一种光学检测系统及检测方法技术方案

本发明专利技术提供了一种光学检测系统及检测方法。在本发明专利技术提供的光学检测系统中，通过与显微镜连接的第一分光器对光信号分光，并将波长在第一预设波段内的光信号转换为电信号，再由计算模块根据该第一分光器获取的电信号，计算待测区域处薄膜的特性参数，使得该光学检测系统不仅可以利用自动光学检测设备检测薄膜的膜质，以确定薄膜是否存在不良，还可以检测薄膜的特性参数，从而有效提升该测试系统测试功能的集成度，提高设备的利用率。

An optical detection system and detection method

The invention provides an optical detection system and a detection method. In the optical detection system provided by the invention, the light signal is divided by the first splitter connected with the microscope, and the optical signal of the wavelength in the first preset band is converted into an electrical signal, and the electrical signal obtained by the first splitter is calculated by the calculation module, and the characteristic parameters of the film at the area to be measured are calculated, so that the light is made. The detection system can not only use automatic optical detection equipment to detect the film quality, to determine whether the film is bad, but also can detect the characteristic parameters of the film, which can effectively improve the integration of testing function of the test system and improve the utilization of the equipment.

【技术实现步骤摘要】
一种光学检测系统及检测方法
本专利技术涉及显示
，特别是涉及一种光学检测系统及检测方法。
技术介绍
AOI(AutomaticOpticalInspection，自动光学检测)是液晶及微电子等行业广泛使用的测量手段，而其中AOI设备是液晶及微电子等行业广泛使用的检测设备；AOI设备可用于检测基板的表面的图型是否符合规定、是否存在坏点以及判定坏点的准确位置，如直接采用AOI设备对基板拍照得到较为清晰的图像，并通过对该图像的分析来对基板是否存在坏点进行检测。然而对彩膜的薄膜特性参数的测试，需要另外通过其它测试设备来完成，设备利用率较低，进而导致使用成本较高。而且各种测试设备占用厂房大量空间，空间利用率较低。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题是提供一种光学检测系统及检测方法，以解决自动光学检测设备测试功能集成度低的问题。一方面，提供了一种光学检测系统，包括自动光学检测设备、定位装置、第一分光器和计算模块；所述自动光学检测设备包括显微镜、反射光源和透射光源；所述显微镜通过光纤分别与所述第一分光器和所述定位装置连接；所述第一分光器与所述计算模块连接；所述定位装置，用于照亮薄膜表面，并本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种光学检测系统，其特征在于，包括自动光学检测设备、定位装置、第一分光器和计算模块；所述自动光学检测设备包括显微镜、反射光源和透射光源；所述显微镜通过光纤分别与所述第一分光器和所述定位装置连接；所述第一分光器与所述计算模块连接；所述定位装置，用于照亮薄膜表面，并调节所述显微镜聚焦在所述薄膜表面上的待测区域；所述显微镜，用于接收经所述待测区域处薄膜反射或者透射的光信号，并将所述光信号传输至所述第一分光器；所述第一分光器，用于对光信号分光，并将波长在第一预设波段内的光信号转换为电信号；所述计算模块，用于根据所述第一分光器获取的电信号，计算所述待测区域处薄膜的特性参数。

【技术特征摘要】
1.一种光学检测系统，其特征在于，包括自动光学检测设备、定位装置、第一分光器和计算模块；所述自动光学检测设备包括显微镜、反射光源和透射光源；所述显微镜通过光纤分别与所述第一分光器和所述定位装置连接；所述第一分光器与所述计算模块连接；所述定位装置，用于照亮薄膜表面，并调节所述显微镜聚焦在所述薄膜表面上的待测区域；所述显微镜，用于接收经所述待测区域处薄膜反射或者透射的光信号，并将所述光信号传输至所述第一分光器；所述第一分光器，用于对光信号分光，并将波长在第一预设波段内的光信号转换为电信号；所述计算模块，用于根据所述第一分光器获取的电信号，计算所述待测区域处薄膜的特性参数。2.根据权利要求1所述的光学检测系统，其特征在于，当所述待测区域处薄膜为彩色色阻薄膜时，所述系统还包括：第二分光器；所述第二分光器的一端通过光纤与所述显微镜连接，所述第二分光器的另一端与所述计算模块连接；所述第二分光器，用于对光信号分光，并将波长在第二预设波段内的光信号转换为电信号；所述计算模块，用于根据所述第二分光器获取的电信号，计算所述彩色色阻薄膜的特性参数，其中，所述彩色色阻薄膜的特性参数包括色度和厚度；其中，所述彩色色阻包括红色色阻、绿色色阻和蓝色色阻中至少一种。3.根据权利要求2所述的光学检测系统，其特征在于，当所述待测区域处薄膜为黑矩阵色阻薄膜时，所述系统还包括：光电倍增管；所述光电倍增管的一端通过光纤与所述显微镜连接，所述光电倍增管的另一端与所述计算模块连接；所述光电倍增管，用于将经所述黑矩阵色阻薄膜透射的光信号转换为增益的电信号；所述计算模块，用于根据所述光电倍增管获取的电信号，计算所述黑矩阵色阻薄膜的特性参数，其中，所述黑矩阵色阻薄膜的特性参数包括光密度。4.根据权利要求3所述的光学检测系统，其特征在于，所述系统还包括：控制模块；所述控制模块的一端与所述显微镜连接，所述控制模块的另一端分别与所述第一分光器、所述第二分光器、所述光电倍增管和所述定位装置中至少一个设备连接；所述控制模块，用于通过控制所述第一分光器、所述第二分光器、所述光电倍增管和所述定位装置的开关状态，切换所述光学检测系统的测试功能。5.根据权利要求4所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄骏，金相敦，岳彬，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，福州京东方光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：北京,11