一种硅棒切片机的切割液冷却装置制造方法及图纸

技术编号:18423229 阅读:41 留言:0更新日期:2018-07-12 01:20
本实用新型专利技术公开了一种硅棒切片机的切割液冷却装置,包括箱体,所述箱体内设置有冷却间和设备间,所述冷却间设置于设备间顶端,所述冷却间和设备间之间设置有隔板,所述冷却间内设置有外盘冷却管,所述外盘冷却管内设置有内盘冷却管,所述外盘冷却管顶端一侧设置有连接管,所述连接管一端延伸至外盘冷却管内,所述箱体顶部设置有顶板。本实用新型专利技术通过外盘冷却管和内盘冷却管均呈螺旋盘式设置,使冷凝器内的冷却液经过外盘冷却管和内盘冷却管时,通过热交换的原理,带走切割液中的温度,从而达到冷却的效果,并且通过杂质隔离网的设置,可以有效的去除冷却液内的颗粒状杂质,提高了冷却效果,而且结构简单,操作方便,冷却效果优良。

【技术实现步骤摘要】
一种硅棒切片机的切割液冷却装置
本技术涉及冷却
,特别涉及一种硅棒切片机的切割液冷却装置。
技术介绍
在如今的半导体行业,硅片切割是常见的生产环节。硅片切割过程中会用到切割液,但是在硅片切割过程中会产生大量热,导致切削后的切割液温度升高。因为硅片切割过程中对切割液的温度有严格要求,因此切割液必须进行冷却再循环利用。另外在切割过程中会有一些颗粒物等杂志进入切割液中,而现今的切割液冷却装置都是采用板式换热器,不仅冷却效果低而且不容易清理杂质,从而对产品质量造成影响。因此,专利技术一种硅棒切片机的切割液冷却装置来解决上述问题很有必要。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种硅棒切片机的切割液冷却装置,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种硅棒切片机的切割液冷却装置,包括箱体,所述箱体内设置有冷却间和设备间,所述冷却间设置于设备间顶端,所述冷却间和设备间之间设置有隔板,所述冷却间内设置有外盘冷却管,所述外盘冷却管内设置有内盘冷却管,所述外盘冷却管顶端一侧设置有连接管,所述连接管一端延伸至外盘冷却管内,所述箱体顶部设置有顶板,所述顶板顶端设置有伸缩电机,所述本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种硅棒切片机的切割液冷却装置,包括箱体(1),其特征在于:所述箱体(1)内设置有冷却间(2)和设备间(3),所述冷却间(2)设置于设备间(3)顶端,所述冷却间(2)和设备间(3)之间设置有隔板(4),所述冷却间(2)内设置有外盘冷却管(5),所述外盘冷却管(5)内设置有内盘冷却管(6),所述外盘冷却管(5)顶端一侧设置有连接管(7),所述连接管(7)一端延伸至外盘冷却管(5)内,所述箱体(1)顶部设置有顶板(8),所述顶板(8)顶端设置有伸缩电机(9),所述伸缩电机(9)输出端设置有伸缩杆(10),所述伸缩杆(10)底端贯穿顶板(8),且延伸至冷却间(2)内,所述伸缩杆(10)底端设置有...

【技术特征摘要】
1.一种硅棒切片机的切割液冷却装置,包括箱体(1),其特征在于:所述箱体(1)内设置有冷却间(2)和设备间(3),所述冷却间(2)设置于设备间(3)顶端,所述冷却间(2)和设备间(3)之间设置有隔板(4),所述冷却间(2)内设置有外盘冷却管(5),所述外盘冷却管(5)内设置有内盘冷却管(6),所述外盘冷却管(5)顶端一侧设置有连接管(7),所述连接管(7)一端延伸至外盘冷却管(5)内,所述箱体(1)顶部设置有顶板(8),所述顶板(8)顶端设置有伸缩电机(9),所述伸缩电机(9)输出端设置有伸缩杆(10),所述伸缩杆(10)底端贯穿顶板(8),且延伸至冷却间(2)内,所述伸缩杆(10)底端设置有杂质隔离网(11),所述设备间(3)内设置有冷凝器(12),所述冷凝器(12)输出端设置有冷却液输出管(13),所述冷却液输出管(13)输出端与外盘冷却管(5)输入端连接,所述冷凝器(12)输入端设置有冷却液回流管(14),所述冷却液回流管(14)输入端与内盘冷却管(6)输出端连接。2.根据权利要求1所述的一种硅棒切片机的切割液冷却装置,其特征在于:所述冷却液输出管(13)设置有泵...

【专利技术属性】
技术研发人员:王春佳
申请(专利权)人:江西福璟新能源科技有限公司
类型:新型
国别省市:江西,36

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