使用冷却器的循环液温度控制方法技术

一种使用冷却器的循环液温度控制方法，包括提供一循环回路，用于循环一制冷剂；提供一逆变器控制的压缩机，用于将制冷剂压缩到高压；提供一冷凝器，用于冷凝制冷剂；提供一电子膨胀阀用于降低制冷剂的压力；提供包括一热交换器的一制冷器单元；以及提供包括一循环液循环回路的至少一可远程控制及可参数控制的冷却器，用于供给被控制在预定温度的循环液至控制对象。预先划分循环液的预定温度为多个区域，且依据每一区域来参数化及设定逆变器控制的压缩机的一运作频率和电子膨胀阀的一开度。

【技术实现步骤摘要】
使用冷却器的循环液温度控制方法
本专利技术是有关于一种使用冷却器的循环液温度控制方法及其维护方法，用于控制例如半导体制造装置的各种装置和制程的温度，且特别是有关于一种通过网络来使用可远程控制及可参数控制的冷却器的循环液温度控制方法及其维护方法。
技术介绍
现有技术中，在半导体制造时，有必要控制每个步骤内的温度恒定。因此，冷却器通过循环循环液来控制液体温度。通常冷却器具有制冷器单元，用于控制循环液的温度以供给至制程及控制循环液的温度到预定温度。在制冷器单元中，当制冷剂在压缩机、冷凝器、膨胀阀和蒸发器之间循环时，通过制冷剂和从制程返回的循环液之间的热交换来进行温度控制。循环液的温度降低到所要求的温度或更低，之后，循环液通过加热器加热到所需的温度。此时，蚀刻半导体的制程例如是以聚合物、金属和氧化物的三种类为代表。由于每个制程所需要的循环液的温度是不同的，在现有的制冷器中，使用定速压缩机和机械式膨胀阀。不论循环液的设定温度，通过运作最大容量的压缩机，可最大化冷却器的冷却能力及冷却循环液。之后，通过加热器增加循环液的温度，以将循环液的温度增加至预定温度。然而，在半导体制造的许多制程中，冷却器的冷却能力可显著地超过需要的制冷容量，在这样的情况下，前述现有的方法中，循环液被冷却到比所需的冷却温度显著低的温度。循环液被过度冷却，接着，循环液被过度加热，从而导致能量的浪费。因此，近年来，致力于节能，以避免前述情形。此外，如上所述，现有的制冷器所使用的恒速压缩机不能被精细地调整，因为恒速压缩机的运作频率是恒定的且其容量是固定的。另外，由于现有的制冷器所使用的膨胀阀是机械式的且其开度及容量是固定的，因此如压缩机一样，不能被精细地调整。因此，现有的制冷器无法以原有的能力适应环境的变化等，通常通过更换冷却器来适应环境的变化等，导致成本的增加。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2015-59726号公报专利文献2：日本特开2013-20509号公报专利文献3：日本特开2011-114279号公报专利文献4：日本特开2003-148852号公报
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种使用冷却器的循环液温度控制方法，容易进行冷却器的调整和维护。为实现上述目的，本专利技术的实施例提供一种使用冷却器的循环液温度控制方法，用于通过循环一循环液到需要温度控制的一控制对象以保持该控制对象于一预定温度，包括：提供一循环回路，用于循环一制冷剂；提供设置在该循环回路内的一逆变器控制的压缩机，用于将气化的该制冷剂压缩到高压；提供一冷凝器，用于通过热交换以冷凝被该逆变器控制的压缩机压缩到高压的该制冷剂；提供一电子膨胀阀，用于降低在该冷凝器中液化的该制冷剂的压力；提供包括一热交换器的一制冷器单元，用于通过热交换将被该电子膨胀阀降低压力的该制冷剂转化为气体；以及提供至少一能够远程控制及能够参数控制的冷却器，该至少一能够远程控制及能够参数