流体控制装置制造方法及图纸

一种流体控制装置，包含：压电致动器包括悬浮板；外框；支架；压电元件；壳体包括出口板及底座，出口板供压电致动器设置于其中，底座包括入口板及共振片，入口板具有相连通于外的汇流腔室，共振片设置固定于入口板上，并具有中空孔洞；胶体设置于压电致动器之外框与底座的共振片之间，以维持压电致动器与底座的共振片之间具有间隙；其中，悬浮板由具有线膨胀系数比压电元件的线膨胀系数小的材料形成，且具有一受热变形保持弯曲的硬度，以及悬浮板与共振片的线膨胀系数不同，以让悬浮板与共振片之间之间隙得到一特定变形位移量。

Fluid control device

A fluid control device consists of a piezoelectric actuator including a suspension plate, a frame, a bracket, a piezoelectric element, a housing including an outlet plate and a base, and an outlet plate for a piezoelectric actuator, which includes an entrance plate and a resonance plate, an entrance plate having a confluence chamber connected to the outside, and a resonant plate fixed to the entrance plate. The colloid is arranged in a hollow hole; the colloid is arranged between the outer frame of the piezoelectric actuator and the resonance plate of the base to maintain the gap between the piezoelectric actuator and the resonance plate of the base; in which the suspension plate is formed by a material with a linear expansion coefficient smaller than the linear expansion coefficient of the piezoelectric element, and has a heating deformation to maintain the bending. The hardness and the linear expansion coefficient of the suspension plate are different from that of the resonance plate, so that a specific deformation displacement between the suspension plate and the resonance plate can be obtained.

【技术实现步骤摘要】
流体控制装置
本案是关于一种适用于微型超薄且静音的流体控制装置。
技术介绍
目前于各领域中无论是医药、电脑科技、打印、能源等工业，产品均朝精致化及微小化方向发展，其中微泵、喷雾器、喷墨头、工业打印装置等产品所包含的流体输送结构为其关键技术，是以，如何借创新结构突破其技术瓶颈，为发展的重要内容。举例来说，于医药产业中，许多需要采用气压动力驱动的仪器或设备，通常采以传统马达及气压阀来达成其流体输送的目的。然而，受限于此等传统马达以及流体阀的体积限制，使得此类的仪器设备难以缩小其整体装置的体积，即难以实现薄型化的目标，更无法使的达成可携式的目的。此外，这些传统马达及流体阀于作动时亦会产生噪音的问题，导致使用上的不便利及不舒适。因此，如何发展一种可改善上述已知技术缺失，可使传统采用流体控制装置的仪器或设备达到体积小、微型化且静音，进而达成轻便舒适的可携式目的的流体控制装置，实为目前迫切需要解决的问题。如图1所示，为一种流体控制装置，包括一壳体1及一压电致动器2、两绝缘片3a、3b及一导电片4。该壳体1包含一出口板11及一底座12，该出口板11为周缘具有侧壁111及底部具有一板件112本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种流体控制装置，其特征在于，包含：一压电致动器，包括：一悬浮板；一外框，环绕设置于该悬浮板之外侧；至少一支架，连接于该悬浮板与该外框之间；以及一压电元件，具有不大于该悬浮板边长的边长，贴附于该悬浮板上；以及一壳体，包括：一出口板，周缘具有一侧壁及一板件以构成一容置空间的一框体结构，供该压电致动器设置于该容置空间中；以及一底座，包括一入口板及一共振片所构成，罩盖于该出口板的该容置空间中，以封闭该压电致动器，该入口板具有相连通于外的一汇流腔室，该共振片设置固定于该入口板上，并具有一中空孔洞，相对于该入口板的该汇流腔室；以及一胶体，设置于该压电致动器的该外框与该底座的该共振片之间，以维持该压电...

【技术特征摘要】
1.一种流体控制装置，其特征在于，包含：一压电致动器，包括：一悬浮板；一外框，环绕设置于该悬浮板之外侧；至少一支架，连接于该悬浮板与该外框之间；以及一压电元件，具有不大于该悬浮板边长的边长，贴附于该悬浮板上；以及一壳体，包括：一出口板，周缘具有一侧壁及一板件以构成一容置空间的一框体结构，供该压电致动器设置于该容置空间中；以及一底座，包括一入口板及一共振片所构成，罩盖于该出口板的该容置空间中，以封闭该压电致动器，该入口板具有相连通于外的一汇流腔室，该共振片设置固定于该入口板上，并具有一中空孔洞，相对于该入口板的该汇流腔室；以及一胶体，设置于该压电致动器的该外框与该底座的该共振片之间，以维持该压电致动器与该底座的该共振片之间具有一间隙；其中，该悬浮板由具有线膨胀系数比压电元件的线膨胀系数小的材料形成，且具有一受热变形保持弯曲的硬度，以及该悬浮板与该共振片的线膨胀系数不同，以让该悬浮板与该共振片之间的该间隙得到一最大性能与流量的变形位移量。2.如权利要求1所述流体控制装置，其特征在于，该悬浮板为不锈钢材质，具有310HV至350HV硬度为最佳。3.如权利要求2所述流体控制装置，其特征在于，该悬浮板受热变形后让悬浮板与该共振片之间保持在20至25μm变形位移量，以提供流体控制装置输出气压为300至400mmHg，流率为90至160ml/min。4.如权利要求1所述流体控制装置，其特征在于，该悬浮板为不锈钢材质，具有370HV-410HV硬度。5.如权利要求4所述流体控制装置，其特征在于，该悬浮板受热变形后该悬浮板与该共振片之间保持在15～17μm变形位移量，以提供该流体控制装置输出气压为300至400mmHg，流率为50至100ml/min。6.如权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄哲威，陈世昌，廖家淯，韩永隆，黄启峰，
申请(专利权)人：研能科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾,71