The invention belongs to the technical field of electronic product production, in particular to an electronic product production process, including the following steps: 1) the wafer preparation: cleaning the wafer surface with a cleaning liquid; then blowing the wafer dry with a cold air; 2) the patch machine preparation; 3) the feed: the wafer is fixed in step 2) on the supporting plate of the patch machine; 4) positioning: 4) The mobile device in step 2) moves the support plate to the bottom of the flat air bag; 5) patch: stick a protective film on the upper surface of the wafer and continue to move the support plate to smooth the protective film in the rolling state; 6) cut off the excess protective film, that is, finishing the patch; 7) grind the grain after the patch. Rounded to 180 to 350um thickness; 8) tear film: tear off the protective film in step 2. The scheme can effectively prevent bubbles from falling between the protective film and the wafer during the placement process and reduce the defective rate of the wafer.
【技术实现步骤摘要】
电子产品生产工艺
本专利技术属于电子产品生产
,具体涉及一种电子产品生产工艺。
技术介绍
电子产品,是指供日常消费者生活使用的电子产品。它属于特定的家用电器,内有电子元件,通常会应用于娱乐、通讯以及文书用途,例如电话、音响器材、电视机、DVD播放机甚至电子钟等。芯片,又称微电路、微芯片、集成电路,是指内含集成电路的硅片,体积很小,是电子产品中最重要的部分,承担着运算和存储的功能。芯片制作的完整过程包括芯片设计、晶片制作、封装制作、成本测试等几个环节;其制作原材料为晶圆。晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片,由于其形状为圆形,故称为晶圆;在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构,而成为有特定电性功能之IC产品。实际生产过程中,需要对晶圆的背面进行研磨,俗称BackGrinding,从而将晶圆的厚度控制在微米级别的厚度范围内,这样最后制作出来的芯片才较薄,从而适应电子产品的生产需求。研磨的流程包括贴片、研磨和撕片,贴片是晶圆研磨前的辅助工序,即将晶圆正面的IC图案用特殊的保护膜(wafertape)贴上,确保在研磨晶圆背面的时候,保护正面的IC图案不会受到损坏;撕片即是将这层保护膜撕掉的过程。申请号为CN201220269074.1的中国专利公开了一种晶圆贴片机,包括晶圆存放机构、晶圆转移机构、晶圆贴片机构和晶圆传送机构,晶圆存放机构包括一晶圆盒,晶圆转移机构包括一金属提篮,晶圆贴片机构包括机台、设置在机台上的铁圈传送装置、铁圈和贴膜滚轮,在金属提篮的上方设置有离子枪。然而在现有的晶圆贴片设备中,经常会出现以下问题:贴片过程中多采用滑动摩擦的方式将保护 ...
【技术保护点】
1.电子产品生产工艺,其特征在于,包括以下步骤:1)晶圆准备:用清洗液清洗晶圆表面,所述清洗液包括氨水和双氧水,且NH3:H2O2:H2O的质量比为1:1~2:150~200;然后用冷风将晶圆吹干;2)贴片机准备:准备一种贴片机进行贴片,所述贴片机包括机架、移动机构和压平机构;所述移动机构包括支撑板、滑动齿条和用于使所述支撑板平移的移动器;所述支撑板上设有用于固定晶圆的固定部,且支撑板的两端分别连接一所述滑动齿条;所述滑动齿条与所述机架滑动连接;所述压平机构包括压平气囊和对称设在压平气囊两端的滚动单元,所述压平气囊表面设有若干凸起;所述滚动单元包括滚球、滚动齿轮和刚性连接部;所述滚球与所述压平气囊固定连接;所述滚动齿轮与所述滑动齿条啮合,且滚动齿轮与所述机架转动连接;所述刚性连接部一端与所述滚球连接,刚性连接部另一端与所述滚动齿轮连接;3)上料:将晶圆固定在步骤2)中的贴片机的支撑板上;4)定位:启动步骤2)中的移动器,将所述支撑板平移至压平气囊下方;5)贴片:在晶圆的上表面贴保护膜,同时继续平移支撑板,使压平气囊在滚动状态下压平保护膜;6)切割:将多余的保护膜切割掉,即完成贴片;7) ...
【技术特征摘要】
1.电子产品生产工艺,其特征在于,包括以下步骤:1)晶圆准备:用清洗液清洗晶圆表面,所述清洗液包括氨水和双氧水,且NH3:H2O2:H2O的质量比为1:1~2:150~200;然后用冷风将晶圆吹干;2)贴片机准备:准备一种贴片机进行贴片,所述贴片机包括机架、移动机构和压平机构;所述移动机构包括支撑板、滑动齿条和用于使所述支撑板平移的移动器;所述支撑板上设有用于固定晶圆的固定部,且支撑板的两端分别连接一所述滑动齿条;所述滑动齿条与所述机架滑动连接;所述压平机构包括压平气囊和对称设在压平气囊两端的滚动单元,所述压平气囊表面设有若干凸起;所述滚动单元包括滚球、滚动齿轮和刚性连接部;所述滚球与所述压平气囊固定连接;所述滚动齿轮与所述滑动齿条啮合,且滚动齿轮与所述机架转动连接;所述刚性连接部一端与所述滚球连接,刚性连接部另一端与所述滚动齿轮连接;3)上料:将晶圆固定在步骤2)中的贴片机的支撑板上;4)定位:启动步骤2)中的移动器,将所述支撑板平移至压平气囊下方;5)贴片:在晶圆的上表面贴保护膜,同时继续平移支撑板,使压平气囊在滚动状态下压平保护膜;6)切割:将多余的保...
【专利技术属性】
技术研发人员:廖洪清,
申请(专利权)人:重庆凯务电子商务有限公司,
类型:发明
国别省市:重庆,50
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