用于电弧离子镀的可调式引弧针装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种用于电弧离子镀的可调式引弧针装置，该装置包括主杆、棘牙推杆、棘爪锁定机构和引弧针，所述主杆的一侧为内螺纹盲孔结构，主杆的另一侧沿主杆轴向设置有异形孔，所述棘牙推杆滑动安装在主杆的异形孔中；所述棘爪锁定机构安装在主杆上，棘爪锁定机构与棘牙推杆相配合，实现棘牙推杆的定向锁定；在主杆的异形孔杆段的下杆壁上开设有一端通槽，引弧针的顶部透过该通槽固定安装在棘牙推杆上；通过棘牙推杆带动引弧针沿通槽移动，以实现引弧针的位置调节。

Adjustable arc needle device for arc ion plating

The utility model discloses an adjustable arc needle device for arc ion plating. The device comprises a main rod, a spinous tooth push rod, a pawl locking mechanism and an arc needle. The one side of the main rod is a blind hole in the inner thread, and the other side of the main rod is axially arranged with a shaped hole along the main rod, and the spinous tooth push rod is slid and mounted on the main rod. The pawl locking mechanism is installed on the main rod, and the pawl locking mechanism is matched with the spinous tooth push rod to realize the directional locking of the spinous tooth push rod, and a one end slot is opened on the lower rod wall of the main rod, and the top of the arc needle is fixed on the spinous tooth push rod through the slot, and is driven by the spinous tooth push rod. The arc striking needle moves along the groove to realize the position adjustment of the arc needle.

【技术实现步骤摘要】
用于电弧离子镀的可调式引弧针装置
本技术属于电弧离子镀
，具体涉及一种用于电弧离子镀的可调式引弧针装置。
技术介绍
在电弧离子镀膜设备镀膜过程中，通过引弧针触碰靶材产生放电进行引弧。镀膜过程中，引弧针位置与靶材表面距离过近，引弧针针尖温度不断升高，持续烧蚀的电弧会使针尖部分熔断，造成灭弧且无法再次起弧，使镀膜过程中断；引弧针位置与靶材距离过远，弧针与靶材之间放电不充分，无法起弧。随着靶材的不断消耗，靶材与引弧针之间的距离在不断地变化，这就需要不断调整引弧针的位置，使弧针与靶材之间放电充分顺利起弧且不会熔断弧针，由于每次靶材消耗程度难以度量，给引弧针位置的调整增加了很大的难度，这就需要一种便于调节的电弧离子镀引弧针调节装置。
技术实现思路
本技术的目的在于克服现有技术的不足，提供一种用于电弧离子镀的可调式引弧针装置。通过该装置能够方便快捷的调整引弧针的位置。本技术是通过以下技术方案实现的：一种用于电弧离子镀的可调式引弧针装置，该装置包括主杆、棘牙推杆、棘爪锁定机构和引弧针，所述主杆的一侧为内螺纹盲孔结构，主杆的另一侧沿主杆轴向设置有异形孔，所述棘牙推杆滑动安装在主杆的异形孔中；所述棘爪锁定机构安装在主杆上，棘爪锁定机构与棘牙推杆相配合，实现棘牙推杆的定向锁定；在主杆的异形孔杆段的下杆壁上开设有一端通槽，引弧针的顶部透过该通槽固定安装在棘牙推杆上；通过棘牙推杆带动引弧针沿通槽移动，以实现引弧针的位置调节。在上述技术方案中，棘爪锁定机构由外套、十字杆、棘爪、回位弹簧和顶帽组成，外套通过螺栓安装在主杆杆壁上，十字杆竖直滑动安装在外套中，棘爪固定在十字杆底端，顶帽固定在十字杆顶端，回位弹簧套装在十字杆杆段上，回位弹簧的底端抵触棘爪，回位弹簧的顶端抵触外套的内缘，通过回位弹簧为棘爪提供向棘牙推杆的弹力，保证棘爪能够与棘牙推杆的棘牙配合，从而实现棘牙推杆的定向锁定；通过提升顶帽，顶帽可以带动十字杆和棘爪上升，从而使棘爪与棘牙推杆的棘牙解锁。在上述技术方案中，所述引弧针从上至下依次包括顶部水平段、竖直段、弯折过度段和底部水平段，顶部水平段、竖直段、弯折过度段和底部水平段为一体式结构，材质为不锈钢；在底部水平段的终端内嵌有用于和靶材接触的钼材质的接触针。在上述技术方案中，通槽沿主杆轴向的长度为2-3cm。本技术的优点和有益效果为：本技术结构简单、设计合理、使用方便，使用时，通过主杆的内螺纹盲孔将本装置固定在镀膜机的动作气缸的输出杆上，开启镀膜机，由气缸带动本装置往复振动，使引弧针触碰靶材产生放电进行引弧；当需要调近引弧针与靶面的距离时，向靶材方向推动棘牙推杆，棘牙推杆带动引弧针向靶面移动，移动到位后，通过棘爪锁定机构锁定棘牙推杆和引弧针的位置；当需要调远引弧针与靶面的距离时，提升顶帽，使棘爪与棘牙解锁，然后向远离靶材方向拉动棘牙推杆，棘牙推杆带动引弧针向远离靶面方向移动，移动到位后，放下顶帽，棘爪锁定机构锁定棘牙推杆和引弧针的位置。本技术的所述引弧针从上至下依次包括顶部水平段、竖直段、弯折过度段和底部水平段，顶部水平段、竖直段、弯折过度段和底部水平段为一体式结构，材质为不锈钢，在水平段的终端内嵌有用于和靶材接触的钼材质的接触针。将引弧针做成这种弯折的结构是为了使引弧针与靶面平行的那段远离靶表面，避免温度过高造成引弧针的软化，另外也可以有效减缓靶材蒸发出的材料在弧针上的沉积、积瘤。此外，引弧针的接触针采用钼材质，这是因为钼的熔点较高，可以防止持续烧蚀的电弧把不锈钢引弧针熔化，若引弧针整体都用钼丝制作，则成本较高，同时钼丝脆性大，不易弯曲成型，而不锈钢塑性较好，易弯曲成型。附图说明图1是本技术型的结构示意图。图2是图1的A向剖视图。图3是图1的B向剖视图。图4是靶材损耗之后调节引弧针位置的结构示意图。具体实施方式下面结合具体实施例进一步说明本技术的技术方案。本技术公开了一种用于电弧离子镀的可调式引弧针装置，参见附图1，该装置包括主杆1、棘牙推杆2、棘爪锁定机构3和引弧针4，所述主杆1的右端为内螺纹盲孔1-1结构，该内螺纹盲孔1-1用于连接气缸动作端；主杆1的左侧沿主杆1轴向设置有异形孔1-2，参见附图2，所述异形孔的截面形状为：包括梯形部分和方形部分；棘牙推杆2上等间距的设置有多个棘牙2-1，棘牙推杆2的截面形状与异形孔的截面形状相配合，所述棘牙推杆2滑动安装在主杆1的异形孔1-2中，通过异形孔截面的梯形结构能够限制棘牙推杆的轴向转动和径向移动；所述棘爪锁定机构3安装在主杆1杆壁上，棘爪锁定机构3与棘牙推杆2相配合，实现棘牙推杆2的定向(向靶材5方向)锁定；棘爪锁定机构3由外套3-1、十字杆3-2、棘爪3-3、回位弹簧3-4和顶帽3-5组成，外套3-1通过螺栓安装在主杆1杆壁上，十字杆3-2竖直滑动安装在外套3-1中，棘爪3-3固定在十字杆3-2底端，顶帽3-5固定在十字杆3-2顶端，回位弹簧3-4套装在十字杆3-2杆段上，回位弹簧3-4的底端抵触棘爪3-3，回位弹簧3-4的顶端抵触外套3-1的内缘，通过回位弹簧3-4为棘爪3-3提供向下(向棘牙)的弹力，保证棘爪3-3能够与棘牙配合，从而实现棘牙推杆2的定向锁定；通过提升顶帽3-5，顶帽3-5可以带动十字杆3-2和棘爪3-3上升，从而使棘爪与棘牙解锁；参见附图3，所述十字杆3-2具有一段截面为长方形的杆段3-21，从而限制十字杆的轴向转动；在主杆1的异形孔杆段的下杆壁上开设有一端通槽1-3，通槽沿主杆1轴向的长度为2-3cm，引弧针的顶部水平段4-1透过该通槽通过螺栓安装在棘牙推杆2前端；通过棘牙推杆2带动引弧针4沿通槽1-3移动，以实现引弧针4的位置调节；所述引弧针4从上至下依次包括顶部水平段4-1、竖直段4-2、弯折过度段4-3和底部水平段4-4，顶部水平段4-1、竖直段4-2、弯折过度段4-3和底部水平段4-4为一体式结构，材质为不锈钢；在底部水平段4-4的终端内嵌有用于和靶材5接触的钼材质的接触针4-5。将引弧针做成这种弯折的结构是为了使引弧针与靶面平行的那段远离靶表面，避免温度过高造成引弧针的软化，另外也可以有效减缓靶材蒸发出的材料在弧针上的沉积、积瘤。此外，引弧针的接触针采用钼材质，这是因为钼的熔点较高，可以防止持续烧蚀的电弧把不锈钢引弧针熔化，若引弧针整体都用钼丝制作，则成本较高，同时钼丝脆性大，不易弯曲成型，而不锈钢塑性较好，易弯曲成型。使用时，通过主杆右端的内螺纹盲孔将本装置固定在镀膜机的动作气缸的输出杆上，开启镀膜机，由气缸带动本装置往复振动，使引弧针触碰靶材5产生放电进行引弧。当需要调近引弧针与靶面的距离时，参见附图4，向靶材方向推动棘牙推杆2，棘牙推杆2带动引弧针4向靶面移动，移动到位后，通过棘爪锁定机构3锁定棘牙推杆2和引弧针4的位置；当需要调远引弧针与靶面的距离时，提升顶帽3-5，使棘爪与棘牙解锁，然后向远离靶材方向拉动棘牙推杆2，棘牙推杆2带动引弧针4向远离靶面方向移动，移动到位后，放下顶帽3-5，棘爪锁定机构3锁定棘牙推杆2和引弧针4的位置。以上对本技术做了示例性的描述，应该说明的是，在不脱离本技术的核心的情况下，任何简单的变形、修改或者其他本领域技术人员能够不花费创造性劳动的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于电弧离子镀的可调式引弧针装置，其特征在于：该装置包括主杆、棘牙推杆、棘爪锁定机构和引弧针，所述主杆的一侧为内螺纹盲孔结构，主杆的另一侧沿主杆轴向设置有异形孔，所述棘牙推杆滑动安装在主杆的异形孔中；所述棘爪锁定机构安装在主杆上，棘爪锁定机构与棘牙推杆相配合，实现棘牙推杆的定向锁定；在主杆的异形孔杆段的下杆壁上开设有一端通槽，引弧针的顶部透过该通槽固定安装在棘牙推杆上；通过棘牙推杆带动引弧针沿通槽移动，以实现引弧针的位置调节。

