液体喷出头以及液体喷出装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供液体喷出头及液体喷出装置。液体喷出头具备：设置有压力室的压力室形成基板；与压力室连通的喷嘴；压电元件，被设置于对压力室的一部分进行封闭的振动板上，使振动板振动而使压力室内的液体产生压力变动的压电元件；经由配线与压电元件连接，对压电元件进行驱动控制的驱动用IC，驱动控制具有：第一预备加热工序，通过至少使压电元件、驱动用IC以及配线中的任一个发热从而对压力室内的液体进行加热；预备喷出工序，使压力室内的液体从喷嘴喷出；第二预备加热工序，至少使压电元件、驱动用IC以及配线中的任一个发热从而与第一预备加热工序相比较弱地对压力室内的液体进行加热；正式喷出工序，开始使液体从喷嘴喷出的动作。

【技术实现步骤摘要】
液体喷出头以及液体喷出装置
本专利技术涉及从喷嘴喷出压力室内的液体的液体喷出头以及液体喷出装置。
技术介绍
作为搭载有液体喷出头的液体喷出装置，例如，存在喷墨式打印机或喷墨式绘图仪等图像记录装置，但最近，由于发挥能够使极少量的液体准确地喷落于预定位置处的特长，从而液体喷出头还被应用于各种制造装置中。例如，被应用于对液晶显示器等的滤色器进行制造的显示器制造装置、形成有机EL(ElectroLuminescence，电致发光)显示器或FED(面发光显示器)等的电极的电极形成装置、对生物芯片(生物化学元件)进行制造的芯片制造装置中。而且，通过图像记录装置用的记录头喷出液状的油墨，通过显示器制造装置用的颜色材料喷出头喷出R(Red，红色)、G(Green，绿色)、B(Blue，蓝色)的各种颜色材料的溶液。另外，通过电极形成装置用的电极材料喷出头喷出液状的电极材料，通过芯片制造装置用的生物体有机物喷出头喷出生物体有机物的溶液。上述的液体喷出头例如具备：开口设置有多个喷嘴的喷嘴板；形成有多个与喷嘴连通的成为压力室的空间的压力室形成基板；使压力室内的液体产生压力变动的压电元件等。另外，作为液体喷出头，存在具备对压力室内的液体的温度进行检测的温度检测元件以及对压电元件进行驱动的驱动用IC(IntegratedCircuit，集成电路)的液体喷出头(参照专利文献1)。而且，在专利文献1的液体喷出头中，被构成为，利用压电元件等的发热而对压力室内的液体进行加热，并在该状态下实施了在印刷区域外从喷嘴喷出液体的空喷出之后，在压力室内的液体的温度成为适于印刷的预定的温度的情况下，进行印刷动作(打印动作)。由此，能够从压力室内的液体发生了增粘的状态或喷嘴内的弯液面干燥了的状态等恢复为能够实现正常的液体的喷出的状态。但是，在专利文献1所公开的结构中，需要设置用于在实施了空喷出之后对压力室内的液体的温度是否成为适于印刷的预定的温度进行检测的温度检测元件，因此，液体喷出头的结构变得复杂。另外，在无法通过温度检测元件而准确地对压力室内的液体的温度进行检测的情况下，有可能无法掌握是否为能够实现正常的液体的喷出的状态。专利文献1：日本特开2014-8633号公报
技术实现思路
本专利技术为鉴于这样的情况而完成的专利技术，其目的在于，提供一种能够通过更为简单的结构而向能够实现正常的液体的喷出的状态转移的液体喷出头以及液体喷出装置。本专利技术的液体喷出头是为了实现上述目的而被提出的液体喷出头，其特征在于，具备：压力室形成基板，其设置有压力室；喷嘴，其与所述压力室连通；压电元件，其被设置于对所述压力室的一部分进行封闭的振动板上，并使所述振动板振动，从而使所述压力室内的液体产生压力变动；以及驱动用IC，其经由配线而与所述压电元件连接，并对所述压电元件进行驱动控制，所述驱动控制具有如下工序：第一预备加热工序，通过至少使所述压电元件、所述驱动用IC以及所述配线中的任意一个发热，从而对所述压力室内的液体进行加热；预备喷出工序，在所述第一预备加热工序后，使所述压力室内的液体从所述喷嘴喷出；第二预备加热工序，在所述预备喷出工序后，通过至少使所述压电元件、所述驱动用IC以及所述配线中的任意一个发热，从而与所述第一预备加热工序相比较弱地对所述压力室内的液体进行加热；以及正式喷出工序，在所述第二预备加热工序后，开始使所述液体从所述喷嘴喷出的动作。