干式蚀刻机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种干式蚀刻机。干式蚀刻机包括电机、固定在电机的输出轴上的联轴器、固定在传动轴上的可变电容和传感器。传感器位于可变电容及联轴器之间，传感器用于在电机工作时检测传动轴是否转动，并在传动轴停止转动时输出联轴器断裂信号。本实用新型专利技术的干式蚀刻机中，当联轴器出现断裂等故障时，联轴器无法传递扭矩，从而无法带动传动轴转动，传感器在传动轴停止转动时输出联轴器断裂信号，如此，这样可以提醒用户及时更换联轴器以使得干式蚀刻机能正常运行。

【技术实现步骤摘要】
干式蚀刻机
本技术涉及蚀刻
，尤其涉及一种干式蚀刻机。
技术介绍
在相关技术中，干式蚀刻机内的电机与可变电容之间连接的联轴器容易出现老化断裂等故障，导致联轴器无法传递扭矩，从而导致干式蚀刻机无法正常运行。
技术实现思路
本技术旨在至少解决相关技术中存在的技术问题之一。为此，本技术提供一种干式蚀刻机。本技术实施方式的干式蚀刻机包括：电机；固定在所述电机的输出轴上的联轴器；固定连接所述联轴器的传动轴；固定在所述传动轴上的可变电容；和传感器，所述传感器位于所述可变电容及所述联轴器之间，所述传感器用于在所述电机工作时检测所述传动轴是否转动，并在所述传动轴停止转动时输出联轴器断裂信号。本技术的干式蚀刻机中，当联轴器出现断裂等故障时，联轴器无法传递扭矩，从而无法带动传动轴转动，传感器在电机工作且传动轴停止转动时输出联轴器断裂信号，如此，这样可以提醒用户及时更换联轴器以使得干式蚀刻机能正常运行。在某些实施方式中，所述联轴器包括：与所述输出轴固定连接的第一联轴件；与所述第一联轴件同轴设置的第二联轴件，所述第二联轴件固定连接所述传动轴；和连接所述第一联轴件及所述第二联轴件的弹性件，所述弹性件可沿所述输出轴的轴向产生弹性变形。在某些实施方式中，所述弹性件包括弹簧。在某些实施方式中，所述可变电容包括：靠近所述联轴器的第一电极板，所述第一电极板与所述传动轴固定连接；和与所述第一电极板相对的第二电极板，所述第二电极板位于所述第一电极板背向所述联轴器的一侧，所述第一电极板在所述弹性件沿所述输出轴的轴向产生弹性变形时相对所述第二电极板移动。在某些实施方式中，所述干式蚀刻机包括套设在所述传动轴上的调节元件，所述调节元件用于调节所述第一电极板与所述第二电极板之间的预定距离。在某些实施方式中，所述调节元件形成有内螺纹，所述传动轴形成有与所述内螺纹配合连接的外螺纹，所述调节元件通过所述内螺纹与所述外螺纹配合以调节所述预定距离。在某些实施方式中，所述传感器包括：固定部；位于所述固定部内且可相对于所述固定部转动的活动部，所述活动部固定在所述传动轴上，所述固定部用于在所述活动部停止转动时输出所述联轴器断裂信号。在某些实施方式中，所述固定部包括光源、透镜、光栏板及光电元件，所述活动部包括光电码盘，所述光电码盘固定在所述传动轴上，所述透镜、所述光栏板、所述光电码盘和所述光电元件沿所述光源的出光光路依次设置。在某些实施方式中，所述干式蚀刻机包括与所述传感器连接的报警器，所述报警器用于根据所述联轴器断裂信号报警。在某些实施方式中，所述干式蚀刻机包括线圈，所述线圈连接所述可变电容，所述线圈随着所述可变电容的电容值变化产生可变电场。本技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本技术的实践了解到。附图说明本技术的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施方式的描述中将变得明显和容易理解，其中：图1是本技术实施方式的干式蚀刻机的结构示意图。图2是本技术实施方式的联轴器的剖面示意图。图3是本技术实施方式的联轴器的俯视示意图。图4是本技术实施方式的增量式旋转编码器的结构示意图。主要元件符号说明：干式蚀刻机100、电机10、输出轴12、联轴器20、第一联轴件22、第二联轴件24、弹性件26、弹簧262、传动轴30、可变电容40、第一电极板42、第二电极板44、传感器50、固定部52、活动部54、增量式旋转编码器56、光源561、透镜563、光栏板565、光电码盘567、光电元件569、调节元件60、线圈70。具体实施方式下面详细描述本技术的实施方式，所述实施方式的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施方式是示例性的，仅用于解释本技术，而不能理解为对本技术的限制。在本技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个所述特征。在本技术的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接或可以相互通讯；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。在本技术中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。下文的公开提供了许多不同的实施方式或例子用来实现本技术的不同结构。为了简化本技术的公开，下文中对特定例子的部件和设置进行描述。当然，它们仅仅为示例，并且目的不在于限制本技术。此外，本技术可以在不同例子中重复参考数字和/或参考字母，这种重复是为了简化和清楚的目的，其本身不指示所讨论各种实施方式和/或设置之间的关系。此外，本技术提供了的各种特定的工艺和材料的例子，但是本领域普通技术人员可以意识到其他工艺的应用和/或其他材料的使用。请参阅图1，本技术实施方式提供一种干式蚀刻机100。干式蚀刻机100包括电机10、固定在电机10的输出轴12上的联轴器20、固定连接联轴器20的传动轴30、固定在传动轴30上的可变电容40和传感器50。传感器50位于可变电容40及联轴器20之间。传感器50用于在电机10工作时检测传动轴30是否转动，并在传动轴30停止转动时输出联轴器断裂信号。本技术的干式蚀刻机100中，当联轴器20出现断裂等故障时，联轴器20无法传递扭矩，从而无法带动传动轴30转动，传感器50在传动轴30停止转动时输出联轴器断裂信号，如此，这样可以提醒用户及时更换联轴器20以使得干式蚀刻机100能正常运行。可以理解，由于传动轴30的强度与刚度均比联轴器20的强度与刚度强，也就是说，在同等条件的外力作用下，传动轴30抵抗断裂的能力比联轴器20强，使用寿命也比联轴器20长。因此，传感器50在电机10工作时检本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种干式蚀刻机，其特征在于，包括：电机；固定在所述电机的输出轴上的联轴器；固定连接所述联轴器的传动轴；固定在所述传动轴上的可变电容；和传感器，所述传感器位于所述可变电容及所述联轴器之间，所述传感器用于在所述电机工作时检测所述传动轴是否转动，并在所述传动轴停止转动时输出联轴器断裂信号。

