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流体控制装置制造方法及图纸
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文档序号:18442610
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一种流体控制装置,包含:压电致动器包括悬浮板;外框;支架;压电元件;壳体包括出口板及底座,出口板供压电致动器设置于其中,底座包括入口板及共振片,入口板具有相连通于外的汇流腔室,共振片设置固定于入口板上,并具有中空孔洞;胶体设置于压电致动器之...
该专利属于研能科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过研能科技股份有限公司授权不得商用。
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