根据该结构，在第一预备加热工序中，能够对压力室内的液体进行加热从而降低该液体的粘度，因此，在预备喷出工序中，变得易于从喷嘴喷出液体。由此，能够排出液体固化所形成的物质或发生了增粘的液体等，从而能够使喷嘴恢复。另外，通过预备喷出工序中的液体的喷出而使压力室内的液体的温度接近于环境温度之后，在第二预备加热工序中，通过对压力室内的液体进行加热，从而不使用由对压力室内的液体的温度进行检测的温度检测构件所实施的温度检测的结果，也能够将压力室内的液体的温度设为适于印刷等动作的预定的温度。即，当通过预备喷出工序中的液体的喷出而对在第一预备加热工序中被实施了加热的压力室内的液体进行冷却时，只需喷出液体直至压力室内的液体接近于环境温度即可，因此，无需准确地掌握压力室内的液体的温度。其结果为，即使在无法准确地掌握由温度检测构件所实施的温度检测的结果的情况下，也会以适于印刷等动作的预定的温度喷出液体，因此，能够抑制被形成于喷落对象上的画质的劣化。由此，能够提高液体喷出头的可靠性。而且，例如，也能够去除对压力室内的液体的温度进行检测的温度检测构件，从而能够简化液体喷出头的结构。另外，在上述结构中，优选为，在所述第一预备加热工序和所述第二预备加热工序中的至少一方的工序中，对所述压电元件施加以不会从所述喷嘴喷出液体的程度使所述压力室内的液体产生压力变动的驱动电压波形，从而至少使所述压电元件、所述驱动用IC以及所述配线中的任意一个发热。根据该结构，由于通过驱动电压波形的施加而对压电元件进行驱动，从而在压力室内的液体中产生压力变动，因此，能够对压力室内的液体进行搅拌。由此，在预备喷出工序中，使得液体更加易于从喷嘴喷出，从而使得发生了增粘的液体等更加易于被排出。而且，在上述结构中，优选为，具备多个所述压力室、所述喷嘴以及所述压电元件，在所述第一预备加热工序和所述第二预备加热工序中的至少一方的工序中，所述驱动用IC对一个以上的所述压电元件施加所述驱动电压波形。根据该结构，压电元件、驱动用IC以及配线各自变得易于发热，从而压力室内的液体的加热效率得到提高。另外，在上述各个结构的任一个结构中，优选为，在第二预备加热工序中被施加于所述压电元件上的驱动电压波形与在所述正式喷出工序中被施加于与不喷出液体的所述喷嘴相对应的压电元件上的驱动电压波形相同。根据该结构，无需另外的生成驱动电压波形的电路，从而液体喷出头的结构变得简单。另外，无需驱动电压波形的切换，从而能够缩短从第二预备加热工序向正式喷出工序的转移。而且，在上述各个结构的任一个结构中，优选为，所述驱动用IC在所述压力室形成基板与所述压电元件的层叠方向上与所述压力室的至少一部分重叠。根据该结构，能够将驱动用IC的热量高效地传递至压力室内的液体。其结果为，能够抑制驱动用IC乃至液体喷出头的消耗电力。另外，在上述各个结构中，优选为，具备贮存有液体的贮液器，所述贮液器和所述压力室经由连通口而被连通。根据该结构，即使在第一预备加热工序中使压力室内的液体产生压力变动从而对压力室内的液体进行了搅拌，也能够抑制液体固化所形成的物质或发生了增粘的液体等抵达贮液器的情况。其结果为，能够抑制预备喷出工序中的液体的喷出量。