干燥设备制造技术

本发明专利技术提供一种干燥设备，包括腔体，所述腔体包括底板，所述底板具有第一平面，所述腔体内设有用于吹风的第一风刀、第二风刀和第三风刀，所述第一风刀和所述第三风刀相对设置，所述第二风刀位于所述第一风刀和所述第三风刀之间背向所述底板一侧，相对设置的所述第一风刀和所述第三风刀，以及相对设置的第二风刀与所述底板的所述第一平面之间构成容纳空间，盒状容器设于所述空间内。本发明专利技术提供的一种干燥设备，通过设置腔体并在腔体内设置出风的第一风刀、第二风刀和第三风刀，相对于现有技术，加多了出风位置，加快了风的流动性，提高了干燥设备的工作效率。

drying equipment

The invention provides a drying device, including a cavity, which comprises a floor, which has a first plane, a first wind knife, a second wind knife and a third wind knife in the cavity, and the first wind knife and the third wind knife are relatively set, and the second wind knife is located in the first wind knife and said. The third wind knife is back to the side of the floor, and the relative set of the first wind knife and the third wind knife, and the relative set of the second wind knife and the first plane of the floor are composed of space, and the box shaped container is located in the space. A drying equipment provided by the invention provides a first wind knife, a second wind knife and a third wind knife by setting a cavity and in the cavity, adding an air outlet position relative to the existing technology, accelerating the flow of the wind and improving the working efficiency of the drying equipment.

【技术实现步骤摘要】
干燥设备
本专利技术属于OLED制作
，尤其涉及一种干燥设备。
技术介绍
在OLED显示器件的蒸镀制程中所用的掩膜版(MASK)，通常采用在金属材料上设置开口，蒸镀材料通过开口沉积于基板上形成薄膜。MASK使用后必须进行清洗，并且要保证在清洗后MASK不得残留任何污点，否则，每个产品均会出现相同的不良。MASK清洗主要在盒状容器(cassette)内进行，cassette保持洁净干燥是保证MASK清洁的重要手段，cassette目前主要采用一个风管吹风方式进行干燥，现有的干燥方法效率低，不能满足生产的需求。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种干燥设备，以解决现有技术所存在干燥效率低的问题。为实现本专利技术的目的，本专利技术提供了如下的技术方案：第一方面，一种干燥设备，其特征在于，包括腔体，所述腔体包括底板，所述底板具有第一平面，所述腔体内设有用于吹风的第一风刀、第二风刀和第三风刀，所述第一风刀和所述第三风刀相对设置，所述第二风刀位于所述第一风刀和所述第三风刀之间背向所述底板一侧，相对设置的所述第一风刀和所述第三风刀，以及相对设置的第二风刀与所述底板的所述第一平面之间构成容纳空间盒状容器设于所述空间内。在第一方面的第一种可能的实现方式中，所述底板包括相对设置的两个侧边，所述第二风刀的延伸方向与所述两个两侧边之间形成小于90度的夹角，所述第一风刀和所述第三风刀与所述第二风刀共同构建一个垂直于所述第一平面的第二平面。结合第一方面及第一方面的第一种可能的实现方式，在第一方面的第二种可能的实现方式中，所述第一风刀包括第一管道和第一喷嘴，所述第一喷嘴相对所述第一管道倾斜并使所述第一喷嘴具有朝向所述底板方向的角度；所述第三风刀包括第三管道和第三喷嘴，所述第三喷嘴相对所述第三管道倾斜并使所述第三喷嘴具有朝向所述底板方向的角度，所述第三喷嘴倾斜的角度与所述第一喷嘴倾斜的角度相同。结合第一方面及第一方面的第一种可能的实现方式，在第一方面的第三种可能的实现方式中，所述第二风刀包括第二管道和第二喷嘴，所述第二喷嘴相对所述第二管道倾斜，并使所述第二喷嘴具有倾斜于所述第一平面的角度。结合第一方面及第一方面的第二种或第三种可能的实现方式，在第一方面的第四种可能的实现方式中，所述盒状容器包括板架，两个所述板架相对设置，所述板架上设有支撑条，所述支撑条用于支撑掩膜版。结合第一方面及第一方面的第四种可能的实现方式，在第一方面的第五种可能的实现方式中，所述支撑条设有多层，以使所述板架支撑多块所述掩膜版，所述第一风刀包括多个所述第一喷嘴，多个所述第一喷嘴沿所述第一管道方向间隔设置。结合第一方面及第一方面的第五种可能的实现方式，在第一方面的第六种可能的实现方式中，所述腔体内还设有第四风刀，所述第四风刀设于所述第一风刀之相对所述底板的相邻一侧，所述第四风刀包括第四管道和第四喷嘴，所述第四喷嘴设置于所述第四管道上，所述第四喷嘴相对所述第四管道上下移动。结合第一方面及第一方面的第六种可能的实现方式，在第一方面的第七种可能的实现方式中，所述第四管道可转动360°，以带动所述第四喷嘴向四面吹风。在第一方面的第八种可能的实现方式中，所述腔体为封闭式结构，所述腔体还连接有抽真空组件，所述抽真空组件用于对所述腔体内抽真空。在第一方面的第八种可能的实现方式中，所述腔体内还设有加热组件，所述加热组件设于所述腔体底部。本专利技术的有益效果：本专利技术提供的一种干燥设备，通过设置腔体并在腔体内设置出风的第一风刀、第二风刀和第三风刀，第一风刀、第二风刀、第三风刀和底板构成的容纳空间内设有清洗掩膜版所用的盒状容器，干燥设备工作时，第一风刀、第二风刀和第三风刀吹射风以对该盒状容器进行干燥，相对于现有技术，加多了出风位置，加快了风的流动性，提高了干燥设备的工作效率。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1是本专利技术一种实施方式的干燥设备的结构示意图；图2是图1中的干燥设备的一种实施方式的俯视结构示意图。具体实施方式下面将结合本专利技术实施方式中的附图，对本专利技术实施方式中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施方式仅仅是本专利技术一部分实施方式，而不是全部的实施方式。基于本专利技术中的实施方式，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本专利技术保护的范围。请参阅图1和图2，本专利技术的一种较佳实施方式提供了一种干燥设备，包括腔体100，所述腔体包括底板102，所述底板102具有第一平面103，所述腔体100内设有用于吹风的第一风刀10、第二风刀20和第三风刀30，所述第一风刀10和所述第三风刀30相对设置，所述第二风刀20位于所述第一风刀10和所述第三风刀30之间背向所述底板102一侧，相对设置的所述第一风刀10和所述第三风刀30，以及相对设置的第二风刀20与所述底板102的所述第一平面103之间构成容纳空间，盒状容器(图中未标号)设于所述空间内。本实施方式中，通过设置腔体100并在腔体100内设置吹风的第一风刀10、第二风刀20和第三风刀30，掩膜版容纳于第一风刀10、第二风刀20、第三风刀30和底板102构成的空间内，干燥设备工作时，第一风刀10、第二风刀20和第三风刀30吹射风以对盒状容器进行干燥，相对于现有技术，加多了出风位置，加快了风的流动性，提高了干燥设备的工作效率。本实施方式中，腔体100为封闭结构，腔体100与外界联通的各个接口处设置有密封圈等密封装置，以防异物进入腔体100内。腔体100底部可设置凸台104，用于垫高盒状容器的放置位置，以使盒状容器内上吹射下来的液滴等异物流入该凸台104周围的区域内，该凸台104周围的区域还可设置排液口(未图示)，用于排出液滴等异物。本实施方式中，第一风刀10、第二风刀20和第三风刀30与送风机构(未图示)相连，该送风机构设于腔体100外，可对空气加压，使风刀出射的风具有较强的气压，空气流动速度更快，可进一步加快干燥速度。进一步的，送风机构还可对空气加热，使风刀出射的风为热风，进一步加快干燥速度。本实施方式中，所述腔体100还连接有抽真空组件101，所述抽真空组件101用于对所述腔体100内抽真空。进一步的，抽真空组件101于腔体100底部与腔体100内部联通，抽真空组件101至少为1个，例如，在腔体100内相对于掩膜版300两侧边的两侧分别设置1个抽真空组件101，或在腔体100底部的四角设置4个抽真空组件均可，该抽真空组件101可包括抽风机(未图示)和管道(未图示)，通过管道(未图示)与腔体100相连。本实施方式中，所述腔体100内还设有加热组件(未图示)，所述加热组件设于所述腔体底部100。进一步的，该加热组件可设于凸台102上，也可设于凸台102周围的区域，以使腔体100内的温度较高，液滴以蒸汽的形式存在，由抽真空组件101抽出。进一步的，该加热组件的加热温度范围为80～200℃，优选为100～150℃。本实施方式中，盒状容器设于干燥设备的腔体内，实现了设备的整体性本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种干燥设备，其特征在于，包括腔体，所述腔体包括底板，所述底板具有第一平面，所述腔体内设有用于吹风的第一风刀、第二风刀和第三风刀，所述第一风刀和所述第三风刀相对设置，所述第二风刀位于所述第一风刀和所述第三风刀之间远离所述底板一侧，相对设置的所述第一风刀和所述第三风刀，以及相对设置的第二风刀与所述底板的所述第一平面之间构成容纳空间，盒状容器设于所述空间内。

