The invention relates to a device and method for laser processing diamond based on ultrashort pulse water guided laser. A reflection mirror is arranged at the output end of the light path of a picosecond laser. A first lens is arranged on the reflection light path of the reflector. A water cavity is arranged below the output light path of the first lens, the water cavity has a water storage cavity and a water inlet on the side of the water cavity. The upper top surface and the lower bottom are open holes, a window lens is fixed at the opening of the upper top surface, a ruby nozzle is fixed at the opening at the lower bottom, and an electric platform for the diamond is arranged below the ruby nozzle, and the second lens and the camera are arranged in turn at the top of the mirror. In the high speed water jet with the ultra short laser pulse coupled to the extremely fine high speed water jet, it breaks through the limitation of the focal depth of the optical focusing. It has a long Machinable interval to cut the thicker material. Because the diameter of the water jet column is very fine, the cutting precision is very high, the material loss is small, and the cooling effect of water jet in processing is made. The effect of heat is further reduced.
【技术实现步骤摘要】
基于超短脉冲水导激光加工金刚石的装置及其方法
本专利技术涉及一种基于超短脉冲水导激光加工金刚石的装置及其方法。
技术介绍
金刚石作为自然界中最坚硬的物质,极难加工成薄片。传统的加工方案一般采用机械切割成片,再研磨成薄片。这种传统加工方案对材料损耗较大,切割精度不高。当然,也可使用现有的激光技术来切割金刚石,但由于激光切割的深宽比限制,对材料的厚度有一定的限制,切割后仍需研磨,整体加工效率不高。
技术实现思路
本专利技术的目的是克服现有技术存在的不足,提供一种基于超短脉冲水导激光加工金刚石的装置及其方法。本专利技术的目的通过以下技术方案来实现:基于超短脉冲水导激光加工金刚石的装置,特点是:在皮秒激光器的光路输出端布置有反射镜,反射镜的反射光路上布置有第一透镜,第一透镜的输出光路的下方布置有水腔,水腔具有储水腔体,其侧面设有一进水口,上顶面和下底面均有开孔,上顶面的开孔处固定一窗口镜片,下底面的开孔处固定一红宝石喷嘴,红宝石喷嘴的下方设有用于放置金刚石的电动平台;所述反射镜的正上方依次布置有第二透镜和相机。进一步地,上述的基于超短脉冲水导激光加工金刚石的装置,其中,所述第一透镜安装于上下移动机构上。进一步地,上述的基于超短脉冲水导激光加工金刚石的装置,其中,所述红宝石喷嘴具有50um的通孔。进一步地,上述的基于超短脉冲水导激光加工金刚石的装置,其中,所述窗口镜片为蓝宝石玻璃。进一步地,上述的基于超短脉冲水导激光加工金刚石的装置,其中,所述水腔的上顶面和下底面的中心部位设有开孔。进一步地,上述的基于超短脉冲水导激光加工金刚石的装置,其中,所述水腔是由不锈钢金属制成的 ...
【技术保护点】
基于超短脉冲水导激光加工金刚石的装置,其特征在于:在皮秒激光器(1)的光路输出端布置有反射镜(2),反射镜(2)的反射光路上布置有第一透镜(3),第一透镜(3)的输出光路的下方布置有水腔(4),水腔(4)具有储水腔体,其侧面设有一进水口(7),上顶面和下底面均有开孔,上顶面的开孔处固定一窗口镜片(5),下底面的开孔处固定一红宝石喷嘴(6),红宝石喷嘴(6)的下方设有用于放置金刚石的电动平台(8);所述反射镜(2)的正上方依次布置有第二透镜(9)和相机(10)。
【技术特征摘要】
1.基于超短脉冲水导激光加工金刚石的装置,其特征在于:在皮秒激光器(1)的光路输出端布置有反射镜(2),反射镜(2)的反射光路上布置有第一透镜(3),第一透镜(3)的输出光路的下方布置有水腔(4),水腔(4)具有储水腔体,其侧面设有一进水口(7),上顶面和下底面均有开孔,上顶面的开孔处固定一窗口镜片(5),下底面的开孔处固定一红宝石喷嘴(6),红宝石喷嘴(6)的下方设有用于放置金刚石的电动平台(8);所述反射镜(2)的正上方依次布置有第二透镜(9)和相机(10)。2.根据权利要求1所述的基于超短脉冲水导激光加工金刚石的装置,其特征在于:所述第一透镜(3)安装于上下移动机构上。3.根据权利要求1所述的基于超短脉冲水导激光加工金刚石的装置,其特征在于:所述红宝石喷嘴(6)具有50um的通孔。4.根据权利要求1所述的基于超短脉冲水导激光加工金刚石的装置,其特征在于:所述窗口镜片(5)为蓝宝石玻璃。5.根据权利要求1所述的基于超短脉冲水导激光加工金刚石的装置,其特征在于:所述水腔(4)的上顶面和下底面的中心部位设有开孔。6.根据权利要求1所述的基于超短脉冲水导激光加工金刚石的装置,其特征在于:所述水腔(4)是由不锈钢金属制成的具有储水腔体的结构。7.利用权利要...
【专利技术属性】
技术研发人员:赵裕兴,程樗元,
申请(专利权)人:苏州德龙激光股份有限公司,江阴德力激光设备有限公司,
类型:发明
国别省市:江苏,32
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