【技术实现步骤摘要】
一种晶圆片清洗装置
本技术涉及晶圆片清洗设备
,尤其涉及一种晶圆片清洗装置。
技术介绍
晶圆片作为LED的主要原材料,其表面洁净度要求很高,如果残留的脏物颗粒过多,会严重影响到下道芯片制作的合格率。所以在晶圆片进行抛光工艺之前,首先必须保证晶圆片表面保持一定的清洁度,不至于有过多的垃圾物;所以必须事前对晶圆片进行清洗。传统的方法是人工利用毛刷对晶圆片表面进行清刷,这种方法效率低,很浪费劳动力,而且一次只能刷洗一片晶圆片。所以如何制造一种能够提高效率的清洗晶圆片的机械成为本领域技术人员一直努力的方向。
技术实现思路
本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点,而提出的一种晶圆片清洗装置。为了实现上述目的,本技术采用了如下技术方案:一种晶圆片清洗装置,包括清洗槽,所述清洗槽内底部竖直设有一根转轴;所述转轴通过设于清洗槽内的电机驱动旋转;所述转轴的上部轴壁上阵列排布有若干夹持臂;所述夹持臂包括水平固定连接在转轴轴壁上的滑轨;所述滑轨远离转轴的一端上部固定连接有一个固定块;所述固定块的上表面具有一个圆弧槽一;所述滑轨上还滑动块连接有一个滑块;所述滑块的上表面具有一个与圆弧槽一相对的圆弧槽二;所述滑块靠近转轴一端的端面通过弹簧一连接在转轴上,且所述弹簧一套设于滑轨上;所述清洗槽的一侧内壁上设有一个水平设置的安装板;所述安装板下部设有一个刷毛朝下的毛刷;所述清洗槽另一侧内壁上设有一根竖直设置且位于固定块上方的喷水管,其中所述喷水管位于清洗槽内的一端封闭且下管壁上具有若干出水孔;所述喷水管的进水端通过连接管连接有水泵;所述水泵与水箱连接。优选的,所述滑轨的端部还设有一个对 ...
【技术保护点】
一种晶圆片清洗装置,包括清洗槽(1),其特征在于:所述清洗槽(1)内底部竖直设有一根转轴(3);所述转轴(3)通过设于清洗槽(1)内的电机(2)驱动旋转;所述转轴(3)的上部轴壁上阵列排布有若干夹持臂(4);所述夹持臂(4)包括水平固定连接在转轴(3)轴壁上的滑轨(401);所述滑轨(401)远离转轴(3)的一端上部固定连接有一个固定块(402);所述固定块(402)的上表面具有一个圆弧槽一(403);所述滑轨(401)上还滑动块连接有一个滑块(404);所述滑块(404)的上表面具有一个与圆弧槽一(403)相对的圆弧槽二(405);所述滑块(404)靠近转轴(3)一端的端面通过弹簧一(406)连接在转轴(3)上,且所述弹簧一(406)套设于滑轨(401)上;所述清洗槽(1)的一侧内壁上设有一个水平设置的安装板(5);所述安装板(5)下部设有一个刷毛朝下的毛刷(6);所述清洗槽(1)另一侧内壁上设有一根竖直设置且位于固定块(402)上方的喷水管(7),其中所述喷水管(7)位于清洗槽(1)内的一端封闭且下管壁上具有若干出水孔(8);所述喷水管(7)的进水端通过连接管(9)连接有水泵(10 ...
【技术特征摘要】
1.一种晶圆片清洗装置,包括清洗槽(1),其特征在于:所述清洗槽(1)内底部竖直设有一根转轴(3);所述转轴(3)通过设于清洗槽(1)内的电机(2)驱动旋转;所述转轴(3)的上部轴壁上阵列排布有若干夹持臂(4);所述夹持臂(4)包括水平固定连接在转轴(3)轴壁上的滑轨(401);所述滑轨(401)远离转轴(3)的一端上部固定连接有一个固定块(402);所述固定块(402)的上表面具有一个圆弧槽一(403);所述滑轨(401)上还滑动块连接有一个滑块(404);所述滑块(404)的上表面具有一个与圆弧槽一(403)相对的圆弧槽二(405);所述滑块(404)靠近转轴(3)一端的端面通过弹簧一(406)连接在转轴(3)上,且所述弹簧一(406)套设于滑轨(401)上;所述清洗槽(1)的一侧内壁上设有一个水平设置的安装板(5);所述安装板(5)下部设有一个刷毛朝下的毛刷(6);所述清洗槽(1)另一侧内壁上设有一根竖直设置且位于固定块(402)上方的喷水管(7),其中所述喷水管(7)位于清洗槽(1)内的一端封闭且下管壁上具有若干出水孔(8);所述喷水管(7)的进水端通过连接管(9)连接有水泵(10);所述水泵(10...
【专利技术属性】
技术研发人员:吴琼,李永峰,
申请(专利权)人:福建兆元光电有限公司,
类型:新型
国别省市:福建,35
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