一种空间相移干涉仪制造技术

本发明专利技术提供了一种空间相移干涉仪，包括激光发射机构、激光接收机构、干涉器和成像镜头，还包括第一同轴线和第二同轴线，所述激光发射机构包括激光器和扩束整型镜，所述激光接收机构、干涉器和成像镜头均分布于所述第一同轴线上，所述成像镜头和激光接收机构分别设置于干涉器的前侧和后侧，所述激光发射机构设置于所述第二同轴线并分设于所述成像镜头的两侧，当激光发射机构发射出激光束，照射到目标物体的表面后反射，并沿第一同轴线依次经过所述成像镜头和干涉器后形成两路光束，被激光接收机构接收处理。本发明专利技术的空间相移干涉仪结构简单、采集图像信息快速。

A space phase shift interferometer

The invention provides a space phase shift interferometer, including a laser transmitting mechanism, a laser receiving mechanism, an interferometer and an imaging lens, and a first coaxial line and a second coaxial line. The laser transmitting mechanism includes a laser and a beam expanding mirror. The laser receiving mechanism, interferometer and imaging lens are distributed in the description. On the first coaxial line, the imaging lens and the laser receiving mechanism are respectively set on the front side and the rear side of the interferometer. The laser transmitting mechanism is set on the second coaxial line and located on both sides of the imaging lens, when the laser transmitting mechanism launches a laser beam, illuminates the surface of the target object and reflects it, and along the first side. The coaxial line passes through the imaging lens and the interferometer in turn to form two beams, and is received and processed by the laser receiving mechanism. The spatial phase shifting interferometer is simple in structure and fast in collecting image information.

【技术实现步骤摘要】
一种空间相移干涉仪
本专利技术涉及一种光学干涉仪器，具体涉及一种空间相移干涉仪。
技术介绍
以激光散斑作为被测物场变化信息的载体,利用被测物体在受激光照射后产生干涉散斑场的相关条纹来检测双光束波前后之间的相位变化，一束激光被透镜扩展并投射到被检测物体的表面上,反射光与从激光器直接投射到摄像机的参考光光束发生干涉,在被照射的表面产生散斑场及一系列散斑图像；当物体运动时,这些散斑会随之发生变化,这些变化表征出被测物体表面的位移场变化或形变信息；使用CCD(电荷耦合器件)获得图像信息,由计算机软件处理分析来表征表面变化，通过散斑干涉条纹图及相位图显示出来。传统的干涉仪是激光器发出的光束，经扩束准直后由分光镜分为两路，并分别从固定反射镜和可动反射镜反射回来会合在分光镜上而产生干涉条纹，当可动反射镜移动时，干涉条纹的光强变化由CCD图像传感器接收，进行处理，采用移动反射镜方法到达相移的目的，这是时间相移方法。相移的方法通常分为时间相移和空间相移，时间相移是通过在时间时序中采集几幅图来计算相位；空间相移是在同一时刻采集一幅图，该图中包含不同的空间相位信息，用一幅图就可计算相位；时间相移技术存在以本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种空间相移干涉仪，包括激光发射机构、激光接收机构、干涉器和成像镜头，其特征在于：还包括第一同轴线和第二同轴线，所述激光发射机构包括激光器和扩束整型镜，所述激光接收机构、干涉器和成像镜头均分布于所述第一同轴线上，所述成像镜头和激光接收机构分别设置于干涉器的前侧和后侧，所述激光发射机构设置于所述第二同轴线并分设于所述成像镜头的两侧，当激光发射机构发射出激光束，照射到目标物体的表面后反射，并沿第一同轴线依次经过所述成像镜头和干涉器后形成两路光束，被激光接收机构接收处理。

【技术特征摘要】
1.一种空间相移干涉仪，包括激光发射机构、激光接收机构、干涉器和成像镜头，其特征在于：还包括第一同轴线和第二同轴线，所述激光发射机构包括激光器和扩束整型镜，所述激光接收机构、干涉器和成像镜头均分布于所述第一同轴线上，所述成像镜头和激光接收机构分别设置于干涉器的前侧和后侧，所述激光发射机构设置于所述第二同轴线并分设于所述成像镜头的两侧，当激光发射机构发射出激光束，照射到目标物体的表面后反射，并沿第一同轴线依次经过所述成像镜头和干涉器后形成两路光束，被激光接收机构接收处理。2.根据权利要求1所述的一种空间相移干涉仪，其特征在于：所述激光接收机构包括空间相移器和电荷耦合感光元件，所述空间相移器和电荷耦合感光元件无缝集成一体，且所述空间相移器分布于所述干涉器后侧，所述电荷耦合感光元件分布于空间相移器的后侧。3.根据权利要求2所述的一种空间相移干涉仪，其特征在于...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄嘉兴，曾启林，宁文斌，游强，徐志江，
申请(专利权)人：广州迅智机械科技有限公司，
类型：发明
国别省市：广东,44