真空镀膜设备的传输装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种真空镀膜设备的传输装置，包括：动力源、传输载体和传动装置，其中传动装置包括主动轮、两个张紧轮和开环的钢带，主动轮与动力源相连接，两张紧轮设置在主动轮的两侧，钢带绕过两张紧轮和主动轮，其两端与传输载体相连接。本实用新型专利技术采用具有高强度、重量轻、耐磨、耐腐蚀、传动过程中几乎无伸长等优点的钢带作为传输带，使传输装置传动精度高、稳定性好，能够满足该类设备的高温高真空环境的使用要求，并保证传动过程中可精确定位且平稳可靠。

Transmission device of vacuum coating equipment

The utility model discloses a transmission device for a vacuum coating equipment, including a power source, a transmission carrier and a transmission device, in which the transmission device includes an active wheel, two tensioner wheels and a steel strip with a ring opening, the active wheel is connected with the power source, the two tight wheels are set on both sides of the driving wheel, the steel belt passes through two tight wheels and active. The two ends of the wheel are connected to the transmission carrier. The steel belt is a transmission belt with the advantages of high strength, light weight, wear-resisting, corrosion resistance and almost no elongation in the transmission process. The transmission device has high transmission precision and good stability. It can meet the requirements of the high temperature and high vacuum environment of this kind of equipment, and ensure the precise positioning and leveling in the transmission process. It is stable and reliable.

【技术实现步骤摘要】
真空镀膜设备的传输装置
本技术涉及太阳能电池的制造设备领域，特别涉及一种真空镀膜设备的传输装置。
技术介绍
制造太阳能电池过程中会使用很多真空镀膜工艺，并且多数环境下均为在一定温度(如高温)下进行，因此需要稳定的传输系统，并且在工艺过程中会产生一些腐蚀气体，因此需要传输系统满足环境要求且有效可靠。普通环境下传输玻璃基片可使用常见的皮带(齿形带)传动方式，但这种皮带结构不适用于高温环境，除了高温会给皮带带来损害外，还会使皮带变质并挥发出影响镀膜工艺的气体，造成不良影响。真空高温下传输玻璃基片还可以使用链传动的结构来实现，虽然其能够适应于恶劣的环境，但是链轮的传动精度不高，长时间使用容易磨损、伸长，并且由于其需要张紧结构，故很难使用在往复运动的场合。
技术实现思路
为了解决上述技术问题，本技术提供了一种具有传动精度高、稳定性好的传输装置，能够满足高温高真空环境的使用要求。为了达到本技术的目的，本技术提供了一种真空镀膜设备的传输装置，包括：动力源；传输载体；和传动装置，其包括主动轮、两个张紧轮和开环的钢带，所述主动轮与所述动力源相连接，两所述张紧轮设置在所述主动轮的两侧，所述钢带绕过所述主动轮和两本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种真空镀膜设备的传输装置，其特征在于，包括：动力源；传输载体；和传动装置，其包括主动轮、两个张紧轮和开环的钢带，所述主动轮与所述动力源相连接，两所述张紧轮设置在所述主动轮的两侧，所述钢带绕过所述主动轮和两个所述张紧轮，所述钢带的两端与所述传输载体相连接。

【技术特征摘要】
2017.12.04 CN 20172166308191.一种真空镀膜设备的传输装置，其特征在于，包括：动力源；传输载体；和传动装置，其包括主动轮、两个张紧轮和开环的钢带，所述主动轮与所述动力源相连接，两所述张紧轮设置在所述主动轮的两侧，所述钢带绕过所述主动轮和两个所述张紧轮，所述钢带的两端与所述传输载体相连接。2.根据权利要求1所述的传输装置，其特征在于，所述钢带设置有两个，一个所述钢带的一端缠绕在所述主动轮上，另一端绕过一个所述张紧轮后与所述传输载体连接，另一个所述钢带的一端缠绕在所述主动轮上，另一端绕过另一个所述张紧轮后与所述传输载体连接。3.根据权利要求2所述的传输装置，其特征在于，所述主动轮设置有两个，两个所述钢带的一端分别缠绕在两个所述主动轮上。4.根据权利要求3所述的传输装置，其特征在于，一个所述张紧轮位于另一个所述张紧轮的上方，与位于上方的所述张紧轮相关联的所述主动轮位于另一个所述主动轮的上方。5.根据权利要求1-4中任一项所述的传输装置，其特征在于，还包括：定位传感器，所述定位...

【专利技术属性】
技术研发人员：曹京星，
申请(专利权)人：君泰创新北京科技有限公司，
类型：新型
国别省市：北京,11