下载一种制备金属氧化物正极的方法的技术资料

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本发明涉及锂电池技术领域,尤其涉及一种制备金属氧化物正极的方法。本发明的制备金属氧化物正极的方法可以同时进行多种靶材的溅射镀膜,而且可以根据设定各个靶材的溅射速度来得到不同原子比例组分的薄膜,当需要溅射获得不同成分的金属氧化物正极薄膜时,直...
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