一种用于硅片磨片后的清洗设备制造技术

本发明专利技术涉及硅片加工附属装置的技术领域，特别是涉及一种用于硅片磨片后的清洗设备，其结构简单，在载具下降浸入到清洗液过程中，可自动将端盖打开，然后再浸入到清洗液内，无需外加动力，防止端盖与载具发生碰撞；包括清洗箱，清洗箱内部中空且顶部开口，清洗箱固定在底板上；两个端盖，用于遮挡开口；还包括用于驱动两个端盖同时打开或者关闭的动力机构；还包括升降机构，升降机构的输出端上安装有用于夹持硅片载具的夹持机构以及用于驱动动力机构动作的升降轴。动作的升降轴。动作的升降轴。

【技术实现步骤摘要】
一种用于硅片磨片后的清洗设备


[0001]本专利技术涉及硅片加工附属装置的
，特别是涉及一种用于硅片磨片后的清洗设备。

技术介绍

[0002]地壳中含量达25.8％的硅元素，为单晶硅的生产提供了取之不尽的源泉，由于硅元素是地壳中储量最丰富的元素之一，对太阳能电池这样注定要进入大规模市场的产品而言，储量的优势也是硅成为光伏主要材料的原因之一，硅片在使用前需要用到磨片对其进行打磨，以提高硅片表面的光滑度。
[0003]现有技术中，硅片在经磨片处理后，需要进行清洗，在清洗时，需要手动或者单独操作其他动力打开清洗机的端盖，然后再将载有硅片的载具下降浸入到清洗液中，然后再释放载具进行清洗，这种方式有可能在端盖不开的情况下，载具下降与端盖发生磕碰，导致硅片受损。

