可弯折显示面板及其制作方法技术

本申请公开了一种可弯折显示面板及其制作方法，该方法包括：提供一柔性基板，在柔性基板上形成无机膜层，其中，无机膜层包括设置于弯折部的深孔区；将深孔区进行气体干法刻蚀，形成具有坡度的深孔，且深孔的底部位于柔性基板上；向深孔填充有机材料，形成有机膜层；在无机膜层和有机膜层上形成金属走线层。该方法通过气体干法刻蚀形成具有坡度的深孔，该刻蚀方法对深孔的坡度可控，从而提高金属走线的爬坡能力，减少或者避免了金属走线断线导致显示面板的电信号丢失现象，提升显示面板的品质。

Flexural display panel and its making method

The present application discloses a flexural display panel and its making method. The method includes providing a flexible substrate and forming an inorganic diaphragm on a flexible substrate, wherein the inorganic diaphragm includes a deep hole area set at the bending part, and the deep hole area is etched by a gas dry process to form a deep hole with a slope and a bottom part of the deep hole. On the flexible substrate, the organic material is filled into the deep hole to form an organic film; a metal alignment layer is formed on the inorganic film and the organic film. In this method, deep holes with slope are formed by the dry etching of the gas. The etching method can control the slope of the deep hole, thus improve the ability to climb the slope of the metal walking line, reduce or avoid the loss of the electrical signal of the display panel resulting from the wire breaking line, and improve the quality of the display panel.

【技术实现步骤摘要】
可弯折显示面板及其制作方法
本申请涉及显示
，特别是涉及一种可弯折显示面板及其制作方法。
技术介绍
OLED(OrganicLight-EmittingDiode，有机发光二极管)显示屏以其对比度高、色域广、视角宽、更加轻薄等优势迅速占领了显示面板的高端市场，并且随着其寿命短、颗粒感重等缺点的不断改善，可以预见，OLED显示屏将成为主流。OLED显示屏另一个优势在于可弯折、可折叠、可卷曲化，该优势使得其在曲面屏、可折叠屏或者窄边框(无边框)屏上有着广泛的应用。目前，市场上已经出现了很多窄边框的OLED手机屏，其设计理念大同小异，如图1或者图2所示的两种实施例，显示屏采用高分子材料的柔性衬底，除开Activearea(AA)显示区域之外，还分为四个边框区域(boarder)，即上boarder区，左boarder区，右boarder区和下boarder区，这四个boarder区内是各种包括GOA在内的各种金属走线，下boarder区域内还有显示面板的驱动IC和柔性印刷电路板FPC，用于驱动和输送整个屏幕的电信号。甚至将下boarder区变的可弯折，并将整个Array基板的下boa本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种可弯折显示面板的制作方法，其特征在于，所述方法包括：提供一柔性基板，在所述柔性基板上形成无机膜层，其中，所述无机膜层包括设置于弯折部的深孔区；将所述深孔区进行气体干法刻蚀，形成具有坡度的深孔，且所述深孔的底部位于所述柔性基板上；向所述深孔填充有机材料，形成有机膜层；在所述无机膜层和所述有机膜层上形成金属走线层。

【技术特征摘要】
1.一种可弯折显示面板的制作方法，其特征在于，所述方法包括：提供一柔性基板，在所述柔性基板上形成无机膜层，其中，所述无机膜层包括设置于弯折部的深孔区；将所述深孔区进行气体干法刻蚀，形成具有坡度的深孔，且所述深孔的底部位于所述柔性基板上；向所述深孔填充有机材料，形成有机膜层；在所述无机膜层和所述有机膜层上形成金属走线层。2.根据权利要求1所述的制作方法，其特征在于，所述将所述深孔区进行气体干法刻蚀，形成具有坡度的深孔的步骤具体包括：将所述深孔区进行SF6气体干法刻蚀，形成具有第一坡度的深孔。3.根据权利要求2所述的制作方法，其特征在于，进一步包括：将所述第一坡度的深孔进行C2HF5气体干法刻蚀，形成具有第二坡度的深孔。4.根据权利要求3所述的制作方法，其特征在于，所述第一坡度和所述第二坡度与所述柔性基板的夹角角度范围为95°～135°。5.根据权利要求3所述的制作方法，其特征在于，所述第一坡度的...

【专利技术属性】
技术研发人员：卜呈浩，
申请(专利权)人：武汉华星光电半导体显示技术有限公司，
类型：发明
国别省市：湖北,42