【技术特征摘要】
1.一种干式蚀刻机，其特征在于，包括：电机；固定在所述电机的输出轴上的联轴器；固定连接所述联轴器的传动轴；固定在所述传动轴上的可变电容；和传感器，所述传感器位于所述可变电容及所述联轴器之间，所述传感器用于在所述电机工作时检测所述传动轴是否转动，并在所述传动轴停止转动时输出联轴器断裂信号。2.如权利要求1所述的干式蚀刻机，其特征在于，所述联轴器包括：与所述输出轴固定连接的第一联轴件；与所述第一联轴件同轴设置的第二联轴件，所述第二联轴件固定连接所述传动轴；和连接所述第一联轴件及所述第二联轴件的弹性件，所述弹性件可沿所述输出轴的轴向产生弹性变形。3.如权利要求2所述的干式蚀刻机，其特征在于，所述弹性件包括弹簧。4.如权利要求2所述的干式蚀刻机，其特征在于，所述可变电容包括：靠近所述联轴器的第一电极板，所述第一电极板与所述传动轴固定连接；和与所述第一电极板相对的第二电极板，所述第二电极板位于所述第一电极板背向所述联轴器的一侧，所述第一电极板在所述弹性件沿所述输出轴的轴向产生弹性变形时相对所述第二电极板移动。5.如权利要求4所述的干式蚀刻机，其特征在于，所述干式蚀刻机包括套设在...

【专利技术属性】
技术研发人员：王雪刚，寇鸿斌，喻如军，
申请(专利权)人：深圳市柔宇科技有限公司，
类型：新型
国别省市：广东,44