一种保持工艺制程切换过程压力稳定的方法及装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种保持工艺制程切换过程压力稳定的方法，首先获取基准阀与各个调整阀转换所需时间的差值，然后在第一时间后控制基准阀转换开闭状态，同时控制各调整阀在其对应的第二时间后转换开关状态；其中基准阀为若干个截止阀中的任意一个，其余截止阀均为调整阀，第二时间和第一时间的时间差为各个调整阀对应的差值。该方法对各个截止阀开始控制的时间进行调整，抵消了截止阀自身结构造成的转换时间的差异，从而使各个截止阀可同步转换开闭状态，进而保障工艺机台压力的稳定性。本发明专利技术还公开了一种保持工艺制程切换过程压力稳定的装置，该装置在切换工艺制程过程中反应室压力稳定，产品质量较高。

A method and device for maintaining pressure stability during process switching

The invention discloses a method of maintaining the pressure stability of the process switching process, first obtaining the difference between the time required for the conversion of the reference valve and the adjustment valves, and then controlling the switching state of the reference valve after the first time, and controlling the state of the post conversion switch between the adjustment valves at the corresponding second time. For any one of the globe valves, the rest of the globe valves are adjusting valves. The difference between the second time and the first time is the corresponding value of each adjustment valve. The method adjusts the start time of each cut-off valve to offset the difference of the conversion time caused by the self structure of the cut-off valve, so that the shut-off valves can be switched on and closed synchronously, and then the stability of the pressure of the process platform is ensured. The invention also discloses a device for maintaining the pressure stability of the process process switching process. The device has stable pressure in the reaction chamber and high quality of the product during the process of switching process.

