一种具有可调节电极的PECVD设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种具有可调节电极的PECVD设备，PECVD设备具有矩形的镀膜空腔，镀膜空腔的左右两竖直侧壁分别安装有左绝缘条阵列和右绝缘条阵列，左绝缘条阵列和右绝缘条阵列包括多个上下等间隔设置的长条形绝缘条，长条形绝缘条远离竖直侧壁的侧面固定安装有与射频电源连接的触片，还包括多个可活动抽取的电极模组，每个电极模组包括阴极电极板以及固定连接在阴极电极板下方的阳极电极板，当电极模组插入时，阴极电极板的左右侧边与镀膜空腔的左右两竖直侧壁接触形成接地，阳极电极板的左右侧边通过触片与射频电源连接，本电极之间的间距可以根据需要进行灵活调节，满足了不同大小工件的多样化加工需求，较大程度的利用了镀膜空间，大大节省了纳米材料。

A PECVD device with adjustable electrode

The utility model discloses a PECVD device with an adjustable electrode. The PECVD device has a rectangular coated cavity. The left and right two vertical sides of the cavity are installed with a left insulating strip array and a right insulated strip array. The left insulating strip array and the right insulating strip array include a plurality of long strip insulating strips provided with a plurality of upper and lower equal intervals. The flank of a long strip insulated far away from the vertical side is fixed with a touch plate connected with a radio frequency power supply. It also includes a plurality of movable electrode modules, each electrode module includes the cathode electrode plate and the anode electrode plate fixed under the cathode electrode plate. The side is connected to the right and left side wall of the two vertical side wall of the coating cavity. The left and right side edges of the anode electrode plate are connected with the radio frequency power supply by the touch plate. The distance between the electrodes can be adjusted flexibly according to the needs, and the diverse processing needs of different sizes are met. The Jiao Dacheng degree uses the coating space and greatly saves the space. Nanomaterials.

【技术实现步骤摘要】
一种具有可调节电极的PECVD设备
本技术属于PECVD设备领域，更具体地说，是指一种具有可调节电极的PECVD设备。
技术介绍
PECVD(等离子体增强化学气相沉积)通过等离子放电产生活性基团来促进薄膜生成的反应，能显著降低CVD薄膜制备的温度，使某些原本需要在高温下进行的CVD镀膜反应可以在较低温度下进行。PECVD所使用的设备包含电极板，目前PECVD设备的电极板一般为固定结构，电极板之间的间距不能调节，当加工不同尺寸规格的产品时，不能有效的利用镀膜空间，例如对某些较薄的产品(如电路板)进行纳米防水加工，如果电极之间的间距较大，一腔能够摆入的产品较少，白白的浪费了的空间，同时浪费了药水(即纳米薄膜的原材料)；对某些较大尺寸的产品(如靴子)进行纳米防水加工时，电极之间的间距又显得过小，靴子难以放置，因此针对以上之不足，急需针对PECVD设备的电极进行改进。
技术实现思路
本技术为了克服现有技术之不足，提出了一种具有可调节电极的PECVD设备。本技术是通过下述技术方案来解决上述技术问题的。一种具有可调节电极的PECVD设备，所述PECVD设备具有矩形的镀膜空腔，镀膜空腔的前端开口且开口处铰本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种具有可调节电极的PECVD设备，其特征在于，所述PECVD设备具有矩形的镀膜空腔，镀膜空腔的前端呈开口状且开口处铰接有一可打开的密封门，镀膜空腔的左右两竖直侧壁分别固定安装有左绝缘条阵列和右绝缘条阵列，所述左绝缘条阵列和右绝缘条阵列包括多个上下等间隔设置的长条形绝缘条，长条形绝缘条远离竖直侧壁的侧面固定安装有与射频电源连接的触片，所述左绝缘条阵列的多个长条形绝缘条和右绝缘条阵列的多个长条形绝缘条一一正对设置，还包括多个可活动抽取的电极模组，每个电极模组包括阴极电极板以及固定连接在阴极电极板下方的阳极电极板，所述阴极电极板左右侧边之间的宽度大于阳极电极板左右侧边之间的宽度，所述阴极电极板与阳...

【技术特征摘要】
1.一种具有可调节电极的PECVD设备，其特征在于，所述PECVD设备具有矩形的镀膜空腔，镀膜空腔的前端呈开口状且开口处铰接有一可打开的密封门，镀膜空腔的左右两竖直侧壁分别固定安装有左绝缘条阵列和右绝缘条阵列，所述左绝缘条阵列和右绝缘条阵列包括多个上下等间隔设置的长条形绝缘条，长条形绝缘条远离竖直侧壁的侧面固定安装有与射频电源连接的触片，所述左绝缘条阵列的多个长条形绝缘条和右绝缘条阵列的多个长条形绝缘条一一正对设置，还包括多个可活动抽取的电极模组，每个电极模组包括阴极电极板以及固定连接在阴极电极板下方的阳极电极板，所述阴极电极板左右...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘振波，张向阳，
申请(专利权)人：深圳海容高新材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：广东,44