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一种用于电子辐照加速器的真空抽气装置制造方法及图纸
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下载一种用于电子辐照加速器的真空抽气装置的技术资料
文档序号:18178439
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本实用新型公开一种用于电子辐照加速器的真空抽气装置,包括:分子泵、离子泵、真空室,本实用新型通过提前对真空室内抽真空,当电子加速器内的真空度不足时,打开第三真空阀使得真空室和电子加速器形成一个腔室,刚打开第三真空阀时真空室和电子加速器两者之...
该专利属于江门华大生物科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江门华大生物科技有限公司授权不得商用。
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