一种制备金属氧化物正极的方法技术

本发明专利技术涉及锂电池技术领域，尤其涉及一种制备金属氧化物正极的方法。本发明专利技术的制备金属氧化物正极的方法可以同时进行多种靶材的溅射镀膜，而且可以根据设定各个靶材的溅射速度来得到不同原子比例组分的薄膜，当需要溅射获得不同成分的金属氧化物正极薄膜时，直接替换靶材即可，流程简单快捷，生产效率高，符合大规模生产的需求。

【技术实现步骤摘要】
一种制备金属氧化物正极的方法
本专利技术涉及锂电池
，尤其涉及一种制备金属氧化物正极的方法。
技术介绍
离子电池商业化应用以来，其主要的正极材料包括：LiCoO2,LiNiO2,LiMn2O4,LiFePO4等。随着科技的发展，电子设备和电动汽车的对锂电池的提出了更高的要求，这一类正极材料的电压较低、容量较小的缺点日渐凸显出来。在新一代的正极材料中，高电压高理论容量金属氧化物LiβMxNyQzOα受到了广泛的关注。这一类正极材料具有较高的放电电压平台和较高的理论容量，因此未来有望在消费电子产品、电动工具和电动汽车领域得到推广。这一类正极材料常见的制备方法是运用化学手段，采用固相生长或液相生长法制备，制备步骤较多、流程较长，且针对每一种具体材料需要设计各自的制备流程，较为复杂。
技术实现思路
针对上述问题，本专利技术提供一种制备金属氧化物正极的方法。本专利技术解决技术问题的方案是提供一种制备金属氧化物正极的方法，该制备金属氧化物正极的过程是在磁控溅射腔内进行，所述磁控溅射腔具有多个靶材位，所述磁控溅射腔设定有多个通道，多个通道分别对多个靶材位上产生的原子进行引导并通过一汇本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种制备金属氧化物正极的方法，其特征在于：该制备金属氧化物正极的过程是在磁控溅射腔内进行，所述磁控溅射腔具有多个靶材位，所述磁控溅射腔设定有多个通道，多个通道分别对多个靶材位上产生的原子进行引导并通过一汇流口，多种原子在汇流口处进行混合，所述制备金属氧化物正极的方法包括以下步骤：T1：在多个靶材位上安装多个靶材并提供待镀膜基片，多个靶材包括多个金属靶材或者包括至少一金属靶材和至少一金属氧化物靶材；T2：对磁控溅射腔进行抽真空；T3：按预定待镀膜中各原子组分比例设定每个靶材的溅射速度并开始磁控溅射以对汇流口处的待镀膜基片沉积预定原子组分比例的膜。

【技术特征摘要】
1.一种制备金属氧化物正极的方法，其特征在于：该制备金属氧化物正极的过程是在磁控溅射腔内进行，所述磁控溅射腔具有多个靶材位，所述磁控溅射腔设定有多个通道，多个通道分别对多个靶材位上产生的原子进行引导并通过一汇流口，多种原子在汇流口处进行混合，所述制备金属氧化物正极的方法包括以下步骤：T1：在多个靶材位上安装多个靶材并提供待镀膜基片，多个靶材包括多个金属靶材或者包括至少一金属靶材和至少一金属氧化物靶材；T2：对磁控溅射腔进行抽真空；T3：按预定待镀膜中各原子组分比例设定每个靶材的溅射速度并开始磁控溅射以对汇流口处的待镀膜基片沉积预定原子组分比例的膜。2.如权利要求1所述的制备金属氧化物正极的方法，其特征在于：当多个靶材包括多个金属靶材时，所述制备金属氧化物正极的方法在步骤T2～T3之间进一步包括以下步骤：T21：向磁控溅射腔内注入惰性气体和含氧气体。3.如权利要求1所述的制备金属氧化物正极的方法，其特征在于：当多个靶材包括至少一金属靶材和至少一金属氧化物靶材时，所述制备金属氧化物正极的方法在步骤T2～T3之间进一步包括以下步骤：T2...

【专利技术属性】
技术研发人员：张晓琨，税烺，
申请(专利权)人：成都亦道科技合伙企业有限合伙，
类型：发明
国别省市：四川,51