【技术实现步骤摘要】
一种保持工艺制程切换过程压力稳定的方法及装置
本专利技术涉及光纤、半导体制造设备
，更具体地说，涉及一种保持工艺制程切换过程压力稳定的方法和装置。
技术介绍
在光纤、半导体制造的工艺设备中，为工艺机台提供原料气体的气体箱或气柜对最终产品的品质有着非常重要的影响。气体箱或气柜为包括质量流量控制器(MFC)、阀门等部件的气体流量供给装置。气体箱或气柜通常设有若干个支路，每个支路均与工艺机台连通，对处于工艺机台的产品进行加工。气体箱的每个支路均设有MFC，MFC用于控制该支路在标准大气压下的工艺气体可流通的最大质量流量。对光纤的芯、包界面、半导体制程的沉积、刻蚀等不同阶段的工艺产品进行加工时，气体箱或气柜需要控制不同气体流量的及切换供应不同种类的气体。切换工艺制程时需要关闭旧通道的截止阀并打开新通道的截止阀，其中新通道和旧通道均可以包括若干个截止阀。例如参考图1，图1为现有技术中的设计方案示意图，S1、S2、S3、S4为四种不同的气体源，L1、L2、L3、L4、L5、L6为气体箱的六个不同的工艺气体供给支路。进行一个工艺制程时支路L1、L2、L4为工艺机台供给工艺气体，在进行另一个工艺制程时支路L2、L3、L5供给工艺气体。因此切换过程中需要关闭旧通道的支路L1、L4同时打开新通道的支路L3、L5。现有技术通常直接对原通道和新通道的截止阀进行控制实现切换，然而由于各个截止阀自身的结构差异，各个截止阀可能出现不同步的情况，即工艺制程在两个通道进行切换时会在短时间内出现2个通道同时开启或关闭的情况。例如对于上述工艺制程的切换，可能出现L1、L4的截止阀已经关闭而L3、L5截止阀未打开，或L3、L5截止阀已打开而L1、L4截止阀未关闭的问题。截止阀无法同步转换开闭状态会使反应室压力出现明显的增大或降低。而压力的明显波动会对工艺反应造成较大的干扰，例如发生反应不完全或反应副产品中的颗粒物从尾端逆流回反应室等问题，各种不利的干扰均会对产品低的质量造成较大的影响。综上所述，如何提供一种减小切换工艺制程中压力波动的方法，是目前本领域技术人员亟待解决的问题。
技术实现思路
有鉴于此，本专利技术的目的是提供一种减小切换工艺制程中压力波动的方法，在不同支路切换工艺气体时仍能保持工艺机台压力的稳定性，避免切换过程中压力波动较大造成的产品缺陷，从而提高产品质量。本专利技术的另一目的是提供一种保持工艺制程切换过程压力稳定的装置，该装置在切换支路截止阀开闭状态的过程中，反应室压力保持稳定，产品质量较高。为了实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种保持工艺制程切换过程压力稳定的方法，包括：S1、确定若干个截止阀中的任意一个为基准阀，其余均为调整阀，并获取所述基准阀与各个所述调整阀转换开闭状态所需时间的差值；S2、启动计时，控制所述基准阀在第一时间截止时转换开闭状态，控制各所述调整阀在其对应的第二时间后转换开闭状态，其中所述第二时间和所述第一时间的时间差为所述差值。优选的，S2之前还包括：对新通道的所述截止阀的上游进行预设泄放时间的泄放。优选的，所述预设泄放时间的范围为1秒至30秒。优选的，所述第一时间的范围为100ms至1000ms。优选的，当所述基准阀为转换用时最长的所述截止阀时，所述S2为：首先控制所述基准阀转换开闭状态，然后控制各所述调整阀在对应的所述第二时间后转换开关状态。优选的，当所述基准阀和所述调整阀均为一个时，所述S1包括：S101、设置第一预设时间和第二预设时间，其中所述第一预设时间为新通道截止阀预估的延迟控制的时间，所述第二预设时间为旧通道截止阀预估的延迟控制的时间；S102、启动计时，在所述第一预设时间截止时，控制所述新通道截止阀打开，在所述第二预设时间截止时，控制所述旧通道截止阀关闭；S103、获得反应室的压力并将获得的所述压力与预设压力进行比较得到压力波动值，所述反应室为与所述新通道截止阀和所述旧通道截止阀连通的腔体结构；若所述压力波动值小于压差阈值，则确定当前的所述第二预设时间和所述第一预设时间差为所述差值；若所述压力波动值大于或等于压差阈值，且所述反应室的压力大于所述预设压力，则控制所述第一预设时间增加一个延时步长，或所述第二预设时间减少一个延时步长，并控制所述新通道截止阀和所述旧通道截止阀转换开闭状态，返回S102；若所述压力波动值大于或等于压差阈值，且所述反应室的压力小于所述预设压力，则控制所述第一预设时间减少一个延时步长，或所述第二预设时间增加一个延时步长，并控制所述新通道截止阀和所述旧通道截止阀转换开闭状态，返回S102。优选的，所述延时步长不大于10ms，或所述压差阈值不大于2％。一种保持工艺制程切换过程压力稳定的装置，包括：获取装置，用于获取基准阀与全部调整阀转换开闭状态所需时间的各个差值，其中若干个截止阀中任意一个为基准阀，其余均为调整阀；控制装置，与所述获取装置连接，用于接收所述差值；且所述控制装置与所述基准阀和所述调整阀连接，用于在启动计时后控制所述基准阀在第一时间转换开闭状态，并控制各所述调整阀在其对应的第二时间转换开闭状态，所述第二时间与所述第一时间的时间差为所述差值。优选的，所述截止阀包括从关闭状态切换为打开状态的新通道截止阀，所述新通道截止阀的上游连接有用于进行预泄放的泄放阀，所述泄放阀与排废系统连接。优选的，所述获取装置包括：时间输入装置，用于设置第一预设时间和第二预设时间，其中所述第一预设时间为所述新通道截止阀预估的延迟控制的时间，所述第二预设时间为旧通道截止阀预估的延迟控制的时间；预调装置，控制所述新通道截止阀在所述第一预设时间截止时打开，控制所述旧通道截止阀在所述第二预设时间截止时关闭；并用于时间调节装置调整所述第一预设时间或所述第二预设时间后，控制所述新通道截止阀和所述旧通道截止阀转换开闭状态；压差检测装置，用于获取反应室内的压力并与预设压力进行比较得到压力波动值；其中所述反应室为与所述新通道截止阀和所述旧通道截止阀连通的腔体结构；存储装置，与所述压差检测装置连接，用于当所述压力波动值小于压差阈值时，记录当前的所述第二预设时间和所述第一预设时间的差值；时间调节装置，与所述压差获取装置连接，用于当所述压力波动值大于或等于压差阈值时，根据所述反应室的压力和所述预设压力的大小关系调整所述第一预设时间或所述第二预设时间。本专利技术提供的保持工艺制程切换过程压力稳定的方法首先获取基准阀与各个调整阀转换所需时间的差值，然后在第一时间后控制基准阀转换开闭状态，同时控制各调整阀在其对应的第二时间后转换开关状态。其中基准阀为若干个截止阀中的任意一个，其余截止阀均为调整阀，第二时间和第一时间的时间差为各个调整阀对应的差值。受到控制后各个截止阀由于转换开闭状态所需要的时间存在差异，同时控制全部截止阀开始转换开闭状态，则会导致各个截止阀转换不同步的问题。因此本申请首先获得各个调整阀和基准阀之间的差值，然后在第一时间控制基准阀工作，当调整阀转换时间比基准阀短时，在第一时间的基础上增加该调整阀对应的差值后，控制该调整阀工作；当调整阀转换时间比基准阀长时，在第一时间的基础上提前控制该调整阀工作，提前的时间为该调整法对应的差值时长。本专利技术对各个截止阀开始控制的时间存在差异，以抵消截止阀自身结构造成的转换本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种保持工艺制程切换过程压力稳定的方法，其特征在于，包括：S1、确定若干个截止阀中的任意一个为基准阀，其余均为调整阀，并获取所述基准阀与各个所述调整阀转换开闭状态所需时间的差值；S2、启动计时，控制所述基准阀在第一时间截止时转换开闭状态，控制各所述调整阀在其对应的第二时间后转换开闭状态，其中所述第二时间和所述第一时间的时间差为所述差值。

