【技术实现步骤摘要】
本专利技术是一种，涉及金属材料的扩散处理领域。太阳能选择性吸收溅射涂层对太阳光谱具有强烈的吸收作用。它们大多是由红外线透过率高的外层和对红外线有高反射率，低发射率的金属膜层构成。目前，太阳能有选择性吸收溅射涂层的工艺方法，多是采用磁控溅射镀膜，材料主要是碳、氧金属化合物和氮金属化合物。常选用二种金属为溅射靶，一个靶子在工作时，另一个靶(阴极)需遮蔽。这样不仅生产效率低，设备成本高，而且工艺复杂。若选择用乙炔气体为反应气体，制备金属碳化物涂层，需高温环境且要求基体材料耐高温。本专利技术的目的就是在于克服了上述缺陷提出了一种新的。本专利技术的目的是这样实现的用氮加氧(或氮氧化合物)两种气体共同参加与铝阴极分子的反应，制成四层膜构成的对太阳能有选择性吸收溅射涂层。它对太阳能的吸收率α＞93%以上，反射率ε＜0.06%左右，使之形成了折射率较高的有干涉效果的太阳能吸收层和最外层的阳光防反射膜层。本专利技术的优点在于对太阳能的吸收率高，反射率小，成本低生产效率高，工艺方法简单，是太阳能选择性吸收溅射涂层的新突破。 附图说明图1是本专利技术涂层结构示意图。图中1是基体，...
【技术保护点】
一种太阳能选择性吸收溅射涂层及其工艺方法，其特征在于：用氮加氧两种气体做为溅射出铝靶（阴极）的分子的反应气体以氩气为背景气体，在基体上镀一层氧加氮及铝的底膜，厚度为８×１０↑［－９］ｍ，再在底膜镀一层纯铝，厚度大于０. １×１０↑［－６］ｍ的的红外线防反射膜，在其铝原子数的比值加入一定比例的氮加氧混合反应气体按经验公式从一个最值变到最大值，相对反应气体每一种流量对应一定的镀膜时间，从而形成了折射率较高的有干涉效果的太阳能吸收层和最外层的阳光防反射膜。
【技术特征摘要】
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