一种基于柔性薄膜的MEMS执行器制造技术

本实用新型专利技术公开了一种基于柔性薄膜的MEMS执行器，构成包括透明基底(1)，透明基底(1)的中部设有铜线圈(2)，铜线圈(2)的两端分别连接有设置在透明基底上的导电片(3)，透明基底(1)的两侧经间隔层(4)设有硅衬底(7)，硅衬底(7)上设有一层柔性薄膜(5)，柔性薄膜(5)的内表面上设有一层磁性复合层(6)，磁性复合层(6)位于铜线圈(2)的上方。本实用新型专利技术具有优异的柔韧性和高断裂强度，大大增加了设备的稳定性和效能以及使用寿命。本实用新型专利技术还采用磁性复合层来替代永磁铁的使用，可以同时保证薄膜的柔性和磁力的强度，提高了实用性和便利性。

A kind of MEMS actuator based on flexible thin film

The utility model discloses a MEMS actuator based on a flexible film, comprising a transparent substrate (1), a copper wire ring (2) in the middle of the transparent substrate (1), and a conductive piece (3) arranged on the transparent substrate (3) at both ends of the copper wire ring (2), and a silicon substrate (7) on the two sides of the transparent substrate (4), and the silicon substrate (7). A flexible film (5) has a flexible layer (5), and a magnetic composite layer (6) is arranged on the inner surface of the flexible film (5), and the magnetic composite layer (6) is positioned above the copper coil (2). The utility model has excellent flexibility and high fracture strength, which greatly increases the stability, efficiency and service life of the equipment. The utility model also uses magnetic composite layer to replace the use of permanent magnet, and can ensure the flexibility of the film and the strength of magnetic force at the same time, and improve the practicality and convenience.

【技术实现步骤摘要】
一种基于柔性薄膜的MEMS执行器
本技术涉及一种MEMS执行器，特别是一种基于柔性薄膜的MEMS执行器。
技术介绍
随着微流控技术的发展，流体芯片实验室技术得到了广泛的研究。其中，为了将流体从储存腔体推送至外界系统，膜偏转执行器是微型流体泵送系统的重要部件之一，要求具有极高的位置精准性和灵活可控性。目前已经报道的用于流体泵送系统中，微执行器驱动动力源主要是基于压电式、电磁式、静电式和热气式的工作原理。其中利用电磁驱动的微型泵送系统由于低功耗和控制精准等特点得到了大量的开发利用。但是市场上主流泵送系统中使用的微执行器膜大都采用硅基板制成，众所周知，硅是脆性材料，具有较低的柔韧性和易断裂性。其次，直接将永磁体固定在硅基板下方，当施加其上的机械力过大时，硅基板经常会出现裂纹，甚至是断裂的危险。而且，此技术的组装工艺难度高，无疑也增加了制作成本。在设备的长期使用过程中，由于无法保证泵送系统的机械稳定性和可靠性，使命寿命和安全系数都大大降低。另一方面，永磁铁的直接使用虽然工序简单，但是磁铁太硬，影响薄膜的运动效果，而且磁铁和基板之间的粘性也会长久失效。
技术实现思路
本技术的目的在于，提供一种基于柔性本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基于柔性薄膜的MEMS执行器，其特征在于：包括透明基底(1)，透明基底(1)的中部设有铜线圈(2)，铜线圈(2)的两端分别连接有设置在透明基底上的导电片(3)，透明基底(1)的两侧经间隔层(4)设有硅衬底(7)，硅衬底(7)上设有一层柔性薄膜(5)，柔性薄膜(5)的内表面上设有一层磁性复合层(6)，磁性复合层(6)位于铜线圈(2)的上方。

【技术特征摘要】
1.一种基于柔性薄膜的MEMS执行器，其特征在于：包括透明基底(1)，透明基底(1)的中部设有铜线圈(2)，铜线圈(2)的两端分别连接有设置在透明基底上的导电片(3)，透明基底(1)的两侧经间隔层(4)设有硅衬底(7)，硅衬底(7)上设有一层柔性薄膜(5)，柔性薄膜(5)的内表面上设有一层磁性复合层(6)，磁性复合层(6)位于铜线圈(2)的上方。2.根据权利要求1所述的基于柔性薄膜的MEMS执行器，其特征在于：所述磁性复合层(6)包括聚合物薄膜层，聚合物薄膜层上设有磁性颗粒。3.根据权利要求1所述的基于柔性薄膜的MEMS执行器，其特征在于：所述铜线圈(2)和导电片(3)的厚度范围为100nm-200nm。4.根据权利要求1所述的基于柔性薄膜的MEMS执行器，其特征在于：所述硅衬底(7)上设有与磁性...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄继宝，钱金贵，冮建华，黄波，
申请(专利权)人：爱科赛智能科技台州有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江,33