控制的冷却器包括一循环液循环回路，使用该至少一能够远程控制及能够参数控制的冷却器以用于循环在该制冷器单元及该控制对象之间的该循环液以及供给被控制在该预定温度的该循环液至该控制对象，其中预先划分该循环液的该预定温度为多个区域，且依据每一该区域来参数化及设定该逆变器控制的压缩机的一运作频率和该电子膨胀阀的一开度，操作该制冷器单元，在该热交换器中调整该循环液到该预定温度，通过该循环液循环回路及根据一预定参数调整该逆变器控制的压缩机的该运作频率和该电子膨胀阀的该开度以循环该循环液到该控制对象，通过网络将该至少一能够远程控制及能够参数控制的冷却器连接到一操作终端或使该至少一能够远程控制及能够参数控制的冷却器为可连接状态，当该至少一能够远程控制及能够参数控制的冷却器的一运作环境改变而需要改变该预定参数时，在该操作终端中，改变该逆变器控制的压缩机的该运作频率和该电子膨胀阀的该开度的该预定参数。进一步的，多个能够远程控制及能够参数控制的冷却器连接到该操作终端，且该操作终端能够控制该多个能够远程控制及能够参数控制的冷却器。进一步的，该至少一能够远程控制及能够参数控制的冷却器包括一第二热交换器及一第二循环液循环回路，该第二热交换器用于将设置在该制冷器单元内且将被供给至该控制对象的该循环液控制于该预定温度，该第二循环液循环回路用于循环该循环液于该第二热交换器与控制对象之间以及用于供给被控制在该预定温度的该循环液至该控制对象。在本专利技术之一实施例中，使用可远程控制及可参数控制的冷却器的循环液温度控制方法及维护方法中，使用具有逆变器控制的压缩机和电子膨胀阀的特定区域的参数控制型冷却器，循环液的设定温度被预先划分为多个区域。在循环液的温度控制方法及维护方法中使用特定区域的参数控制型冷却器，根据各区域中，压缩机的运作频率及电子膨胀阀的开度被参数化及预先按照每个区域设定。通过网络使冷却器连接到操作终端或使冷却器为能连接的状态，参数在操作终端改变时，有必要改变压缩机的运作频率和电子膨胀阀的开度参数以适应冷却器的运作环境的改变。在循环液的温度控制方法中，使用特定区域的参数控制型冷却器，当设置或改变压缩机的运作频率和电子膨胀阀的开度时，有必要手动或自动设定冷却器。因此，当安装大量的冷却器及改变参数值时，也可以指出运作上的问题点。如上所述，根据本专利技术的实施例，本专利技术人提出了一种使用区域控制及参数控制类型的冷却器的循环液的温度控制方法。结果，即使因环境变化等，冷却器的冷却能力下降或类似的情况发生，也无需更换冷却器。由于冷却器可以远程控制，因此没有必要前往冷却器被安装用于维护的地点，因此能够减少人事费。意即，根据本专利技术人提出的循环液的温度调整的方法，压缩机的运作频率与电子膨胀阀的开度被参数化并预先按照预先划分的区域设定，冷却器的冷却能力可以通过改变参数设定值来改变。因此，即使因冷却器的运作环境改变时，而不能以预先设定的参数值取得的循环液的目标温度，例如在室温下的变化。冷却器能够应对参数校正，而无需更换制冷机，以显著地降低成本。附图说明图1为本专利技术一实施例的使用可远程控制及可参数控制的冷却器的循环液温度控制方法及其维护方法的示意图。图2为本专利技术一实施例的使用可远程控制及可参数控制的冷却器的循环液温度控制方法及其维护方法中的特定区域参数控制型的冷却器的结构方块图。