一种硅片清洗前的湿度保持机构制造技术

本发明专利技术公开了一种硅片清洗前的湿度保持机构，包括水槽以及位于水槽旁的安装座，安装座上设有转动座以及驱动转动座90度转动的动力装置，转动座的上沿高于水槽上沿且转动90度后转动座上沿位于水槽区域内，转动座上沿上设有花篮定位板，花蓝定位板上靠近水槽侧设有推抵硅片花篮侧面的托料架，转动座90度转动后托料架托承硅片花篮整体没入水槽中，花蓝定位板上在托料架对面设有限制硅片花篮位置的两个端部定位块，花蓝定位板上在端部定位块和托料架之间设有定位硅片花篮另一侧面的侧边定位块，转动座上设有检测块，安装座上在转动座起始位置处设有与检测块相配合的第一检测开关，安装座上在转动座终止位置处设有与检测块相配合的第二检测开关。

【技术实现步骤摘要】
一种硅片清洗前的湿度保持机构
本专利技术涉及一种硅片加工设备，具体来说涉及一种硅片清洗前的湿度保持机构。
技术介绍
硅片在未进入清洗机前表面附着有很多杂质，如果清洗机或者插片机故障停机维修，存在插片机上和清洗机入料槽里的硅片会长时间暴露在外，等硅片表面水分挥发完后杂质就会粘附在硅片表面，再进清洗机清洗的后表面杂质难清洗或者清洗不干净最终导致硅片不良。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题是：提供一种硅片清洗前的湿度保持机构。为解决上述技术问题，本专利技术所采用的技术方案为：一种硅片清洗前的湿度保持机构，包括水槽以及位于水槽旁的安装座，安装座上设有转动座以及驱动转动座90度转动的动力装置，转动座的上沿高于水槽上沿且转动90度后转动座上沿位于水槽区域内，转动座上沿上设有花篮定位板，花蓝定位板上靠近水槽侧设有推抵硅片花篮侧面的托料架，转动座90度转动后托料架托承硅片花篮整体没入水槽中，花蓝定位板上在托料架对面设有限制硅片花篮位置的两个端部定位块，花蓝定位板上在端部定位块和托料架之间设有定位硅片花篮另一侧面的侧边定位块，转动座上设有检测块，安装座上在转动座起始位置处设有与检测块相配合的第一本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种硅片清洗前的湿度保持机构，其特征在于：包括水槽以及位于水槽旁的安装座，安装座上设有转动座以及驱动转动座90度转动的动力装置，转动座的上沿高于水槽上沿且转动90度后转动座上沿位于水槽区域内，转动座上沿上设有花篮定位板，花蓝定位板上靠近水槽侧设有推抵硅片花篮侧面的托料架，转动座90度转动后托料架托承硅片花篮整体没入水槽中，花蓝定位板上在托料架对面设有限制硅片花篮位置的两个端部定位块，花蓝定位板上在端部定位块和托料架之间设有定位硅片花篮另一侧面的侧边定位块，转动座上设有检测块，安装座上在转动座起始位置处设有与检测块相配合的第一检测开关，安装座上在转动座终止位置处设有与检测块相配合的第二检测开...

【技术特征摘要】
1.一种硅片清洗前的湿度保持机构，其特征在于：包括水槽以及位于水槽旁的安装座，安装座上设有转动座以及驱动转动座90度转动的动力装置，转动座的上沿高于水槽上沿且转动90度后转动座上沿位于水槽区域内，转动座上沿上设有花篮定位板，花蓝定位板上靠近水槽侧设有推抵硅片花篮侧面的托料架，转动座90度转动后托料架托承硅片花篮整体没入水槽中，花蓝定位板上在托料架对面设有限制硅片花篮位置的两个端部定位块，花蓝定位板上在端部定位块和托料架之间设有定位硅片花篮另一侧面的侧边定位块，转动座上设有检测块，安装座上在转动座起始位置处设有与检测块相配合的第一检测开关，安装座上在转动座终止位置处设有与检测块相配合的...

【专利技术属性】
技术研发人员：唐亚忠，
申请(专利权)人：苏州卓樱自动化设备有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32