下载一种用于电子辐照加速器的真空抽气装置的技术资料

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本实用新型公开一种用于电子辐照加速器的真空抽气装置,包括:分子泵、离子泵、真空室,本实用新型通过提前对真空室内抽真空,当电子加速器内的真空度不足时,打开第三真空阀使得真空室和电子加速器形成一个腔室,刚打开第三真空阀时真空室和电子加速器两者之...
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