而且，在上述各个结构的任一个结构中，优选为，具备多个所述压力室、所述喷嘴以及所述压电元件，并且具备多个由多个所述压力室排列而成的压力室组，所述驱动用IC以从在所述压力室形成基板与所述压电元件的层叠方向上与一个压力室组的至少一部分重叠的位置跨及在所述层叠方向上与其他的压力室组的至少一部分重叠的位置的方式而被配置。根据该结构，能够抑制一个压力室组中的液体的温度与其他的压力室组中的液体的温度之间的偏差。其结果为，能够抑制从对应于一个压力室组的喷嘴喷出的液体的喷出特性与从对应于其他的压力室组的喷嘴喷出的液体的喷出特性之间的偏差。另外，本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种液体喷出头，其特征在于，具备：压力室形成基板，其设置有压力室；喷嘴，其与所述压力室连通；压电元件，其被设置于对所述压力室的一部分进行封闭的振动板上，并使所述振动板振动，从而使所述压力室内的液体产生压力变动；以及驱动用集成电路，其经由配线而与所述压电元件连接，并对所述压电元件进行驱动控制，所述驱动控制具有如下工序：第一预备加热工序，通过至少使所述压电元件、所述驱动用集成电路以及所述配线中的任意一个发热，从而对所述压力室内的液体进行加热；预备喷出工序，在所述第一预备加热工序后，使所述压力室内的液体从所述喷嘴喷出；第二预备加热工序，在所述预备喷出工序后，通过至少使所述压电元件、所述驱动用集成电路以及所述配线中的任意一个发热，从而与所述第一预备加热工序相比较弱地对所述压力室内的液体进行加热；以及正式喷出工序，在所述第二预备加热工序后，开始使所述液体从所述喷嘴喷出的动作。

【技术特征摘要】
2016.11.15 JP 2016-2221311.一种液体喷出头，其特征在于，具备：压力室形成基板，其设置有压力室；喷嘴，其与所述压力室连通；压电元件，其被设置于对所述压力室的一部分进行封闭的振动板上，并使所述振动板振动，从而使所述压力室内的液体产生压力变动；以及驱动用集成电路，其经由配线而与所述压电元件连接，并对所述压电元件进行驱动控制，所述驱动控制具有如下工序：第一预备加热工序，通过至少使所述压电元件、所述驱动用集成电路以及所述配线中的任意一个发热，从而对所述压力室内的液体进行加热；预备喷出工序，在所述第一预备加热工序后，使所述压力室内的液体从所述喷嘴喷出；第二预备加热工序，在所述预备喷出工序后，通过至少使所述压电元件、所述驱动用集成电路以及所述配线中的任意一个发热，从而与所述第一预备加热工序相比较弱地对所述压力室内的液体进行加热；以及正式喷出工序，在所述第二预备加热工序后，开始使所述液体从所述喷嘴喷出的动作。2.如权利要求1所述的液体喷出头，其特征在于，在所述第一预备加热工序和所述第二预备加热工序中的至少一方的工序中，对所述压电元件施加以不会从所述喷嘴喷出液体的程度使所述压力室内的液体产生压力变动的驱动电压波形，从而至少使所述压电元件、所述驱动用集成电路以及所述配线中的任意一个发热。3.如权利要求2所述的液体喷出头，其特征在于，具备多个所述压力室、所述喷嘴以及所述压电元件，在所述第一预备加热工序和所述第二预备加热工序中的至少一方的工序中，所述驱动用集成电路对一个以上的所述压电元件施加所述驱动电压波形。4.如权利要求2或权利要求3所述的液体喷出头，其特征在于，在第二预备加热工序中被施加于所述压电元件上的驱动电压波形与在印刷动作中被施加于与不喷出液体的所述喷嘴相对应的压电元件上的驱动电压波形相同。5.如权利要求1至权利要求4中的任一项所述的液体喷出头，其特征在于，所述驱动用集成电路在所述压力室形成基板与所述压电元件的层叠方向上与所述压力室的至少一部分...

【专利技术属性】
技术研发人员：福田俊也，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP