The invention provides a dust collecting device, which includes a dust collection device, a first pipe and a two pipe. The entrance of the first pipe is connected with a production equipment, the exit of the first pipe is connected with the dust collection device, the entrance of the second pipe and the dust collecting device, and the second pipe. The outlet of the channel is connected with the production equipment. The dust collecting device includes a shell, a dust collecting box, a filter and a negative pressure structure. The dust collector, filter, and negative pressure structure are located in the shell. The filter is located between the dust box and the negative pressure structure, and the outlet of the first pipe is located in the set. The inlet of the second pipes and the negative pressure structure are all positioned above the filter between the dust box and the filter. The dust collecting equipment can collect dust when the dust is not cooled. The dust collection efficiency is improved and the equipment shutdown is caused by the pipeline blocking and the negative pressure drop.
【技术实现步骤摘要】
集尘设备
本专利技术涉及柔性显示制造工艺领域,尤其涉及一种集尘设备。
技术介绍
现有的AMOLED和柔性制程设备,例如,含有特气制程的等离子增强化学气相沉积机(PECVD)、OLED及柔性封装机(ALD&TFE)等设备生产时会产生大量的粉尘类副产物,这些粉尘类副产物冷却后会凝结粘附在粉尘排气管路的侧壁,造成管路负压不足或堵塞管路,因此,需要定期对粉尘排气管路进行保养清理;现有的保养清理方法主要依赖在厂务端安装大型集尘设备,通过大型集尘设备产生负压抽走粉尘后到厂务端再收集处理,这种保养清理方法的缺点在于厂务端的大型集尘设备距离生产设备端较远,粉尘排放输送不理想,收集效率也不高,粉尘易于在排气中间段管路即已冷却而凝结,造成管路堵塞、负压下降而引起设备停机,且管路中残留的粉尘不易清洁,堵管后需停机维护,从而影响设备运行时间、降低产能。
技术实现思路
为了解决现有技术的不足,本专利技术提供一种集尘设备,能够在灰尘未冷却时对灰尘进行收集,提升了灰尘收集效率,避免了造成管道堵塞、负压下降而引起设备停机。本专利技术提出的具体技术方案为:提供一种集尘设备,所述集尘设备包括灰尘收集装置、第一管道及第二管道,所述第一管道的入口与生产设备连接,所述第一管道的出口与所述灰尘收集装置连接,所述第二管道的入口与所述灰尘收集装置,所述第二管道的出口与所述生产设备连接,所述灰尘收集装置包括外壳、集尘箱、过滤器及负压结构,所述集尘箱、过滤器、负压结构均位于所述外壳内,所述过滤器位于所述集尘箱与所述负压结构之间,所述第一管道的出口位于所述集尘箱与所述过滤器之间,所述第二管道的入口及所述负 ...
【技术保护点】
1.一种集尘设备,其特征在于,包括灰尘收集装置、第一管道及第二管道,所述第一管道的入口用于与生产设备连接,所述第一管道的出口与所述灰尘收集装置连接,所述第二管道的入口与所述灰尘收集装置连接,所述第二管道的出口用于与所述生产设备连接,所述灰尘收集装置包括外壳、集尘箱、过滤器及负压结构,所述集尘箱、过滤器、负压结构均位于所述外壳内,所述过滤器位于所述集尘箱与所述负压结构之间,所述第一管道的出口位于所述集尘箱与所述过滤器之间,所述第二管道的入口及所述负压结构均位于所述过滤器的上方。
【技术特征摘要】
1.一种集尘设备,其特征在于,包括灰尘收集装置、第一管道及第二管道,所述第一管道的入口用于与生产设备连接,所述第一管道的出口与所述灰尘收集装置连接,所述第二管道的入口与所述灰尘收集装置连接,所述第二管道的出口用于与所述生产设备连接,所述灰尘收集装置包括外壳、集尘箱、过滤器及负压结构,所述集尘箱、过滤器、负压结构均位于所述外壳内,所述过滤器位于所述集尘箱与所述负压结构之间,所述第一管道的出口位于所述集尘箱与所述过滤器之间,所述第二管道的入口及所述负压结构均位于所述过滤器的上方。2.根据权利要求1所述的集尘设备,其特征在于,所述过滤器包括固定于所述外壳上的外框及装设于所述外框上的滤网。3.根据权利要求1所述的集尘设备,其特征在于,所述灰尘收集装置还包括吹气结构,所述吹气结构设于所述集尘箱与所述过滤器之间。4.根据权利要求3所述的集尘设备,其特征在于,所述吹气结构设于所述第一管道的...
【专利技术属性】
技术研发人员:刘干,
申请(专利权)人:武汉华星光电半导体显示技术有限公司,
类型:发明
国别省市:湖北,42
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