一种单晶PERC太阳能电池镀膜不良片的返工方法技术

本发明专利技术公开一种单晶PERC太阳能电池镀膜不良片的返工方法，包括取镀膜不良的单晶PERC返工片，放置在装有HCl/H2O2混合液的槽中；将清洗后的返工片置于装有去离子水的清洗槽一中；将清洗过的返工片放置于装有HF/HCl混合液的槽体中；将清洗的返工片放置于装有去离子水的清洗槽二中；将经清洗槽二清洗过的返工片，放置于装有HF/HNO3混合酸液的槽体中；将用HF/HNO3混合酸液清洗后的返工片，放置于装有热水的慢提拉槽中；将处理后的返工片吹干，制绒。本发明专利技术的返工方法工艺简单，能大幅度提高生产效率，降低成本；能保持太阳能电池返工片电池效率偏差在0.1％以内，并有效解决外观和EL不良降级比例偏高的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种单晶PERC太阳能电池镀膜不良片的返工方法
本专利技术涉及晶体硅太阳能电池
，尤其涉及单晶PERC太阳能电池
，具体的是涉及一种单晶PERC太阳能电池镀膜不良片的返工方法。
技术介绍
单晶PERC太阳能电池的工艺流程比常规单晶太阳能电池的工艺流程较繁琐，由于工序繁多，因此带来了镀膜返工片的比例较常规电池的要高很多，大约5％(常规单晶约1％)。对于一间每日产量60万片太阳能电池片的工厂来说，一天的镀膜返工片就有3万片，大量硅片若不返工直接做成太阳能电池，都要降级处理甚至报废，造成生产成本的居高不下，导致企业很大的经济损失。目前，单晶PERC镀膜返工片已有的处理方式包括：1、单晶PERC镀膜返工片使用HF去膜后没有重新制绒，而是直接做成电池片，造成电池片外观及EL不良降级比例过高，效率较低；2、单晶PERC镀膜返工片使用HF去膜后直接制绒，造成绒面偏大，效率偏低，外观及EL不良比例也偏高；3、单晶PERC镀膜返工片使用HF去膜后，使用链式设备去除金字塔绒面和扩散PN结，链式设备和去膜及制绒的槽式设备生产连贯性不够，生产效率不高。
技术实现思路
针对上述现有技术存在的问题，本专本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种单晶PERC太阳能电池镀膜不良片的返工方法，其特征在于，具体包括以下步骤：步骤1、取镀膜不良的单晶PERC返工片，放置在装有HCl/H2O2混合液的槽中清洗；步骤2、将清洗后的返工片置于装有去离子水的清洗槽一中；步骤3、将经清洗槽一清洗过的返工片放置于装有HF/HCl混合液的槽体中，去除SiNx/AlOx膜及金属离子；步骤4、将清洗去膜后的返工片放置于装有去离子水的清洗槽二中；步骤5、将经清洗槽二清洗过的返工片，放置于装有HF/HNO3混合酸液的槽体中，利用酸液腐蚀掉原有的金字塔绒面及去除扩散PN结；步骤6、将用HF/HNO3混合酸液清洗后的返工片，放置于装有热水的慢提拉槽中，清洗前面槽体...

【技术特征摘要】
1.一种单晶PERC太阳能电池镀膜不良片的返工方法，其特征在于，具体包括以下步骤：步骤1、取镀膜不良的单晶PERC返工片，放置在装有HCl/H2O2混合液的槽中清洗；步骤2、将清洗后的返工片置于装有去离子水的清洗槽一中；步骤3、将经清洗槽一清洗过的返工片放置于装有HF/HCl混合液的槽体中，去除SiNx/AlOx膜及金属离子；步骤4、将清洗去膜后的返工片放置于装有去离子水的清洗槽二中；步骤5、将经清洗槽二清洗过的返工片，放置于装有HF/HNO3混合酸液的槽体中，利用酸液腐蚀掉原有的金字塔绒面及去除扩散PN结；步骤6、将用HF/HNO3混合酸液清洗后的返工片，放置于装有热水的慢提拉槽中，清洗前面槽体带进的酸液及将返工片表面的水脱掉；步骤7、将处理后的返工片吹干，制绒。2.根据权利要求1所述的一种单晶PERC太阳能电池镀膜不良片的返工方法，其特征在于，所述步骤1中，采用HCl/H2O2混合液在常温下清洗，时间为80s-120s。3.根据权利要求2所述的一种单晶PERC太阳能电池镀膜不良片的返工方法，其特征在于，所述HCl/H2O2混合液中HCl浓度为3％-6％，H2O2的浓度为4％-8％。4.根据权利要求1所述的一种单晶PERC太阳能电池镀膜不良片的返工方法，其特征在于，所述步骤3中，采用HF/HCl混合液在常温下清洗，时间为400s-800s。5.根据...

【专利技术属性】
技术研发人员：曾超，秦崇德，方结彬，林纲正，陈刚，
申请(专利权)人：广东爱旭科技股份有限公司，浙江爱旭太阳能科技有限公司，
类型：发明
国别省市：广东,44