下载一种空间相移干涉仪的技术资料

文档序号:18494401

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本发明提供了一种空间相移干涉仪,包括激光发射机构、激光接收机构、干涉器和成像镜头,还包括第一同轴线和第二同轴线,所述激光发射机构包括激光器和扩束整型镜,所述激光接收机构、干涉器和成像镜头均分布于所述第一同轴线上,所述成像镜头和激光接收机构分...
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