一种激光干涉仪光路准直辅助装置制造方法及图纸

一种激光干涉仪光路准直辅助装置，包括：左、右侧挡块，左、右紧固螺钉，垂直转向镜固定平台，连接杆，磁性表座和垂直转向镜；垂直转向镜安装在垂直转向镜固定平台上，两个右紧固螺钉穿过右侧挡块固定垂直转向镜，固定连接杆上端与左侧挡块连接，两个左紧固螺钉穿过左侧挡块固定连接杆，连接杆下端安装在磁性表座上。垂直转向镜上方有两个微调旋钮，可对射向测量反射镜的激光束在前后、左右方向快速调整，提高光路准直调整范围。由于垂直转向镜具有微调功能，当测量反射镜移动至距离辅助装置最远的位置时，操作者能在辅助装置旁直观地观察射向测量反射镜的激光束偏离情况，并对激光束入射方向进行快速调整，保证光路准直过程的稳定和准确。

An optical alignment auxiliary device for laser interferometer

A laser interferometer optical alignment auxiliary device, including left and right block, left and right fastening screws, vertical steering mirror fixed platform, connecting rod, magnetic pedestal and vertical steering mirror, vertical steering mirror mounted on a vertical steering mirror fixed platform, and two right fastening screws through the right block to fixed vertical steering mirror through the right block. The upper end of the fixed connecting rod is connected with the left baffle block, and the two left fastening screws pass through the left side block to fix the connecting rod, and the lower end of the connecting rod is installed on the magnetic meter seat. There are two micro tuning knobs above the vertical steering mirror, which can adjust the laser beam in front and back to improve the alignment range of the optical path. As the vertical steering mirror has a fine tuning function, the operator can directly observe the deviation of the laser beam from the measuring mirror and adjust the incident direction of the laser beam quickly to ensure the stability and accuracy of the collimation process of the optical path when measuring the farthest position of the reflector to the distance auxiliary device.