【技术特征摘要】
1.一种用于电弧离子镀的可调式引弧针装置，其特征在于：该装置包括主杆、棘牙推杆、棘爪锁定机构和引弧针，所述主杆的一侧为内螺纹盲孔结构，主杆的另一侧沿主杆轴向设置有异形孔，所述棘牙推杆滑动安装在主杆的异形孔中；所述棘爪锁定机构安装在主杆上，棘爪锁定机构与棘牙推杆相配合，实现棘牙推杆的定向锁定；在主杆的异形孔杆段的下杆壁上开设有一端通槽，引弧针的顶部透过该通槽固定安装在棘牙推杆上；通过棘牙推杆带动引弧针沿通槽移动，以实现引弧针的位置调节。2.根据权利要求1所述的一种用于电弧离子镀的可调式引弧针装置，其特征在于：棘爪锁定机构由外套、十字杆、棘爪、回位弹簧和顶帽组成，外套通过螺栓安装在主杆杆壁上，十字杆竖直滑动安装在外套中，棘爪固定在十字杆底端，顶帽固...

【专利技术属性】
技术研发人员：王铁钢，林伟，刘源，侯翔，唐宽瑜，蒙德强，
申请(专利权)人：天津职业技术师范大学，
类型：新型
国别省市：天津,12