下载一种光学检测系统及检测方法的技术资料

文档序号:18451140

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供了一种光学检测系统及检测方法。在本发明提供的光学检测系统中,通过与显微镜连接的第一分光器对光信号分光,并将波长在第一预设波段内的光信号转换为电信号,再由计算模块根据该第一分光器获取的电信号,计算待测区域处薄膜的特性参数,使得该光学...
该专利属于京东方科技集团股份有限公司;福州京东方光电科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过京东方科技集团股份有限公司;福州京东方光电科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。