其中，附图标记：1冷却器2制冷器单元3循环回路4压缩机5冷凝器6电子膨胀阀7热交换器(蒸发器)8冷却水循环回路801冷却水供给通道802冷却水返回通道9循环液循环回路901循环液供给通道902循环液返回通道903加热器904泵11热气体供给通道12电子膨胀阀13冷却制冷剂供给通道14电子膨胀阀15第二热交换器16第二冷水循环回路1601第二冷水供给通道1602第二冷却水回路17第二循环液循环回路1701第二循环液供给通道1702第二循环液返回通道18a、18a、18a、18d电磁阀19控制阀20循环液槽21浮子开关22电磁阀23压力传感器24温度传感器25压力传感器26排水阀27控制装置31路由器32冷却器终端33操作终端34网络具体实施方式根据本专利技术的实施例中，远程控制的循环液的温度控制方法和维护方法中，使用特定区域的参数控制型冷却器，且冷却器包括制冷器单元、在制冷器单元和控制对象之间循环的循环液、以及循本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种使用冷却器的循环液温度控制方法，其特征在于，用于通过循环一循环液到需要温度控制的一控制对象以保持该控制对象于一预定温度，包括：提供一循环回路，用于循环一制冷剂；提供设置在该循环回路内的一逆变器控制的压缩机，用于将气化的该制冷剂压缩到高压；提供一冷凝器，用于通过热交换以冷凝被该逆变器控制的压缩机压缩到高压的该制冷剂；提供一电子膨胀阀，用于降低在该冷凝器中液化的该制冷剂的压力；提供包括一热交换器的一制冷器单元，用于通过热交换将被该电子膨胀阀降低压力的该制冷剂转化为气体；以及提供至少一能够远程控制及能够参数控制的冷却器，该至少一能够远程控制及能够参数控制的冷却器包括一循环液循环回路，使用该至少一能够远程控制及能够参数控制的冷却器以用于循环在该制冷器单元及该控制对象之间的该循环液以及供给被控制在该预定温度的该循环液至该控制对象，其中预先划分该循环液的该预定温度为多个区域，且依据每一该区域来参数化及设定该逆变器控制的压缩机的一运作频率和该电子膨胀阀的一开度，操作该制冷器单元，在该热交换器中调整该循环液到该预定温度，通过该循环液循环回路及根据一预定参数调整该逆变器控制的压缩机的该运作频率和该电子膨胀阀的该开度以循环该循环液到该控制对象，通过网络将该至少一能够远程控制及能够参数控制的冷却器连接到一操作终端或使该至少一能够远程控制及能够参数控制的冷却器为可连接状态，当该至少一能够远程控制及能够参数控制的冷却器的一运作环境改变而需要改变该预定参数时，在该操作终端中，改变该逆变器控制的压缩机的该运作频率和该电子膨胀阀的该开度的该预定参数。...

【技术特征摘要】
2016.11.08 JP 2016-2184621.一种使用冷却器的循环液温度控制方法，其特征在于，用于通过循环一循环液到需要温度控制的一控制对象以保持该控制对象于一预定温度，包括：提供一循环回路，用于循环一制冷剂；提供设置在该循环回路内的一逆变器控制的压缩机，用于将气化的该制冷剂压缩到高压；提供一冷凝器，用于通过热交换以冷凝被该逆变器控制的压缩机压缩到高压的该制冷剂；提供一电子膨胀阀，用于降低在该冷凝器中液化的该制冷剂的压力；提供包括一热交换器的一制冷器单元，用于通过热交换将被该电子膨胀阀降低压力的该制冷剂转化为气体；以及提供至少一能够远程控制及能够参数控制的冷却器，该至少一能够远程控制及能够参数控制的冷却器包括一循环液循环回路，使用该至少一能够远程控制及能够参数控制的冷却器以用于循环在该制冷器单元及该控制对象之间的该循环液以及供给被控制在该预定温度的该循环液至该控制对象，其中预先划分该循环液的该预定温度为多个区域，且依据每一该区域来参数化及设定该逆变器控制的压缩机的一运作频率和该电子膨胀阀的一开度，操作该制冷器单元，在该热交换器中...

【专利技术属性】
技术研发人员：酒井豊，谷口啓旨，
申请(专利权)人：中屋有限公司，
类型：发明
国别省市：日本,JP