一种用于电子辐照加速器的真空抽气装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开一种用于电子辐照加速器的真空抽气装置，包括：分子泵、离子泵、真空室，本实用新型专利技术通过提前对真空室内抽真空，当电子加速器内的真空度不足时，打开第三真空阀使得真空室和电子加速器形成一个腔室，刚打开第三真空阀时真空室和电子加速器两者之间存在真空度差，电子加速器内的气体会进入真空室进而提升电子加速器的真空度。

【技术实现步骤摘要】
一种用于电子辐照加速器的真空抽气装置
本技术涉及一种真空抽气装置，特别涉及一种用于电子辐照加速器的真空抽气装置。
技术介绍
辐照加工系统是一种利用高能电子束对物品进行辐照消毒、杀虫、灭菌、保鲜处理、材料改性或者降解的加工，使物品中的有害、细菌、微生物受损致死或不育，是有机物的材料改性或者降解。通过对不同货物的辐照处理，保证食品的安全和延长食品的保鲜期，杀灭医疗卫生用品、化妆品等货物中的细菌。随着辐照系统在各行各业的应用，对辐照系统也提出了越来越高的要求，辐照系统的加速器是辐照质量的关键，而加速器的真空度决定了加速器工作质量，现有加速器在工作一段时间后真空度达不到要求会直接降低了辐照的质量，需要停机重新抽真空浪费时间降低了工作效率。
技术实现思路
本技术针对现有技术的不足，提供一种可快速重新抽真空的装置。本技术通过以下技术手段实现解决上述技术问题的：一种用于电子辐照加速器的真空抽气装置，包括：分子泵、离子泵、真空室，所述真空室两侧通过管道分别连接第二真空阀和第三真空阀，其中第三真空阀与三通连接；所述第二真空阀前端设有四通；所述四通其中两个接口分别通过管道连接分子泵和离子泵，其中分子泵设有前级泵；所述四通的剩余一个接口通过管道与第一真空阀连接，其中第一真空阀通过管道与三通连接；所述三通的另一个接口通过管道与电子加速器连接。本技术通过提前对真空室内抽真空，当电子加速器内的真空度不足时，打开第三真空阀使得真空室和电子加速器形成一个腔室，刚打开第三真空阀时真空室和电子加速器两者之间存在真空度差，电子加速器内的气体会进入真空室进而提升电子加速器的真空度。本技术进一步优化在于：所述真空室设有真空表，用于观察真空室内的真空度。本技术进一步优化在于：所述真空室内部竖直设有滤油网，分子泵在工作时会产生油蒸汽，滤油网会使电子加速器的环境更加清洁。本技术进一步优化在于：所述真空室底部设有排污口，用于排出腔室内的油污。本技术进一步优化在于：所述离子泵为三极溅射离子泵。本技术进一步优化在于：真空室的容积大于电子加速器的体积，真空室的容积越大，用于提升电子加速器的次数越多。通过上述技术方案实现可快速重新抽真空的要求，相比于现有技术方案本技术还提升了电子加速器内的环境，对辐照质量具有提升作用等优点。附图说明图1为一种用于电子辐照加速器的真空抽气装置的结构示意图；具体实施方式为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。如图1所示的一种用于电子辐照加速器的真空抽气装置，包括分子泵、离子泵14、真空室1，所述真空室1两侧通过管道分别连接第二真空阀7和第三真空阀8，其中第三真空阀8与三通4连接；所述第二真空阀7前端设有四通5；所述四通5其中两个接口分别通过管道2连接分子泵9和离子泵14，其中分子泵9设有前级泵10；所述四通5的剩余一个接口通过管道2与第一真空阀6连接，其中第一真空阀6通过管道2与三通4连接；所述三通4的另一个接口通过管道2与电子加速器3连接。本技术在初次启动时，分子泵9启动，第一真空阀6打开，第二真空阀7和第三真空阀8关闭使得分子泵9直接抽离电子加速器3中的空气，当分子泵9工作一段时间后电子加速器3中真空度达到10Pa是，离子泵14介入工作继续提升真空度；当空气电子加速器3中的真空度达到10-4Pa，第一真空阀6关闭，使得电子加速器3内成为封闭的真空环境，当电子加速器3工作时，第一真空阀6和第三真空阀8关闭，第二真空阀7打开，分子泵9和离子泵14继续对真空室1抽真空，当真空室1内的真空度达到10-6Pa的时，离子泵14和分子泵9均进入待机状态；当电子加速器3的真空度出现不足时，第三真空阀8打开，使得真空室1和电子加速器3形成一个腔室，但刚打开第三真空阀8时真空室1和电子加速器3两者之间存在真空度差，电子加速器3内的气体进入真空室1进而提升电子加速器3的真空度，当空室内的真空度高于10-4Pa时需要真空室1再次进行抽真空，以备下次使用。在有些实施例中，所述真空室1设有真空表12，用于观察真空室1内的真空度。在有些实施例中，所述真空室1内部竖直设有滤油网11，分子泵9在工作时会产生油蒸汽，滤油网11会使电子加速器3的环境更加清洁。在有些实施例中，所述真空室1底部设有排污口13，用于排出腔室内的油污，通常情况下为封闭状态。在有些实施例中，所述离子泵14为三极溅射离子泵。在有些实施例中，真空室1的容积大于电子加速器3的体积，真空室1的容积越大，用于提升电子加速器3真空度的次数越多。以上实施例仅用以说明本技术的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本技术进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本技术各实施例技术方案的精神和范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于电子辐照加速器的真空抽气装置，包括：分子泵、离子泵、真空室，其特征在于：所述真空室两侧通过管道分别连接第二真空阀和第三真空阀，其中第三真空阀与三通连接；所述第二真空阀前端设有四通；所述四通其中两个接口分别通过管道连接分子泵和离子泵；所述四通的剩余一个接口通过管道与第一真空阀连接，其中第一真空阀通过管道与三通连接；所述三通的另一个接口通过管道与电子加速器连接。

【技术特征摘要】
1.一种用于电子辐照加速器的真空抽气装置，包括：分子泵、离子泵、真空室，其特征在于：所述真空室两侧通过管道分别连接第二真空阀和第三真空阀，其中第三真空阀与三通连接；所述第二真空阀前端设有四通；所述四通其中两个接口分别通过管道连接分子泵和离子泵；所述四通的剩余一个接口通过管道与第一真空阀连接，其中第一真空阀通过管道与三通连接；所述三通的另一个接口通过管道与电子加速器连接。2.根据权利要求1所述的一种用于电子辐照加速器的真空抽气装置，其特征...

【专利技术属性】
技术研发人员：邹伟权，
申请(专利权)人：江门华大生物科技有限公司，
类型：新型
国别省市：广东,44