一种对半导体材料进行静电测试的设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种对半导体材料进行静电测试的设备，包括静电发生装置，用于模拟产生不同模式的静电，并释放给被测试对象；电源盒，包括开关电源与DC‑DC高压电源，所述开关电源用于为设备供电，所述DC‑DC高压电源用于模拟产生静电提供高压；上位机平台，用于和静电发生装置通讯兵调控整个设备的运行；线缆，包括供电线、通讯线、高压输出控制线以及高压输出线。本实用新型专利技术克服了流水线使用静电测试比较繁琐的问题，可应用于流水线生产，增加了静电测试设备的可移植性和便利性，同时相对节约生产成本，降低行业成本，保证测试的精准度和流水生产的速度。

【技术实现步骤摘要】
一种对半导体材料进行静电测试的设备
本技术涉及静电测试设备，尤其涉及了一种对半导体材料进行静电测试的设备。
技术介绍
近年来，半导体行业越来越多的企业开始注重产品的防静电性能，以防第三方用户在使用半导体材料时，因为人体或者机械的静电导致亚健康的半导体材料损坏。半导体企业希望材料在出厂之前就能像电学、光学参数测试剔除不良品一样对材料进行加静电测试，剔除防静电性能差的材料。目前已有的静电测试设备，如静电枪等，应用范围窄，并不利于流水线的使用；而其他的一些静电测试设备，大多基于PCI和ISA通讯协议，不便于一套静电测试设备与多套其他测试设备（如光学、电学测试）的组合，并且成本相对较高。
技术实现思路
针对现有技术存在的不足，本技术的目的就在于提供了一种对半导体材料进行静电测试的设备，克服了流水线使用静电测试比较繁琐的问题，可应用于流水线生产，增加了静电测试设备的可移植性和便利性，同时相对节约生产成本，降低行业成本，保证测试的精准度和流水生产的速度。为了实现上述目的，本技术采用的技术方案是这样的：一种对半导体材料进行静电测试的设备，包括静电发生装置，用于模拟产生不同模式的静电，并释放给被测试对象；电源盒，包括开关电源与DC-DC高压电源，所述开关电源用于为设备供电，所述DC-DC高压电源用于模拟产生静电提供高压；上位机平台，用于和静电发生装置通讯兵调控整个设备的运行；线缆，包括供电线、通讯线、高压输出控制线以及高压输出线；其中，所述供电线用于连接静电发生装置与电源盒，所述通讯线用于连接静电发生装置与上位机平台，所述高压输出控制线用于连接静电发生装置与电源盒的高压输出值控制端，所述高压输出线用于连接电源盒的高压输出端与静电发生装置的高压输入端。作为一种优选方案，所述静电发生装置包括静电产生释放模块、通讯模块以及控制模块，所述通讯模块用于连接控制模块与上位机平台，所述控制模块用于控制运行静电产生释放模块。作为一种优选方案，所述静电产生释放模块分为两部分，其中一部分用于产生对应上位机平台设定电压值的静电，另一部分用于对被测试对象释放静电。作为一种优选方案，所述通讯模块用于实现控制模块与上位机平台之间的实时通讯和数据的传输。作为一种优选方案，所述通讯模块采用RS-485接口。作为一种优选方案，所述控制模块包括可编程逻辑器件、外围器件以及功能器件，且控制模块通过通讯模块接收上位机平台的参数设定和测试数据进行数据的处理，并传输给静电产生释放模块进行相应的静电测试。作为一种优选方案，所述电源盒输出的高压值由上位机平台与控制模块实现，在上位机平台上设定所需的高压值，由控制模块进行数据处理并对应输出0~5V的控制电压实现电源盒输出1~3000V。作为一种优选方案，所述上位机平台包括参数设置模块与运行模块，所述参数设置模块用于设置模拟静电测试的各项参数，所述运行模块用于进行模拟静电测试。与现有技术相比，本技术的有益效果：1.测试速度快，可自动连续测试，可配合其他半导体测试仪和机械搬运设备等一起使用，大大节约了使用流水线的生产时间，提高效率，释放的模拟静电测试的波形精度高；2.脱离了常规的PCI和ISA通讯协议，采用RS485通讯协议，使一套本技术的设备可以与多平台组合使用，不局限于PC公共机；也可以独立使用本技术的装置，无需依附于其他测试设备；3.较大幅度的节约了成本。附图说明图1是本技术的整体框架图。具体实施方式下面结合具体实施例对本技术作进一步描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本技术的技术方案，而不能以此来限制本技术的保护范围。实施例：如图1所示，一种对半导体材料进行静电测试的设备，包括静电发生装置，用于模拟产生不同模式的静电，并释放给被测试对象；电源盒，包括开关电源与DC-DC高压电源，所述开关电源用于为设备供电，所述DC-DC高压电源用于模拟产生静电提供高压；上位机平台，用于和静电发生装置通讯兵调控整个设备的运行；线缆，包括供电线、通讯线、高压输出控制线以及高压输出线；其中，所述供电线用于连接静电发生装置与电源盒，所述通讯线用于连接静电发生装置与上位机平台，所述高压输出控制线用于连接静电发生装置与电源盒的高压输出值控制端，所述高压输出线用于连接电源盒的高压输出端与静电发生装置的高压输入端。其中，所述电源盒用于为整套设备提供电源，保证系统的正常运行，所述静电发生装置可根据用户的要求，一键设置产生静电的模式，用于完成不同模式静电的产生和释放。具体的，所述静电发生装置包括静电产生释放模块、通讯模块以及控制模块，所述通讯模块用于连接控制模块与上位机平台，所述控制模块用于控制运行静电产生释放模块。更为具体的，所述静电发生装置具有强的抗干扰性和快的传输速度，并且上位机平台只做宏观调控和检测，整个测试流程不受外界因素干扰，静电发生装置在进行静电测试时，采用本领域的普通技术人员公知的芯片实现本技术的设备的功能，测试时间短，测试波形精度高，误差范围低于国际静电测试标准。具体的，所述静电产生释放模块分为两部分，其中一部分用于产生对应上位机平台设定电压值的静电，另一部分用于对被测试对象释放静电。更为具体的，静电产生释放模块的两部分在时序上不同时运行，由所述控制模块直接控制运行。具体的，所述通讯模块用于实现控制模块与上位机平台之间的实时通讯和数据的传输。更为具体的，所述通讯模块采用RS-485接口，遵循RS-485通讯协议。具体的，所述控制模块包括可编程逻辑器件、外围器件以及功能器件，且控制模块通过通讯模块接收上位机平台的参数设定和测试数据进行数据的处理，并传输给静电产生释放模块进行相应的静电测试。具体的，所述电源盒输出的高压值由上位机平台与控制模块实现，在上位机平台上设定所需的高压值，由控制模块进行数据处理并对应输出0~5V的控制电压实现电源盒输出1~3000V。更为具体的，所述电源盒具有稳定性和保护功能，电源盒的DC-DC高压电源部分具有低噪声，高稳定性，屏蔽性好（六面屏蔽）等优点，保证静电电压的精确度，同时具有拉弧保护和连续短路保护，保证用户和被测试对象不受损害和危险；其中，高压输出值可由上位机平台实时设定。进一步的，电源盒的开关电源部分给系统保持正常运行，具有短路保护，过载保护，过压保护等保护功能；低漏电流，最大漏电流仅为1mA。具体的，所述上位机平台包括参数设置模块与运行模块，所述参数设置模块用于设置模拟静电测试的各项参数，所述运行模块用于进行模拟静电测试。更为具体的，上位机平台基于PC和XP系统，用于设置和控制设备的运行，并可进行拓展，可使得静电发生装置和电学光学测试设备等其他设备组合使用。更为具体的，运行模块选择自动模式或者手动模式，进行被测试对象的自动或者手动测试，其中自动测试可搭配机械搬运，进行批量材料的自动测试。更为具体的，本技术的具体工作过程为：上位机平台设置好静电测试的方向通道和电学参数等，运行模块选择自动模式或者手动模式，上位机平台通过通讯线和通讯模块将所有的数据传送给控制模块，控制模块处理数据后控制静电产生释放模块进行充电、放电以及通道切换的功能；当一次测试完成后，控制模块通过通讯模块给上位机平台发送测试结束信号，上位机平台接收到信号后运行下一个测试项目并发本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种对半导体材料进行静电测试的设备，其特征在于：包括静电发生装置，用于模拟产生不同模式的静电，并释放给被测试对象；电源盒，包括开关电源与DC‑DC高压电源，所述开关电源用于为设备供电，所述DC‑DC高压电源用于模拟产生静电提供高压；上位机平台，用于和静电发生装置通讯兵调控整个设备的运行；线缆，包括供电线、通讯线、高压输出控制线以及高压输出线；其中，所述供电线用于连接静电发生装置与电源盒，所述通讯线用于连接静电发生装置与上位机平台，所述高压输出控制线用于连接静电发生装置与电源盒的高压输出值控制端，所述高压输出线用于连接电源盒的高压输出端与静电发生装置的高压输入端。

