【技术实现步骤摘要】
一种常闭型压力开关及其制备方法
本专利技术涉及压力开关器件
,具体来说涉及一种常闭型压力开关,以及一种基于MEMS技术对该常闭型压力开关的制备方法。
技术介绍
压力开关器件广泛用于工业、农业、科研、建筑、航空航天、军事等领域中。但传统的压力开关,多是机械结构式,具有体积大、批量生产性低、一致性差、不易与后续电路集成的诸多问题,因此,如何开发出一种新型的压力开关器件,减少其体积,降低其成本,提高其一致性,使其能够与后继电路集成。是本领域技术人员需要研究的方向。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题是提供一种常闭型压力开关,用以满足市场上对减少体积、降低成本,提高一致性、能与后继电路集成的需求。其采用的具体技术方案如下:一种常闭型压力开关,包括:上电极体、下电极体、转接组件、底座、电缆和管帽;所述上电极体包括上电极基体、所述上电极基体的上表面和下表面设有金属化层;所述上电极基体的下表面还设有上键合面;所述上电极体上还设有贯穿上电极基体和金属化层、内壁金属化的引压孔;所述下电极体包括下电极基体;所述下电极基体包括固定外框、动触体和环状弹性梁;所述环状弹性梁介于固定外框和动触体之间;所述动触体的上端面及固定外框的下端面设有金属电极层;所述固定外框的上端面设有下键合面;所述上电极体和下电极体通过上键合面和下键合面的键合构成开关芯体;所述开关芯体与转接组件焊接为一体;所述转接组件固定于底座上;所述底座上设有电缆通孔;所述电缆伸入电缆通孔中、分别与上电极体和下电极体电连接;所述管帽安装于底座上,所述管帽上设有引压口。通过采用这种技术方案:下电极体的结构蕴含了预应力 ...
【技术保护点】
一种常闭型压力开关,其特征在于包括:上电极体(1)、下电极体(2)、转接组件(3)、底座(4)、电缆(5)和管帽(6);所述上电极体(1)包括上电极基体(11)、所述上电极基体(11)的上表面和下表面设有金属化层(12);所述上电极基体(11)的下表面还设有上键合面(13);所述上电极体(1)上还设有贯穿上电极基体(11)和金属化层(12)、内壁金属化的引压孔(14);所述下电极体(2)包括下电极基体(21);所述下电极基体(21)包括固定外框(211)、动触体(212)和环状弹性梁(213);所述环状弹性梁(213)介于固定外框(211)和动触体(212)之间;所述动触体(212)的上端面及固定外框(211)的下端面设有金属电极层(22);所述固定外框(211)的上端面设有下键合面(23);所述上电极体(1)和下电极体(2)通过上键合面(13)和下键合面(23)的键合构成开关芯体;所述开关芯体与转接组件(3)焊接为一体;所述转接组件(3)固定于底座(4)上;所述底座(4)上设有电缆通孔(41);所述电缆(5)伸入电缆通孔(41)中、分别与上电极体(1)和下电极体(2)电连接;所述管帽 ...
【技术特征摘要】
1.一种常闭型压力开关,其特征在于包括:上电极体(1)、下电极体(2)、转接组件(3)、底座(4)、电缆(5)和管帽(6);所述上电极体(1)包括上电极基体(11)、所述上电极基体(11)的上表面和下表面设有金属化层(12);所述上电极基体(11)的下表面还设有上键合面(13);所述上电极体(1)上还设有贯穿上电极基体(11)和金属化层(12)、内壁金属化的引压孔(14);所述下电极体(2)包括下电极基体(21);所述下电极基体(21)包括固定外框(211)、动触体(212)和环状弹性梁(213);所述环状弹性梁(213)介于固定外框(211)和动触体(212)之间;所述动触体(212)的上端面及固定外框(211)的下端面设有金属电极层(22);所述固定外框(211)的上端面设有下键合面(23);所述上电极体(1)和下电极体(2)通过上键合面(13)和下键合面(23)的键合构成开关芯体;所述开关芯体与转接组件(3)焊接为一体;所述转接组件(3)固定于底座(4)上;所述底座(4)上设有电缆通孔(41);所述电缆(5)伸入电缆通孔(41)中、分别与上电极体(1)和下电极体(2)电连接;所述管帽(6)安装于底座(4)上,所述管帽(6)上设有引压口(61)。2.如权利要求1所述一种常闭型压力开关,其特征在于:所述电缆(5)中设有导气管(51)。3.如权利要求1或2所述一种常闭型压力开关,其特征在于:所述转接组件(3)包括支撑体(31)、绝缘子(32)、绝缘层(33)、导电柱(34)和导流孔(35);所述绝缘层(33)设于支撑体(31)上表面;所述绝缘子(32)设于绝缘层(33)上;所述导电柱(34)依次贯穿支撑体(31)和绝缘层(33);所述导流孔(35)依次贯穿支撑体(31)和绝缘层(33);所述金属化层(12)和金属电极层(25)上皆连接内引线(7),所述内引线(7)穿过导电柱(34)连接至电缆(5)。4.如权利要求3所述一种常闭型压力开关,其特征在于:所述金属化层(12)和金属电极层(25)皆采用铝层、铜层、银层、金层、铂层中的任意一层。5.如权利要求3所述一种常闭型压力开...
【专利技术属性】
技术研发人员:顾玉兵,
申请(专利权)人:昆山汉唐传感技术有限公司,
类型:发明
国别省市:江苏,32
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