技术实现思路

[0004]为解决上述技术问题，本专利技术提供一种用于硅片磨片后的清洗设备，其结构简单，在载具下降浸入到清洗液过程中，可自动将端盖打开，然后再浸入到清洗液内，无需外加动力，防止端盖与载具发生碰撞。
[0005]本专利技术的一种用于硅片磨片后的清洗设备，包括清洗箱，清洗箱内部中空且顶部开口，清洗箱固定在底板上；两个端盖，用于遮挡开口；还包括用于驱动两个端盖同时打开或者关闭的动力机构；还包括升降机构，升降机构的输出端上安装有用于夹持硅片载具的夹持机构以及用于驱动动力机构动作的升降轴。
[0006]进一步地，所述动力机构包括与清洗箱连接的连接板一，连接板一上转动安装有空心轴，空心轴上开设通孔，通孔由上往下依次为螺旋段和竖直段，空心轴的底端安装有驱动盘，驱动盘同一直径的两端上固定有驱动轴一；所述升降轴穿过通孔；所述动力机构还包括对称安装的两组连杆机构；所述连杆机构包括与清洗箱连接的轨道一，与底板连接的轨道二，固定在清洗箱两端上的呈钝角的轨道三，并且轨道三上开设导向孔，轨道一上滑动安装有移动板一，移动板一的一端开设长条孔一，驱动轴一穿过长条孔一；移动板一的另一端固定有驱动轴二；轨道二上滑动安装有移动板二，移动板二上开设呈倾斜状的长条孔二，驱动轴二穿过长条孔二；移动板二上固定有固定板，固定板上开设长条孔三；
所述连杆机构还包括转动安装在端盖一端的两个滚轮一，转动安装在端盖另一端的两个滚轮二，并且两个滚轮一和两个滚轮二均伸入到导向孔内部；两个滚轮二中轴上均转动安装有驱动臂，两根驱动臂的另一端上转动安装有驱动轴三，驱动轴三的两端上均转动安装有伸入至导向孔内部的滚轮三；所述连杆机构还包括固定在底板上的两根竖杆，两根竖杆上滑动安装有驱动板，驱动板包括垂直的水平段一和水平段二，水平段一上开设长条孔四，水平段二上开设长条孔五，驱动轴三上安装有轴承，轴承外圈与长条孔四内壁接触；所述连杆机构还包括固定在底板上的支撑板，支撑板上转动安装有转轴，转轴上固定有摆臂一和摆臂二，摆臂一的另一端上固定有穿过长条孔五的驱动轴四，摆臂二的另一端上固定有驱动轴五；所述驱动轴五穿过长条孔三。
[0007]进一步地，所述升降机构包括固定在底板上的动力端，动力端输出端安装有横板，横板上固定有过渡板，所述升降轴固定在过渡板上。
[0008]进一步地，所述夹持机构包括与横板固定连接的两块连接板二，连接板二上转动安装有两根摆动轴，两根摆动轴上均固定有呈门型的用于夹持载具的支架，支架的一端上均固定有驱动轴六；夹持机构还包括固定在横板上的气缸，气缸输出端固定有带有长条孔七的推动板，两根驱动轴六均穿过长条孔七。
[0009]进一步地，所述驱动板还包括将水平段一和水平段二连接起来的加强板。
[0010]进一步地，所述轨道二为两组。
[0011]进一步地，所述转轴与摆臂一和摆臂二之间均设置有键。
[0012]进一步地，所述竖杆与底板焊接。
[0013]与现有技术相比本专利技术的有益效果为：本专利技术在硅片清洗的过程中，载具自动下降至清洗箱内部，并在此过程中，用于遮挡清洗箱的两个端盖会率先自动打开，不会妨碍载具浸入清洗箱内，省去了人工操作的步骤，降低了成本。
附图说明
[0014]图1是本专利技术的结构示意图；图2是图1右前侧的俯视立体图；图3是图2中A部的局部放大图；图4是图1左前侧的俯视立体图；图5是图4中A部的局部放大图；图6是图4中B部的局部放大图；图7是图2角度下隐藏部分动力端和连接板一后的结构图；图8是图7中A部的局部放大图；图9是移动板二、长条孔二以及驱动轴二的俯视角度的连接示意图；图10是轨道三、滚轮一、滚轮二、滚轮三以及驱动臂的连接示意图；附图中标记：1、清洗箱；2、底板；3、端盖；4、升降轴；5、空心轴；6、螺旋段；7、竖直段；8、驱动盘；9、驱动轴一；10、轨道三；11、移动板一；12、长条孔一；13、驱动轴二；14、移动
板二；15、长条孔二；16、固定板；17、长条孔三；18、滚轮一；19、滚轮二；20、驱动臂；21、驱动轴三；22、滚轮三；23、竖杆；24、驱动板；25、长条孔四；26、长条孔五；27、支撑板；28、转轴；29、摆臂一；30、摆臂二；31、驱动轴四；32、驱动轴五；33、动力端；34、横板；35、过渡板；36、连接板二；37、摆动轴；38、支架；39、驱动轴六；40、气缸；41、推动板；42、加强板。
具体实施方式
[0015]下面结合附图和实施例，对本专利技术的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本专利技术，但不用来限制本专利技术的范围。
[0016]如图1至图10所示，本专利技术的一种用于硅片磨片后的清洗设备，包括清洗箱1，清洗箱1内部中空且顶部开口，清洗箱1固定在底板2上；两个端盖3，用于遮挡开口；还包括用于驱动两个端盖3同时打开或者关闭的动力机构；还包括升降机构，升降机构的输出端上安装有用于夹持硅片载具的夹持机构以及用于驱动动力机构动作的升降轴4；作为上述实施例的优选方案，动力机构包括与清洗箱1连接的连接板一，连接板一上转动安装有空心轴5，空心轴5上开设通孔，通孔由上往下依次为螺旋段6和竖直段7，空心轴5的底端安装有驱动盘8，驱动盘8同一直径的两端上固定有驱动轴一9；升降轴4穿过通孔；动力机构还包括对称安装的两组连杆机构；连杆机构包括与清洗箱1连接的轨道一，与底板2连接的轨道二，固定在清洗箱1两端上的呈钝角的轨道三10，并且轨道三10上开设导向孔，轨道一上滑动安装有移动板一11，移动板一11的一端开设长条孔一12，驱动轴一9穿过长条孔一12；移动板一11的另一端固定有驱动轴二13；轨道二上滑动安装有移动板二14，移动板二14上开设呈倾斜状的长条孔二15，驱动轴二13穿过长条孔二15；移动板二14上固定有固定板16，固定板16上开设长条孔三17；连杆机构还包括转动安装在端盖3一端的两个滚轮一18，转动安装在端盖3另一端的两个滚轮二19，并且两个滚轮一18和两个滚轮二19均伸入到导向孔内部；两个滚轮二19中轴上均转动安装有驱动臂20，两根驱动臂20的另一端上转动安装有驱动轴三21，驱动轴三21的两端上均转动安装有伸入至导向孔内部的滚轮三22；连杆机构还包括固定在底板2上的两根竖杆2本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于硅片磨片后的清洗设备，其特征在于，包括清洗箱（1），清洗箱（1）内部中空且顶部开口，清洗箱（1）固定在底板（2）上；两个端盖（3），用于遮挡开口；还包括用于驱动两个端盖（3）同时打开或者关闭的动力机构；还包括升降机构，升降机构的输出端上安装有用于夹持硅片载具的夹持机构以及用于驱动动力机构动作的升降轴（4）。2.如权利要求1所述的一种用于硅片磨片后的清洗设备，其特征在于，所述动力机构包括与清洗箱（1）连接的连接板一，连接板一上转动安装有空心轴（5），空心轴（5）上开设通孔，通孔由上往下依次为螺旋段（6）和竖直段（7），空心轴（5）的底端安装有驱动盘（8），驱动盘（8）同一直径的两端上固定有驱动轴一（9）；所述升降轴（4）穿过通孔；所述动力机构还包括对称安装的两组连杆机构；所述连杆机构包括与清洗箱（1）连接的轨道一，与底板（2）连接的轨道二，固定在清洗箱（1）两端上的呈钝角的轨道三（10），并且轨道三（10）上开设导向孔，轨道一上滑动安装有移动板一（11），移动板一（11）的一端开设长条孔一（12），驱动轴一（9）穿过长条孔一（12）；移动板一（11）的另一端固定有驱动轴二（13）；轨道二上滑动安装有移动板二（14），移动板二（14）上开设呈倾斜状的长条孔二（15），驱动轴二（13）穿过长条孔二（15）；移动板二（14）上固定有固定板（16），固定板（16）上开设长条孔三（17）；所述连杆机构还包括转动安装在端盖（3）一端的两个滚轮一（18），转动安装在端盖（3）另一端的两个滚轮二（19），并且两个滚轮一（18）和两个滚轮二（19）均伸入到导向孔内部；两个滚轮二（19）中轴上均转动安装有驱动臂（20），两根驱动臂（20）的另一端上转动安装有驱动轴三（21），驱动轴三（21）的两端上均转动安装有伸入至导向孔内部的滚轮三（22）；所述连杆机构还包括固定在底板（2）上的两根竖杆（23），两根竖杆（23）...

【专利技术属性】
技术研发人员：邓飞，王飞云，
申请(专利权)人：苏州卓樱自动化设备有限公司，
类型：发明
国别省市：