一种微流体电特性微波检测装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种微流体电特性微波检测装置，包括共面波导传输线及串联加载在共面波导传输线中间导带的两个对称的复合支节I和复合支节II，复合支节I和复合支节II均由多个终端开路的槽线支节组成，复合支节I上设有用于放置测试样品的测试区域，共面波导传输线的输入端口和输出端口分别通过SMA接头与矢量网络分析仪相连。本发明专利技术的检测装置结构简单，灵敏度高，传感器上的复合支节采用传统的刻蚀工艺加工，价格低廉，加工难度低，便于批量生产，可实现在线实时宽带检测。

A microwave detection device for micro fluid electric characteristics

The invention discloses a micro fluid electric characteristic microwave detection device, including a coplanar waveguide transmission line and two symmetrical compound branches I and composite branch II loaded in a middle guide band in a coplanar waveguide transmission line. The compound branch node I and the composite branch II are composed of a slot line branch open by a plurality of terminals, and a composite branch I is provided for the joint. The test area of the test sample is placed, and the input port and output port of the CPW transmission line are connected with the vector network analyzer through the SMA joint. The detection device of the invention has the advantages of simple structure and high sensitivity. The composite branch node on the sensor is processed by traditional etching process, low price, low processing difficulty and convenient for batch production, and can realize on-line real-time broadband detection.

【技术实现步骤摘要】
一种微流体电特性微波检测装置
本专利技术属于微波测量装置
，具体涉及一种微流体电特性微波检测装置。
技术介绍
随着微波技术的应用在生物学、细胞学、食品化工及电磁兼容等领域内不断取得惊人的发展，许多新兴的交叉学科应运而生，如微波化学、电磁场生物医学。然而，因人们对微波同生物介质或者化学物质相互作用机理研究不足，导致了微波技术在上述领域内的应用依然面临很多技术壁垒。生物介质或者化学物质的电参数是反映微波与其相互作用的重要参数，如在生物学领域，像蛋白质热变性、双层质膜、单细胞特性，以及在微波化学领域内非热效应的研究，都是通过分析生物或化学物质介电特性的变化展开研究的。这些领域内的研究对象十分微小即被测对象为微流体，其引起测试信号的的微小，因此对检测的灵敏度和精确度提出了很高的要求，否则这些微小体积引起的微弱的信号将被淹没在测试装置的背景噪声中。一般来说微流体的电特性测量方法可以分为谐振法和非谐振法，谐振法的特点是具有很高的灵敏度高和很准的精确度，但是属于窄带和非接触性测试。非谐振法的特点是设备简单、测试灵敏度低但属于宽带，可实现接触性和非接触性测量。文献DongJ,ShenF,Don本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种微流体电特性微波检测装置，其特征在于包括共面波导传输线及串联加载在共面波导传输线中间导带的两个对称的复合支节I和复合支节II，复合支节I和复合支节II均由多个终端开路的槽线支节组成，复合支节I上设有用于放置测试样品的测试区域，复合支节II用于增强复合支节I上测试区域的电场强度及满足阻抗匹配进而提高检测的灵敏度和精确度，复合支节I和复合支节II之间设有间距用于保证信号正常传输而不受串扰，共面波导传输线的输入端口和输出端口分别通过SMA接头与矢量网络分析仪相连。

【技术特征摘要】
1.一种微流体电特性微波检测装置，其特征在于包括共面波导传输线及串联加载在共面波导传输线中间导带的两个对称的复合支节I和复合支节II，复合支节I和复合支节II均由多个终端开路的槽线支节组成，复合支节I上设有用于放置测试样品的测试区域，复合支节II用于增强复合支节I上测试区域的电场强度及满足阻抗匹配进而提高检测的灵敏度和精确度，复合支节I和复合支节II之间设有间距用于保证信号正常传输而不受串扰，共面波导传输线的输入端口和输出端口分别通过SMA接头与矢量网络分析仪相连。2.根据权利要求1所述的微流体电特性微波检测装置，其特征在于：所述被测样品为块状固体可直接放置在测试区域，被测样品为流体或固体粉末可通过弓字型微流管加载在测试区域，该弓字型微流管通过导电胶粘贴在测试区域。3.根据权利要求1所述的微流体电特性微波检测装置，其特征在于：所述共面波导传输线及复合支节I和复合支节II均采用传统刻蚀工艺在金属层上刻蚀而成，该金属层设置于介质基板上，介质基板的材料为罗杰斯R4003C，其相对介电常数为3.38，介质基板的厚度为0.8mm，共面波导传输线中两条信号传输缝隙及中间导带的宽度分别为0.15mm和2.3mm，复合支节I和复合支节II均由6个终端开路的槽线支节组成，终端开路的槽线支节长度及缝隙宽度分别为1.7mm和0.15mm。4.一种权利要求1-3中任意一项所述的微流体电特性微波检测装置的检测方法，其特征在于具体步骤为：（...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘伟娜，施艳艳，
申请(专利权)人：河南师范大学，
类型：发明
国别省市：河南,41