骤摘要】
一种电磁感应定向凝固分离硅中硬质夹杂的方法
本专利技术属于多晶硅熔炼
,特别涉及一种电磁感应定向凝固分离硅中硬质夹杂的方法。
技术介绍
太阳能级多晶硅是光伏产业的主要原材料,随着光伏产业的持续发展,对多晶硅材料的需求日益增长。我国已成为多晶硅最大的产出国与需求国,且大量依赖进口,尚需扩大生产规模。然而,受到制备过程中的杂质再分配及熔炼环境的污染,多晶硅铸锭的出成率不足70%,铸锭顶部区域富含碳杂质、边缘富含氮杂质,无法直接利用。对该部分硅料进行提纯,重新获得高纯度的多晶硅材料,实现硅材料的再生利用,经济和社会意义重大。在冶金法制备太阳能级多晶硅的铸锭过程后,铸锭的出成率仅为70%,其顶部及侧边近30%的铸锭区域积累了大量的SiC、Si3N4夹杂以及金属杂质,这些区域的纯度仅为3N(99.9%)。由前所述,金属杂质目前已有极为有效的提纯方式。但是,对于C、N及其析出生成的SiC、Si3N4非金属夹杂颗粒,由于其在各种工艺中来源的多样性,也使得研究其分布和去除存在一定的难度,现今传统工艺中对碳、氮杂质的控制虽取得了一定的效果,但是仍不能满足更高质量太阳能电池对硅 ...
【技术保护点】
1.一种电磁感应定向凝固分离硅中硬质夹杂的方法,其特征是:包括以下步骤:A.装料:在石英坩埚中装入含有SiC和Si3N4硬质夹杂的多晶硅铸锭或提纯过程产生的顶皮料,原料中硅的含量为90‐99wt%;B.升温阶段:装料完毕后,设备抽真空,待真空度达到15Pa后开始升温,初始阶段是功率升温,感应线圈的频率为3000Hz,功率变化为10kW(10min)‐30kW(60min)‐60kW(16min)‐100kW;当控温热电偶温度为1120℃时,控温方式由功率控制改为温度控制,此时开始以50L/min的速率充入氩气;当控温热电偶温度升高到1560℃,氩气气压达到60kPa时,升温 ...
【技术特征摘要】
1.一种电磁感应定向凝固分离硅中硬质夹杂的方法,其特征是:包括以下步骤:A.装料:在石英坩埚中装入含有SiC和Si3N4硬质夹杂的多晶硅铸锭或提纯过程产生的顶皮料,原料中硅的含量为90‐99wt%;B.升温阶段:装料完毕后,设备抽真空,待真空度达到15Pa后开始升温,初始阶段是功率升温,感应线圈的频率为3000Hz,功率变化为10kW(10min)‐30kW(60min)‐60kW(16min)‐100kW;当控温热电偶温度为1120℃时,控温方式由功率控制改为温度控制,此时开始以50L/min的速率充入氩气;当控温热电偶温度升高到1560℃...
【专利技术属性】
技术研发人员:石爽,姜大川,谭毅,张磊,李鹏廷,
申请(专利权)人:青岛蓝光晶科新材料有限公司,
类型:发明
国别省市:山东,37
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