【技术特征摘要】
1.一种保持工艺制程切换过程压力稳定的方法，其特征在于，包括：S1、确定若干个截止阀中的任意一个为基准阀，其余均为调整阀，并获取所述基准阀与各个所述调整阀转换开闭状态所需时间的差值；S2、启动计时，控制所述基准阀在第一时间截止时转换开闭状态，控制各所述调整阀在其对应的第二时间后转换开闭状态，其中所述第二时间和所述第一时间的时间差为所述差值。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，S2之前还包括：对新通道的所述截止阀的上游进行预设泄放时间的泄放。3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述预设泄放时间的范围为1秒至30秒。4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述第一时间的范围为100ms至1000ms。5.根据权利要求1-4所述的方法，其特征在于，当所述基准阀为转换用时最长的所述截止阀时，所述S2为：首先控制所述基准阀转换开闭状态，然后控制各所述调整阀在对应的所述第二时间后转换开关状态。6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，当所述基准阀和所述调整阀均为一个时，所述S1包括：S101、设置第一预设时间和第二预设时间，其中所述第一预设时间为新通道截止阀预估的延迟控制的时间，所述第二预设时间为旧通道截止阀预估的延迟控制的时间；S102、启动计时，在所述第一预设时间截止时，控制所述新通道截止阀打开，在所述第二预设时间截止时，控制所述旧通道截止阀关闭；S103、获得反应室的压力并将获得的所述压力与预设压力进行比较得到压力波动值，所述反应室为与所述新通道截止阀和所述旧通道截止阀连通的腔体结构；若所述压力波动值小于压差阈值，则确定当前的所述第二预设时间和所述第一预设时间差为所述差值；若所述压力波动值大于或等于压差阈值，且所述反应室的压力大于所述预设压力，则控制所述第一预设时间增加一个延时步长，或所述第二预设时间减少一个延时步长，并控制所述新通道截止阀和所述旧通道截止阀转换开闭状态，返回S102；若所述压力波动值大于或等于压差阈值，且所述反应室的压力小于所述预设压力，则控制所...

【专利技术属性】
技术研发人员：连海洲，孙效义，薛元，
申请(专利权)人：上海至纯洁净系统科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：上海,31