【技术特征摘要】
1.一种干燥设备，其特征在于，包括腔体，所述腔体包括底板，所述底板具有第一平面，所述腔体内设有用于吹风的第一风刀、第二风刀和第三风刀，所述第一风刀和所述第三风刀相对设置，所述第二风刀位于所述第一风刀和所述第三风刀之间远离所述底板一侧，相对设置的所述第一风刀和所述第三风刀，以及相对设置的第二风刀与所述底板的所述第一平面之间构成容纳空间，盒状容器设于所述空间内。2.如权利要求1所述的干燥设备，其特征在于，所述底板包括相对设置的两个侧边，所述第二风刀的延伸方向与所述两个两侧边之间形成小于90度的夹角，所述第一风刀和所述第三风刀与所述第二风刀共同构建一个垂直于所述第一平面的第二平面。3.如权利要求2所述的干燥设备，其特征在于，所述第一风刀包括第一管道和第一喷嘴，所述第一喷嘴相对所述第一管道倾斜并使所述第一喷嘴具有朝向所述底板方向的角度；所述第三风刀包括第三管道和第三喷嘴，所述第三喷嘴相对所述第三管道倾斜并使所述第三喷嘴具有朝向所述底板方向的角度，所述第三喷嘴倾斜的角度与所述第一喷嘴倾斜的角度相同。4.如权利要求2所述的干燥设备，其特征在于，所述第二风刀包括第二管道和...

【专利技术属性】
技术研发人员：舒林和，
申请(专利权)人：武汉华星光电半导体显示技术有限公司，
类型：发明
国别省市：湖北,42