【技术实现步骤摘要】
一种激光干涉仪光路准直辅助装置
本技术属于计量领域，涉及一种激光干涉仪光路准直辅助装置。
技术介绍
目前，使用激光干涉仪对数控机床线性位置精度测量是国际上通用的方法。在对数控机床线性位置精度测量之前，光路准直是很重要的一项工作。在现有技术中，使用激光干涉仪对数控机床线性位置精度的测量一般包括三根运动轴，即两根互相垂直的水平运动轴和一根垂直运动轴。使用激光干涉仪及其光学组件对水平运动轴的光路准直，通过“远调激光，近调镜组”的方法可以比较容易实现。使用激光干涉仪及其光学组件对垂直运动轴的光路准直，需要将激光头发出的激光束通过干涉镜，经干涉镜反射90度到达固定在被测运动轴上的测量反射镜，经测量反射镜反射再次到达干涉镜，经干涉镜反射90度最终到达激光头的接收孔中。调整使激光头的接收孔在被测运动轴运动全长上得到近似恒定的光强信号。但是在对垂直运动轴的光路准直过程中，当测量反射镜移动至距离干涉镜组最远的极限位置时，激光头发出的激光束经干涉镜反射90度后极易偏离测量反射镜，此时需要对激光头、干涉镜组和测量反射镜进行调整。对激光头的微调机构在俯仰、扭摆或水平、垂直移动调整过程中，一方面由于位置关系操作者很难观察到激光束经过干涉镜之后的路径变化，另一方面极易出现激光头的微调机构到达极限位置，而激光头的接收孔还没有接收到激光束的情况。而测量反射镜固定在被测运动轴上，调整范围往往有限。干涉镜组没有光路微调机构，对干涉镜的微调很难准确控制，经常发生光路偏移的现象。因此，对垂直运动轴的光路准直过程中，存在观察角度不便、微调机构调整范围小、调整稳定性低的问题。针对上述问题，我们经过多次试验与改进，研制出一种激光干涉仪光路准直辅助装置，这种辅助装置配合激光干涉仪有效地解决了上述问题。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种结构紧凑，操作方便，能够配合激光干涉仪稳定测量的激光干涉仪光路准直辅助装置。本技术的技术方案是：一种激光干涉仪光路准直辅助装置，包括：左侧挡块，左紧固螺钉，垂直转向镜固定平台，右侧挡块，右紧固螺钉，连接杆，磁性表座和垂直转向镜；垂直转向镜安装在垂直转向镜固定平台上，两个右紧固螺钉穿过右侧挡块固定垂直转向镜，固定连接杆上端与左侧挡块连接，两个左紧固螺钉穿过左侧挡块固定连接杆，连接杆下端安装在磁性表座上。垂直转向镜上方对角线位置安装有第一微调旋钮和第二微调旋钮。本技术采用上述技术方案后取得的有益效果是：垂直转向镜上方的两个微调旋钮，可以对射向测量反射镜的激光束在前后、左右方向快速调整，能够提高光路准直调整范围。由于垂直转向镜具有微调功能，当测量反射镜移动至距离辅助装置最远的极限位置时，操作人员能够在辅助装置旁直观地观察射向测量反射镜的激光束偏离情况，并对激光束的入射方向进行快速调整。该技术的左右挡块和紧固螺钉能够将垂直转向镜稳固的安装在垂直转向镜固定平台上，保证了光路准直过程的稳定性。附图说明图1为本技术一种激光干涉仪光路准直辅助装置的结构示意图；图2为本技术一种激光干涉仪光路准直辅助装置的使用状态图。具体实施方式下面结合附图对本技术做进一步的说明：本技术提供了一种激光干涉仪光路准直辅助装置，如图1~2所示，包括：左侧挡块1，左紧固螺钉2，垂直转向镜固定平台3，右侧挡块4，右紧固螺钉5，连接杆6，磁性表座7和垂直转向镜8；垂直转向镜8安装在垂直转向镜固定平台3上，两个右紧固螺钉5穿过右侧挡块4固定垂直转向镜8，固定连接杆6上端与左侧挡块1连接，两个左紧固螺钉2穿过左侧挡块1固定连接杆6，连接杆6下端安装在磁性表座7上。工作时，先将连接杆6与磁性表座7连接，使连接杆6穿过垂直转向镜固定平台3左侧挡板1中间的通孔，旋转左紧固螺钉2，使垂直转向镜固定平台3紧固固定在连接杆6的合适位置。将垂直转向镜8稳固地安装在垂直转向镜固定平台3上，并旋转右侧挡板4上的两个右紧固螺钉5。移动并将磁性表座7吸附在激光头16和测量反射镜13之间。将被测垂直运动轴11移动至距离准直辅助装置14最近的极限位置，旋转放松左固定螺钉2，上下移动或绕连接杆6转动调整垂直转向镜固定平台3的位置。确保由激光头16发射出的激光束12通过准直辅助装置14上的垂直转向镜8以及固定在被测垂直运动轴11上的被测反射镜13，返回到激光头16接收孔中。然后将被测垂直运动轴11移动至距离准直辅助装置14最远端的极限位置，观察激光束12是否偏离被测反射镜13和激光头16的接收孔，如果偏离，调整垂直转向镜8上方的第一微调旋钮9和第二微调旋钮10，使激光头16接收孔接收到光信号。反复在被测反射镜13距离准直辅助装置14近端极限位置和远端极限位置按照“远调辅助装置，近调镜组”的方法调整，直致在被测垂直运动轴11全长上得到近似恒定的光强信号。最后将线性干涉镜15放置在激光头16与准直辅助装置14之间。并调整使激光头16的接受孔接受到光信号，光路准直完成。最后应当说明的是：以上所述仅为本技术的优选实施例而已，并不用于限制本技术的全部内容，尽管参照前述实施例对本技术进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述实施例所记载的技术方案进行形式上的修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本技术的思路启示之内所作出的形式修改、等同替换等，均应包含在本技术的权利保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种激光干涉仪光路准直辅助装置，包括：左侧挡块（1），左紧固螺钉（2），垂直转向镜固定平台（3），右侧挡块（4），右紧固螺钉（5），连接杆（6），磁性表座（7）和垂直转向镜（8）；其特征在于：垂直转向镜（8）安装在垂直转向镜固定平台（3）上，两个右紧固螺钉（5）穿过右侧挡块（4）固定垂直转向镜（8），固定连接杆（6）上端与左侧挡块（1）连接，两个左紧固螺钉（2）穿过左侧挡块（1）固定连接杆（6），连接杆（6）下端安装在磁性表座（7）上。

【技术特征摘要】
1.一种激光干涉仪光路准直辅助装置，包括：左侧挡块（1），左紧固螺钉（2），垂直转向镜固定平台（3），右侧挡块（4），右紧固螺钉（5），连接杆（6），磁性表座（7）和垂直转向镜（8）；其特征在于：垂直转向镜（8）安装在垂直转向镜固定平台（3）上，两个右紧固螺钉（5）穿过右侧挡块（4）固定垂直转...

【专利技术属性】
技术研发人员：韩军辉，胡亚杰，张云强，杜小岗，顾运萍，
申请(专利权)人：第一拖拉机股份有限公司，
类型：新型
国别省市：河南,41