【技术特征摘要】
1.一种对半导体材料进行静电测试的设备，其特征在于：包括静电发生装置，用于模拟产生不同模式的静电，并释放给被测试对象；电源盒，包括开关电源与DC-DC高压电源，所述开关电源用于为设备供电，所述DC-DC高压电源用于模拟产生静电提供高压；上位机平台，用于和静电发生装置通讯兵调控整个设备的运行；线缆，包括供电线、通讯线、高压输出控制线以及高压输出线；其中，所述供电线用于连接静电发生装置与电源盒，所述通讯线用于连接静电发生装置与上位机平台，所述高压输出控制线用于连接静电发生装置与电源盒的高压输出值控制端，所述高压输出线用于连接电源盒的高压输出端与静电发生装置的高压输入端。2.根据权利要求1所述的一种对半导体材料进行静电测试的设备，其特征在于：所述静电发生装置包括静电产生释放模块、通讯模块以及控制模块，所述通讯模块用于连接控制模块与上位机平台，所述控制模块用于控制运行静电产生释放模块。3.根据权利要求2所述的一种对半导体材料进行静电测试的设备，其特征在于：所述静电产生释放模块分为两部分，其中一部分用于产生对应上位机平台设定电压值的静电，另一部分用...

【专利技术属性】
技术研发人员：王锋，钱卫东，曹贺，
申请(专利权)人：苏州索拉科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32