一种新型氮气干燥装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种新型氮气干燥装置，其包括罐体、盘管、翅片、换热管、上下支撑板构件，所述盘管直接放置在罐体底部，带有翅片的换热管放置在上下支撑板间固定，罐体上面采用快开盲板设计。氮气进口设置在盘管上方，氮气出口设置在快开盲板下方。本新型氮气干燥装置，设计科学合理，氮气处理量大，干燥效果好，相比其他氮气干燥处理方式更加环保、节能，能够广泛应用于工业氮气干燥领域。

A new type of nitrogen drying device

The utility model discloses a new type of nitrogen gas drying device, which comprises a tank, a coil, a fin, a heat transfer tube and a supporting plate member. The coil is directly placed at the bottom of the tank, and the heat transfer tube with the fin is fixed between the upper and lower support plates, and the tank body is designed with a fast open blind plate. The nitrogen inlet is arranged above the coil tube, and the nitrogen outlet is arranged below the quick opening blind plate. The new nitrogen drying device is scientifically and rationally designed, with large amount of nitrogen treatment and good drying effect. It is more environmental and energy saving compared with other nitrogen drying methods, and can be widely used in the field of industrial nitrogen drying.

【技术实现步骤摘要】
一种新型氮气干燥装置
本技术专利属于半导体生产，液体硅胶生产，以及需要使用干燥氮气的各个领域。
技术介绍
在半导体生产过程中扩散工艺是一件非常重要的工序，其中晶圆的扩散一般在扩散炉内完成，在这一过程中，需要对扩散炉内注入足够的氮气和氧气，保证扩散炉处于正压状态。该生产过程就需要干燥的氮气。其次在一些液体硅胶生产过程中同样需要干燥的氮气充入反应釜以作为保护气，同时干燥的氮气不会影响产品生产的质量。还有在制冷行业，制冷系统的压力试验也需要干燥的氮气，干燥的氮气可以防止制冷系统内部进入水蒸气，如果进入水蒸气会导致制冷系统结冰造成冰堵。所以，在工业生产中干燥氮气的使用领域是非常广泛的，而目前工业上氮气的干燥多采用分子筛或者干燥介质进行干燥，这两种方法成本高，污染大，与节能环保的方针相违背，本新型氮气干燥装置便能解决这些问题。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是提供一种氮气干燥装置，其采用罐体的方式，拥有干燥量大、冷凝速度快等优点，相比现有的氮气干燥装置来说成本较低，干燥效率高，操作简单，实用性强。为解决所述技术问题，本专利技术提供的技术方案如下：本技术专利公开了一种新型氮气干燥装置，其包括罐体、盘管、翅片、换热管、上下支撑板结构，所述盘管直接放置在罐体底部，同时盘管设置进出口，通过与外界的热流体相连接实现加热，防止结冰堵塞，所述支撑板焊接在罐体内壁用来支撑与固定板翅式换热装置在罐体内的位置，所述带有翅片的换热管放置在上下支撑板间固定，氮气进入罐体后，经过翅片板，翅片板的换热管通入经过制冷的乙二醇，当翅片板温度达到了水蒸气的冷凝点，氮气与翅片接触后，水蒸气发生冷凝，形成的液珠流入罐底排出罐外，并有部分液珠结冰附着在翅片上，经过冷凝脱水的氮气通过出口管道排出，整个罐体顶部采用快开法兰设计，便于罐体内部的维护和检修。本技术的进步效果在于：结构设计新颖合理，罐体的两用，既保持了冷凝空间又确保了析出的水蒸气的排放，其次方形翅片式换热装置的设计，既保证了很大的接触面积，又保证了冷凝效果，从而达到处理量大、干燥效率高的效果。最后就是罐底盘管的设计，对可能结冰的隐患做了充分的考虑，设计合理，确保了罐体工作的稳定性，适合处理量比较大的氮气干燥工作。附图说明：图1为本技术结构示意图图2为本技术支撑板结构图图3为本技术方形翅片换热装置的结构图图中：排污出口1、盘管2、氮气入口3、下支撑板4、换热管5、方形铝片6、上支撑板7、氮气出口8、快开法兰9。具体实施方式：本技术由以下实施例给出，下面结合附图对本技术作进一步描述。如图1所示：排污出口1设置在罐体底部，盘管2直接放置在罐体排污出口1上部，氮气入口设置在下支撑板4下方，罐体下部形成进气与排液一体的部分，同时在这一部分设置了盘管，能够对可能形成的冰水混合物进行升温融化，防止堵塞。罐体上部换热管5与方形铝片进行连接，固定在上支撑板7与下支撑板4之间，在上支撑板7上方设置氮气排出口8，罐体顶部采用快开法兰9。本技术中氮气通过进口进入干燥罐，通过下支撑板的开孔进入冷凝室，冷凝室中换热管接入乙二醇冷却剂，当氮气与冷却室内的翅片接触时，由于翅片温度低于水蒸气的凝固点，氮气中的水分析出，部分液体流入到罐体底部，部分结冰附着在铝翅片上，经过脱水的氮气通上支撑板孔离开冷凝室，再经过排出口输出。同时罐体上部的快开法兰便于整个罐体的开闭，便于维修与保养。本技术中排到罐体下部的液体中可能含有未融化的冰水混合物，通过设置在罐体下部的盘管进行加热融化防止冰塞，以保证罐体的正常排污。整个装置设计合理，干燥效果好，无污染并且操作简单，可以处理大批量的工业用氮气。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种新型氮气干燥装置，其特征在于：包括罐体、盘管、翅片、换热管、上下支撑板等构件，所述盘管直接放置在罐体底部，翅片与换热管相连接并且固定在上下支撑板间，下支撑板与罐体内壁连接，将罐体分为上下部分。

【技术特征摘要】
1.一种新型氮气干燥装置，其特征在于：包括罐体、盘管、翅片、换热管、上下支撑板等构件，所述盘管直接放置在罐体底部，翅片与换热管相连接并且固定在上下支撑板间，下支撑板与罐体内壁连接，将罐体分为上下部分。2.根据权利要求书1所述的一种新型氮气干燥装置，其特征在于：罐体内支撑板下部放置盘管，盘管进出口设置在罐体下部，氮气...

【专利技术属性】
技术研发人员：常学平，谢超，陈永森，
申请(专利权)人：西南石油大学，
类型：新型
国别省市：四川,51