一种高稳定性单晶生长炉制造技术

本实用新型专利技术公开了一种高稳定性单晶生长炉，包括炉体和炉筒，所述炉体上固接有支架，所述支架上设有提升机，所述提升机的底部固接调节杆，所述调节杆通过连接装置和炉筒相连。本结构的单晶生长炉通过提升机调整炉筒的高度，从而提高炉筒和坩埚之间的距离，提高产能。炉筒通过连接装置和提升机相连，确保炉筒的稳定，防止左右摇摆。本实用新型专利技术结构简单、设计巧妙，有效提高产能降低生产成本。

A high stability single crystal growth furnace

The utility model discloses a high stability single crystal growth furnace, including a furnace body and a furnace tube. The furnace body is fixed with a bracket, a hoist is provided on the bracket, and the bottom of the hoist is fixed to the bottom of the hoist, and the adjusting rod is connected by a connecting device and a furnace tube. The monocrystalline growth furnace of the structure adjusts the height of the furnace barrel through the hoist, thereby improving the distance between the furnace barrel and the crucible, and increasing the production capacity. The furnace barrel is connected with the hoist through the connecting device to ensure the stability of the furnace and prevent the left and right swaying. The utility model has the advantages of simple structure and ingenious design, effectively improving production capacity and reducing production cost.

【技术实现步骤摘要】
一种高稳定性单晶生长炉
本技术涉及单晶炉领域，尤其涉及一种高稳定性的单晶生长炉。
技术介绍
单晶炉是制备硅单晶的电子专用设备，是现代制造技术与晶体生长工艺技术完美结合的体现，是新一代集机、电、光、仪、计算机一体化的装备。硅单晶生长炉是生产单晶硅棒的设备，传统的硅单晶生长炉的炉筒与石英坩埚之间的位置是固定不变的，炉筒由炉体的盖板固定支撑，炉筒的下口位置低于石英坩埚的上口位置，所以每次往石英坩埚内投放的硅原料量就受到限制，导致硅单晶生长炉的产能受到限制，提高了成本。
技术实现思路
本技术的目的是解决现有技术的不足，提供一种确保炉筒稳定移动、大容量的单晶生长炉。本技术采用的技术方案是：一种高稳定性单晶生长炉，包括炉体和炉筒，所述炉体上固接有支架，所述支架上设有提升机，所述提升机的底部固接调节杆，所述调节杆通过连接装置和炉筒相连；所述连接装置包括两个法兰盘，所述法兰盘的两端固接螺杆，所述法兰盘之间通过螺栓相连，所述位于上部的法兰盘上设有若干定位杆，所述定位杆穿过上部的法兰盘和位于下部的法兰盘相接。作为本技术的进一步改进，所述定位杆的数量为三个，呈三角形排布。作为本技术的进一步改进，所述定位杆的数量为四个，呈正方形排布。本技术采用的有益效果是：本结构的单晶生长炉通过提升机调整炉筒的高度，从而提高炉筒和坩埚之间的距离，提高产能。炉筒通过连接装置和提升机相连，确保炉筒的稳定，防止左右摇摆。本技术结构简单、设计巧妙，有效提高产能降低生产成本。附图说明图1为本技术示意图。图2为本技术的连接装置示意图。图中所示：1炉体，2支架，3炉筒，4提升机，5调节杆，6连接装置，61螺杆，62法兰盘，63螺栓，64定位杆。具体实施方式下面结合图1和图2，对本技术做进一步的说明。如图所示，一种高稳定性单晶生长炉，包括炉体1和炉筒3，所述炉体1上固接有支架2，所述支架2上设有提升机4，所述提升机4的底部固接调节杆5，所述调节杆5通过连接装置6和炉筒3相连；所述连接装置6包括两个法兰盘62，所述法兰盘62的两端固接螺杆61，所述法兰盘62之间通过螺栓63相连，所述位于上部的法兰盘62上设有若干定位杆64，所述定位杆64穿过上部的法兰盘和位于下部的法兰盘相接。炉筒通过提升机能够进行上下位置的调整，从而扩大炉筒和坩埚之间的空间，能够投放更多的原材料。炉筒和提升机的调节杆之间的连接通过连接装置，连接装置通过法兰盘相连，由于炉筒本身的体积和重量的原因，容易出现定中部准确和左右摇摆的现象。因此在法兰盘上设置定位杆，通过定位杆的限制，确保炉筒和调节杆相连稳定，定中准确，防止左右摇摆的现象出现。为进一步提高炉筒和调节杆之间的稳定性，定位杆64的数量为三个，呈三角形排布。三个定位杆的距离调节一致，利用三角形的结构确保整个连接装置稳定。为进一步提高炉筒和调节杆之间的稳定性，定位杆64的数量为四个，呈正方形排布。四个定位杆的距离调节一致，利用三角形的结构确保整个连接装置稳定，同时保证法兰盘的强度不会被破坏。本结构的单晶生长炉通过提升机调整炉筒的高度，从而提高炉筒和坩埚之间的距离，提高产能。炉筒通过连接装置和提升机相连，确保炉筒的稳定，防止左右摇摆。本技术结构简单、设计巧妙，有效提高产能降低生产成本。本领域技术人员应当知晓，本技术的保护方案不仅限于上述的实施例，还可以在上述实施例的基础上进行各种排列组合与变换，在不违背本技术精神的前提下，对本技术进行的各种变换均落在本技术的保护范围内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种高稳定性单晶生长炉，其特征是包括炉体（1）和炉筒（3），所述炉体（1）上固接有支架（2），所述支架（2）上设有提升机（4），所述提升机（4）的底部固接调节杆（5），所述调节杆（5）通过连接装置（6）和炉筒（3）相连；所述连接装置（6）包括两个法兰盘（62），所述法兰盘（62）的两端固接螺杆（61），所述法兰盘（62）之间通过螺栓（63）相连，上部的法兰盘（62）上设有若干定位杆（64），所述定位杆（64）穿过上部的法兰盘和位于下部的法兰盘相接。

【技术特征摘要】
1.一种高稳定性单晶生长炉，其特征是包括炉体（1）和炉筒（3），所述炉体（1）上固接有支架（2），所述支架（2）上设有提升机（4），所述提升机（4）的底部固接调节杆（5），所述调节杆（5）通过连接装置（6）和炉筒（3）相连；所述连接装置（6）包括两个法兰盘（62），所述法兰盘（62）的两端固接螺杆（61），所述法兰盘（62）之间...

【专利技术属性】
技术研发人员：张琦，吕志萍，
申请(专利权)人：安徽火天晶体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽,34