温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开了一种干式蚀刻机。干式蚀刻机包括电机、固定在电机的输出轴上的联轴器、固定在传动轴上的可变电容和传感器。传感器位于可变电容及联轴器之间，传感器用于在电机工作时检测传动轴是否转动，并在传动轴停止转动时输出联轴器断裂信号。本实用新型...
该专利属于深圳市柔宇科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市柔宇科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。